专利名称：执行机构、光扫描器以及图像形成装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及执行机构、光扫描器以及图像形成装置。
技术背景例如，作为在打印机等中用于通过光扫描进行描绘的光扫描 器，公开有对光进行二维扫描的光扫描器(例如，参照专利文献1 )。专利文献l的光扫描器，由机壳、带磁铁镜、以使带磁铁镜能 够相对机壳摇动的方式在机壳上支承带磁铁镜的超弹性合金线、和 为了使带磁铁镜振动而产生交变电压的线圈构成。但是，在这样的光扫描器中，带磁铁镜通过粘接剂接合(固定) 于超弹性合金线。因此，光扫描器制造时难以在超弹性合金线的规 定位置固定带磁铁镜。即，专利文献1的光扫描器难以发挥期望的振动特性。专利文献1日本特开平9-243942号公报 发明内容本发明的目的在于提供一种能够发挥期望的振动特性的执行 才几构、光扫描器以及图Y象形成装置。通过下述的本发明达成这样的目的。本发明的执行机构的特征在于，包括第一振动系统，包括框 状的驱动部^f牛，以及一乂于第一轴部^f牛，上述一乂于第一轴部4牛以〗吏上述驱动部件围绕X轴转动的方式、双支7R上述驱动部件；第二振动系统，包括设置于上述驱动部件的内侧的可动板，以 及一对第二轴部件，上述一对第二轴部件以^吏上述可动^^反围绕与上 述X轴正交的Y轴转动的方式、在上述驱动部^f牛上，又支7lc上述可 动板；马区动单元，具有强石兹性体、对该强《兹性体作用万兹场的线圏、和 向该线圈施加电压的电压施加单元，在上述可动板的俯浮见图中，上 述强；兹性体和上述线圈中的一个设置于离开上述驱动部件上的上 述X轴和上述Y轴的各自的轴的位置；以及定位部，-没置于上述驱动部件上，决定上述强》兹性体或上述线 圈向上述驱动部件的固定位置，通过由上述电压施加单元向上述线圈施加电压，^f吏上述可动玲反 围绕上述X轴和上述Y轴的各自的轴转动。由此，能够正确地在上述驱动部<牛上的*见定位置固定上述强石兹 性体或上述线圈。因此，能够提供能够发挥期望的振动特性的执行机构。本发明的执行机构中，上述定位部优选与上述驱动部件一体形 成。由此，能够在上述驱动部件上的^见定〗立置正确;也形成上述定位 部。其结果，能够在上述驱动部件上的^见定位置^^为正确地固定上 述强》兹性体或上述线圏。本发明的执行机构中，优选上述驱动部件由SOI基板的一方的Si层形成，上述定位部由上述SOI基板的SK)2层和另一方的Si层 中的至少Si02层形成。由此，能够才及为筒单地一体形成上i^定位部和上述驱动部件。本发明的才丸4亍才几构中，4尤选在上述驱动部4牛上i殳置有上述强石兹 性体，上述强磁性体为长方形的永久石兹铁，上述永久》兹《失在上述可 动板的俯视图中，连接其两极的线段通过上述X轴和上述Y轴的 交点，以相对上述X轴和上述Y轴的各个倾杀牛的方式i殳置。由此，能够以4交简单的结构，4吏上述可动才反围绕上述X轴和上 述Y轴的各自的轴转动。本发明的执行机构中，优选上述永久》兹铁的长边方向的两端部 固定于上述驱动部件，上述定位部以决定上述7;jc久石兹《失的长边方向 的两端部的固定位置的方式"i殳置有一乂于。由此，能够正确地在上述驱动部件上的规定的位置设置上述永 久磁铁。本发明的4丸行才几构中，优选上述一对定位部在上述永久》兹《失的 长边方向，以隔着上述7Jc久石兹铁相互相对的方式，且以相互的分离 距离与上述永久磁铁的长度大致相等的方式形成。由此，能够防止上述7lc久万兹《失向上述驱动部件的固定^f立置相对-夫见定的位置在上迷永久》兹4失的长边方向产生偏差。本发明的执行机构中，优选上述各定位部具有在上述永久磁4失 的宽度方向上，以隔着上述永久石兹铁相互相对的方式形成的一对相对部，该一对相对部彼此之间的分离3巨离与上述永久》兹4失的宽度方 向的长度大致相等。由此，能够防止上述7JC久^H失向上述驱动部件的固定^f立置相只于 关见定的位置在上述永久石兹4失的宽度方向产生偏差。本发明的冲丸行4几构中，优选在上述驱动部件:没置有上述强^兹性 体，上述强》兹性体为软^兹性体，在上述可动板的俯一见图中，上述定^立部以包围上述4欠》兹性体的外周的方式i文置。由此，能够更准确地在上述驱动部件上的^见定的位置i殳置上迷 软磁性体。此外，能够以较简单的结构，使上述可动板围绕上述X 轴和上述Y轴的各自的轴4争动。本发明的执行机构中，在上述可动板的俯^见图中，上述软i"兹性 体优选为圓形状。由此，在执行机构的制造时，能够极为简单且正确地将上述软 -磁性体固定于通过上述定4立部决定的固定位置。本发明的执行机构中，优选在上述可动板的俯视图中，上述软 磁性体以在由上述X轴和上述Y轴划分的四个区域中，位于具有 相对上述X轴和上述Y轴的交点点〗寸称的关系的两个区域内的方 式设置有一对，上述线圏以与上述各软磁性体相对的方式设置有一对。由此，能够平滑地/使上述可动4反围绕上述X轴和上述Y轴的 各自的轴转动。本发明的执行机构中，优选在上述可动板的俯视图中，上述一 对软-磁性体以相对上述X轴和上述Y轴的交点点对称的方式i殳置。由此，能够更平滑地使上述可动板围绕上述X轴和上述Y轴 的各自的轴转动。本发明的执行机构中，优选采用下述结构，上述电压施加单元包括产生周期性变化、其频率相互不同的第一电压和第二电压的 电压产生部；以及叠加上述第一电压和上述第二电压的电压叠加 部，其中，通过将在上述电压叠加部叠加的电压施加至上述线圏， 使上述可动板以上述第一电压的频率围绕上述X轴转动，并以上述 第二电压的频率围绕上述Y轴转动。由此，能够〗吏上述可动板以上述第一电压的频率围绕上述X轴 转动，并以上述第二电压的频率围绕上述Y轴專争动。即，冲丸4亍才几构 通过将第一电压和第二电压分别设定为规定的值，能够简单地发挥 期望的振动特性。本发明的#1行机构中，优选上述第二电压的频率与上述第二才展 动系统的共l展频率相等，上述第 一 电压的频率与上述第 一才展动系统 的共4展频率不同。由此，能够4及为平滑且正确;也，4吏上述可动玲反以上述第一电压 的频率围绕上述X轴转动，并以上述第二电压的频率围绕上述Y轴转动。本发明的执行机构中，优选上述可动板包括具有光反射性的光反射部。由此，能够将执行机构使用于加速度传感器、角速度传感器等 的MEMS应用传感器、光扫描器、光开关、光衰减器等光学器件。本发明的光扫描器的特征在于，包括第一振动系统，包括框状的驱动部件，以及一乂十第一轴部件，上述一^"第一4由部4牛以^吏上述驱动部件围绕X轴转动的方式、双支7 、上述驱动部件；第二振动系统，包括i殳置于上述驱动部件的内侧、包4舌具有光 反射性的光反射部的可动一反，以及一^j"第二轴部4牛，上述一^于第二 轴部件以4吏上述可动纟反围绕与上述X轴正交的Y轴4争动的方式、 在上述驱动部件上双支承上述可动—反；驱动单元，具有强石兹性体、对该强石兹性体作用石兹场的线圏、和 向该线圈施加电压的电压施加单元，在上述可动一反的俯-见图中，上 述强石兹性体和上述线圏中的 一个i殳置于离开上述驱动部件上的上 述X轴和上述Y轴的各自的轴的位置；以及定位部，设置于上述驱动部件上，决定上述强；兹性体或上述线 圈向上述驱动部件的固定位置，通过由上述电压施加单元向上述线圈施加电压，4吏上述可动板 围绕上述X轴和上述Y轴的各自的轴转动、二维扫描由上述反射部反射的光。由此，能够正确i也在上述驱动部件上的4见定4立置固定上述强f兹 性体或上述线圏。因此，能够提供能够发挥期望的扫描特性的光扫本发明的图像形成装置的特征在于包括光扫描器，该光扫描器包括第一纟展动系统，包括片医状的驱动部件，以及一对第一轴部4牛， 上述一对第一轴部件以4吏上述驱动部件围绕X轴转动的方式、只又支 承上述驱动部件；第二振动系统，包括i殳置于上述驱动部件的内侧、包4舌具有光 反射性的光反射部的可动板，以及一对第二轴部件，上述一对第二轴部件以-使上述可动—反围绕与上述X轴正交的Y ^H争动的方式、 在上述驱动部件上双支承上述可动板；马区动单元，具有强^t性体、对该强^f兹性体作用石兹场的线圏、和 向该线圈施加电压的电压施加单元，在上述可动4反的俯一见图中，上 述强》兹性体和上述线圈中的一个设置于离开上述驱动部件上的上 述X轴和上述Y轴的各自的轴的位置；以及定位部，i殳置于上述驱动部件上，决定上述强》兹性体或上述线 圈向上述驱动部件的固定位置，通过由上述电压施加单元向上述线圈施加电压，使上述可动板 围绕上述X轴和上述Y轴的各自的轴转动、二维扫描由上述反射部反射的光。由此，能够正确地在上述驱动部4牛上的*见定位置固定上述强》兹 性体或上述线圈。因此，能够提供包括能够发挥期望的扫描特性的 光扫描器的图像形成装置。此外，因为能够以一个光扫描器对光进 行二维扫描，所以能够达到图像形成装置的小型化。
图1是表示本发明的执行才几构的第一实施方式的平面图； 图2是图1中的A-A线截面图； 图3是图1中的B-B线截面图；图4是表示图1所示的执行机构所包括的驱动单元的电压施加 单元的才匡图；图5是表示图4所示的第一电压产生部和第二电压产生部的产 生电压的一个例子的图；图6是表示图1所示的执行机构的制造方法的图；图7是表示本发明的执行机构的第二实施方式的平面图；图8是图7中的A-A线截面图；图9是表示图7所示的4丸行才几构所包括的驱动单元的电压施加 单元的框图；图IO是表示图9所示的第一电压产生部和第二电压产生部的 产生电压的一个例子的图；图11是表示本发明的执行机构的第三实施方式的截面图；以及图12是表示本发明的图像形成装置的概要图。 符号说明1、 1A、 1B 执行机构 21 第一4展动系统 212、 213 第一轴部4牛 221 可动板142基体 211 驱动部件 22……第二4展动系统 221 a 光反射部222、 223 第二轴部件支承基板对基板61、 6IB 7Jc久磁铁23 支岸义部4 控制部6、 6A 驱动单元61a 凹部611A、 612A 软磁性体62、 621A、 622A 线圈63、 63A 电压施力口单元631、 631A 第一电压产生部632、 632A 第二电压产生告卩633、 633A 电压叠力口吾卩633a、 634A、 635A 力口法器71、 71A、 71B、 72、 72A、 72B 定位部件71a、 72a 第一层711、 712、 721、 722 相对部711B 衬垫部73B 空间9 图像形成装置W殳影机)71b、 72b 第二层712B 壁部81、 82 粘接层91 光源装置911 红色光源装置912 蓝色光源装置913 绿色光源装置92 分色镜(dichroic mirror )95固定《竟100 SOI基板100a Si层100b Si。2层100c Si层Ml、 M2 抗蚀掩冲莫S 屏幕X、 Y 转动中心轴具体实施方式
以下对本发明的执行机构、光扫描器和图像形成装置的适宜的 实施方式，参照附图进^S兌明。<第一实施方式〉首先，说明本发明的执行机构的第一实施方式。2是图1中的A-A线截面图，图3是图1中的B-B线截面图，图4 是表示图1所示的执行机构所包括的驱动单元的框图，图5是表示 图4所示的第一电压产生部和第二电压产生部的产生电压的一个例 子的图。而且，在下述中，为了说明的方便，称图1中的纸面近前 侧为"上"、纸面内侧为"下"、右侧为"右"、左侧为"左"，称图 2和图3中的上侧为"上"、下侧为"下"、右侧为"右"、左侧为"左"。如图1和图2所示，执行机构1包括具有第一振动系统21 和第二振动系统22的基体2;支承基体2的支7 义基板3;隔着支承 基板3与基体2相对的相对基板5;由永久石兹铁61、线圏62和电 压施加单元63构成的驱动单元6;和决定永久;兹铁61的固定位置 的定位部71、 72。如图1所示，基体2包括框状的支承部23、支承于支承部23 的第一4辰动系统21、支7"R于第一4展动系统21的第二寺展动系统22。第一振动系统21由设置于支承部23的内侧的框状的驱动部件 211、在支承部23上双支7"R驱动部件211的一对第一轴部件212、 213构成。此夕卜，第二振动系统22由设置于驱动部件211的内侧的 可动板221、在驱动部件211上双支岸义可动寺反221的一对第二轴部 件222、 223构成。在图1的^府一见图(即，可动才反221的俯视图)中，驱动部1牛211 为圓环状。但是，驱动部件211的形状只要为框状，没有特别限定， 例如，在图1的俯浮见图中，也可以为四角环状。在驱动部件211的 下面固定(紧固)有呈长方形的永久》兹4失61。该永久》兹铁61 #皮正 确地固定于通过形成于驱动部件211的下面的一对定位部71、 72 决定的固定位置。这样的驱动部件211通过一对第一轴部件212、 213双支7 义于支^R部23。第一轴部件212、 213分别呈长方形，能够弹性变形。以驱动 部件211能够相对支7"R部23转动的方式，第一轴部件212、 213分 别与驱动部件211和支承部23连4妄。这样，第一轴部件212、 213 相互同轴地_没置，以该轴(以下称为"转动中心轴X")为中心， 驱动部件211相对支7"R部23转动。在图1的俯4见图中，形成于驱动部件211的内侧的可动々反221 为圓形状。但是只要形成于驱动部件211的内侧，可动板221的形 状并无特别限定，例如，在图l的^f府^L图中，也可以为椭圆形、四 边形。在可动板221的上面形成有具有光反射性的光反射部221a。 这才羊可动4反221通过一对第二轴部件222、 223又又支7 义于驱动部Y牛 211。第二轴部件222、 223分別呈长方形，能够弹性变形。以可动 板221能够相对驱动部件211转动的方式，第二轴部件222、 223 分别与可动+反221和驱动部件211连4妾。这才羊，第二轴部件222、 223相互同轴地i殳置，以该轴(以下称为"转动中心轴Y，，)为中心， 可动板221相对驱动部件211转动。如图1所示，转动中心轴X和转动中心轴Y是相互正交的轴。 即，转动中心轴X和转动中心轴Y所成的角为90度。此外，在图 1的俯一见图中，驱动吾M牛211和可动^反221的各自的中心^立于寿争动 中心轴X和转动中心轴Y的交点上。而且，以下为了i兌明的方《更， 也称转动中心轴X和4争动中心轴Y的交点为"交点G"。这样的基体2例如以珪为主材料构成， 一体形成可动板221、 第二轴部4牛222、 223、马区动部ff211、第一4由告M牛212、 213、支 K 部23。通过以硅为主材料，能够实现优异的转动特性，并且能够发 挥优异的耐久性。此外，能够进4于孩i细的处理(加工)，能够达到 执行机构1的小型化。而且，基体2也可以从SOI基板等具有叠层结构的基板形成可 动氺反221、第二轴部件222、 223、驱动部件211、第一轴部件212、 213、支岸义吾卩23。 j)t日于， <尤选>>^吏可动々反221、第二车由部4牛222、 223、 驱动部^牛211、第一轴部件212、 213、支7fc部23为一体的方式， 以叠层结构基^反的一层构成它们。如图2所示，以上所述的基板2与支承基板3接合。这样的支 承基板3例如以玻璃、硅为主材料构成。在可动板221的俯视图中， 支承基板3为与支承部23大致相同的形状(即呈框状)。但是，只 要能够支承基体2，对支承基板3的形状没有特别的限定。此外， 根据支承部23的形状等，也可以省略支承基板3。如图2所示，隔着支承基板3，以与基体2相对的方式设置有 相对基板5。这样的相对基板5例如以玻璃、硅为主材料构成。在 相对基板5的上面设置有产生作用于永久磁铁61的磁场的线圏62。 这样的线圏62与电压施加单元63电连接。由永久》兹铁61、线圈 62和电压施力口单元63构成驱动单元6。如上所述，在驱动部件211的下面形成有一对定位部71、 72。 这样的定位部71、72决定7JC久石兹《失61向驱动部件211的固定位置。 由此，能够在驱动部件211上的规定位置正确地固定永久^兹铁61。 因此，执行机构1能够发挥期望的振动特性。此外，例如在大量生 产执行机构1等的情况下，能够抑制执行机构的振动特性的个体差 别，能够提高成品率。此外，通过在驱动部件211的下面形成定位部71、 72,能够在 驱动部件211的下面固定永久^兹《失61。由此，能够缩短永久万兹4失 61和线圈62的分离距离。其结果，能够达到执行机构1的小型化 和省电力4匕。3口图1和图2户斤示， 一只于定4立部71、 72在7;K久》兹4夹61的长边 方向以相互相对的方式形成。并且，在这样的一对定位部71、 72 之间设置有永久》兹铁61。一对定位部71、 72的相互的分离距离(图2中的Ll )与永久 》兹纟失61的长边方向的长度大致相等。通过形成这样的一对定位部71、 72，能够可靠地防止永久石兹铁61向驱动部件211的固定位置 相对规定的位置，在永久^兹铁61的长边方向(即，驱动部件211 的半径方向)产生偏差。定位部71以与永久》兹4失61的长边方向的一端部卡合的方式形 成。定位部71包括以在永久石兹4失61的宽度方向相互相对的方式i殳 置的一^j^目只于吾卩711、 712。并且，这才羊的一只寸才目^"4卩711、 712之 间-没置有7Jc久石兹难失61的一端部。一7t才目只寸415 711、 712的对目互的^离iH巨离与7:R夂《兹4失61的宽l 大致相等。由此，能够可靠地防止永久》兹铁61向驱动部件211的 固定位置相对规定的位置，在永久磁铁61的宽度方向(即，驱动 部件211的周方向)产生偏差。在图1的俯视图中，这样的定位部71呈字状，但是， 作为定4立部71的形状，只要能够决定7lc久万兹4失61向马区动部件的固 定位置，则无特别限定，例如，也可以分別以个体形成相对部711、 712。同样的，定位部72以与7Jc久f兹《失61的长边方向的另 一端部卡 合的方式形成。该定位部72包括以在永久》兹《失61的宽度方向相互 相对的方式"i殳置的一对相对部721、 722。并且，这才羊的一对相对部 721、 722之间，没置有永久》兹4失61的另 一端部。一只十才目又于吾卩721、 722的才目互的分离3巨离(图3中的L2)与7;K 久f兹铁61的宽度大致相等。由此，能够可靠地防止永久磁铁61向 驱动部件211的固定位置相对规定的位置，在永久磁铁61的宽度 方向产生Y扁差。在图1的俯视图中，这样的定位部72呈字状，但是， 作为定位部72的形状，只要能够决定永久^兹4失61向驱动部件的固 定位置，则无特别限定，例如，也可以分别以个体形成相对部721、 722。作为定位部71、 72的材津十，只要能够在驱动部件211上形成， 并决定7Jc久石兹《失61向驱动部4牛211的固定^f立置，则无特别限定， 例々口，能够适用J皮璃、石圭、陶瓷、Li、 Be、 B、 Na、 Mg、 Al、 K、 Ca、 Sc、 V、 Cr、 Mn、 Fe、 Co、 Ni、 Cu、 Zn、 Ga、 Rb、 Sr、 Y、 Zr、 Nb、 Mo、 Cd、 In、 Sn、 Sb、 Cs、 Ba、 La、 Hf、 Ta、 W、 Tl、 Pb、 Bi、 Ce、 Pr、 Nd、 Pm、 Sm、 Eu、 Gd、 Tb、 Dy、 Ho、 Er、 Tm、 Yb、 Lu、 Ag、 Au、 Pt、 Pd等各种金属材料、各种热硬化性树脂、 和各种热可塑性树脂等。在本实施方式中，如图2所示，定位部71在可动板221的厚 度方向(即，正交于寿争动中心轴X和转动中心轴Y的各自轴的方 向)叠层以Si02为主材料构成的第一层71a和以名圭为主材并+构成的 第二层71b而构成。同^f的，定^f立部72在可动寿反221的厚度方向 叠层以Si02为主材并牛构成的第一层72a和以硅为主材间构成的第二 层72b而构成。通过使定位部71、 72采用这才羊的结构，能够卩吏用SOI基才反， 才及为简单地一体形成定位部71、 72和马区动部4牛211。具体而言，例 如从SOI基板的一方的Si层形成基体2 (驱动部件211 ),从Si02 层形成定位部71的第一层71a和定位部72的第一层72a， 乂人另一 方的Si层形成定卩立部71的第二层71b和定位部72的第二层72b。 这样，能够一体形成定位部71、 72和驱动部件211。 但是，只要能 够一体形成定位部71、 72和驱动部件211，则并无特別限定，例如， 也可以仅/人SOI的基板的Si02层形成定位部71、 72，也可以从SOI 基才反以外的具有叠层结构的基;f反一体形成定^立部71、 72和驱动部件211。此外，也可以从硅基板等的单层基板一体形成定位部71、72和驱动部件211。这样，通过一体形成定位部71、 72和驱动部件211，能够高賴-度地(极为正确地)在驱动部件211上的规定位置形成定位部71、 72。由此，能够才及为正确i也决定7:K久》兹孝失61向驱动部4牛211的固定位置。在通过以上i兌明的定^立部71、 72决定的固定4立置固定有7乂久 磁铁61。如图2所示，该永久磁铁61设置于可动板221的光反射 部221a的相反面一侧。由此，通过永久^兹4失61，能够防止在光反 射部221a阻碍光扫描。此外，在图1的俯—见图中，永久^兹4失61通过转动中心轴X和 转动中心轴Y的交点(以下也称该交点为"交点G"),沿着相对專争 动中心轴x和转动中心轴Y的各自的轴倾斜的线段(以下也称该 线段为"线段J")设置。这样的永久》兹4失61的相对交点G的长边方向的一侧为S才及， 另一侧为N极。在图2中，为了说明的方便，图示了永久磁铁61 的长边方向的线面左侧为S极、纸面右侧为N一及的状况，但也可以 是相反的。在图1的俯^L图中，线^殳J相对转动中心轴X的倾4斗角6伊C选 为30至60度，更优选为40至50度，进一步优选为大致45度。 通过这样设置永久f兹铁61,能够极为平滑地使可动板221围绕转动 中心轴X和转动中心Y的各自的轴转动。与此相对，当倾冻+角e 不足上述下限值时，根据施加至线圏62的电压的强度，存在不能 平滑地4吏可动板221围绕X轴转动的情况。另一方面，当倾杀牛角e超过上述上限值时，4艮据施加至线圈62的电压的强度，存在不能平滑她J吏可动^反221围绕Y轴^争动的情况。本实施方式中，线l更J相对转动中心轴X和转动中心轴Y的各 自的4由，页冻牛45 I。jt匕夕卜，^口图2戶斤示，在7Jc久》兹4失61的可云力4反221 #的面(即 上面)上形成有凹部61a。该凹部61a是用于防止永久A兹《失61和可 动氺反221 4妄触的退让部。通过形成这才羊的凹部(退让部)61a,能 够平滑地进行可动板221围绕转动中心轴Y的转动。此夕卜，通过使 退让部为凹部61a,能够才及为简单地防止永久石兹4失61和可动并反221 的接触。但是，作为退让部，只要能够防止可动板221和永久磁纟失 61的才妄触，并无特别限定，例如，也可以是向正交于转动中心轴X 和转动中心轴Y的各自的轴的方向形成的贯通3L。此外，例如在粘 接层81、 82具有能够防止可动板221和永久磁铁61的接触的程度 的厚度等的情况下，也可以省略这才羊的凹部61a。作为这样的永久磁铁61，并无特别限定，例如能够适用钕磁4失、 铁氧体磁铁、钐钴磁铁、铝镍钴磁铁、粘结磁铁等磁化为硬磁性体的磁铁。而且，也可以通过将已^兹化的硬y磁性体(即永久》兹4失)设置于 驱动部件211的下面以作为永久A兹考失61，也可以通过在驱动部件 211上设置硬磁性体，之后磁化该硬》兹性体以作为永久》兹铁61。如图2所示，以上说明的永久磁铁61通过粘接层81、 82固定 于驱动部件211。该粘4妾层81、 82由粘4妾剂构成。由此，能够简单 且牢固地粘接驱动部件211和永久》兹铁61。作为这样的粘接剂的主 只要能够粘4妄驱动部^牛211和7:jc久石兹4失61,并无特别限定，但优选将石更化性树脂作为主材料以构成。由此，能够更牢固地粘4妻 驱动部件211和7仏久》兹4失61。此处，粘接层81、 82各自具有伴随粘4妄剂的硬化而收缩的性 质。但是，因为执行机构1具有定位部71、 72,所以能够有效地防 止通过这样的粘接层81、 82的收缩使永久》兹4失61产生移位。从这 样的观点出发，通过形成定位部71、 72,并且通过粘接层81、 82 将永久磁铁61固定于驱动部件211，能够达到制造的简易化和低成 本化，提供能够发挥期望的振动特性的执行机构1。但是，只要能够在由定位部71、 72决定的固定位置固定永久 磁铁61,则永久》兹4失61和驱动部件211的接合方法没有特别限定。在永久磁铁61的正下方设置有线圈62。由此，能够使从线圈 62产生的石兹场有效地作用于永久^兹考失61。结果，能够达到4丸4亍才几 构1的小型化和省电力化。此外，如图1所示，在图1的俯-见图中，线圈62以包围驱动 部件211的外周的方式形成。由此，在执行机构l的驱动时，能够 可靠地防止驱动部件211和线圈62的接触。结果，能够使线圈62 和永久磁铁61之间的分离距离变得极短，能够将从线圈62产生的 f兹场有效地作用于永久,兹铁61。即，能够有效地达到执行才凡构1的 省电力〗匕和小型^f匕。而且，线圈62例如也可以巻绕于》兹芯上。线圈62与电压施加单元63电连4妾。并且，通过由电压施加单 元63在线圏62上施加电压，从线圈62产生具有与转动中心轴X 和转动中心轴Y的各自的轴正交的轴方向的A兹通的》兹场。如图4所示，电压施加单元63包括产生用于1"吏可动^反221 围绕寿争动中心轴X转动的第一电压VI的第一电压产生部631;产生用于使可动板221围绕转动中心轴Y转动的第二电压V2的第二 电压产生部632;叠加第一电压VI和第二电压V2，将该电压施加 于线圏62的电压叠加部633。如图5(a)所示，第一电压产生部631产生以周期Tl周期性 变化的第一电压V1 (垂直扫描用电压)。第一电压VI是锯齿波的波形。因此，执行机构1能够有效地 对光进行垂直扫描(副扫描)。而且，第一电压VI的波形并不限定 于此。此处，只要是适合垂直扫描的频率，第一电压V1的频率(1/T1 ) 并不特別限定，优选为30至80Hz (60Hz左右)。本实施方式中，第一电压VI的频率以成为与由马区动部4牛211 和一对第一轴部件212、 213构成的第一4辰动系统21的扫4争共振频率不同的频率的方式进行调整。另一方面，力。图5(b)所示，第二电压产生部632产生以与周 期T1不同的周期T2周期性变化的第二电压V2(水平扫描用电压)。第二电压V2是正弦波的波形。因此，执行机构1能够有效地 对光进行主扫描。而且，第二电压V2的波形并不限定于此。优选这样的第二电压V2的频率比第一电压VI的频率大。即， 优选周期T2比周期丁l短。由此，能够更可靠且更平滑地使可动才反 221以第一电压V1的频率围绕转动中心轴X净争动，且以第二电压 V2的频率围绕转动中心轴Y转动。此外，第二电压V2的频率与第一电压VI的频率不同，且只 要是适于水平扫描的频率，则并无特别限定，<旦<尤选为10至40kHz。 这样，通过使第二电压V2的频率为10至40kHz,如上所述使第一电压VI的频率为60Hz左右，能够以适于在显示器的描绘的频率^吏 可动板221围绕转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴转动。 但是，只要能使可动—反221围绕转动中心轴X和转动中心轴Y的 各自的轴4争动，第一电压VI的频率和第二电压V2的频率的组合 等并无特别限定。本实施方式中，第二电压V2的频率以与由可动—反221和一对 第二轴部件222、 223构成的第二才展动系统22的扭-转共冲展频率相同 方式进4于调整。即，第二4展动系统22以其扭4争共纟展频率为适于7K 平扫描的频率的方式进行设计(制造)。由此，能够4吏可动板221 围绕转动中心轴Y的转动角变大。此外，在令第一振动系统21的共振频率为fUHz],第二振动系 统22的共振频率为f2[Hz]时，和f2优选满足f2 > f\的关系，更优 选满足&^10&的关系。由此，能够更平滑地/使可动外反221以第一 电压VI的频率围绕转动中心轴X转动，且以第二电压V2的频率 围绕转动中心轴Y #争动。这样的第一电压产生部631和第二电压产生部632分别与控制 部4连4妻，基于来自该控制部4的信号进4于驱动。在这样的第一电 压产生部631和第二电压产生部632上连4妻有电压叠加部633。该电压叠加部633具有用于在线圈62施加电压的力o法器633a。 加法器633a ^/L第一电压产生部631 4妾受第一电压VI，并/人第二电 压产生部632 4妻受第二电压V2,叠加这些电压并施加于线圈62。采用以上结构的执行机构1以下述方式驱动。而且，本实施方 式中，如上所述，第一电压VI的频率设定为与第一振动系统21的 扭转共振频率不同的值，第二电压V2的频率以与第二振动系统22 的扭转共振频率相同，且比第一电压VI的频率大的方式进4亍设定(例如，第一电压VI的频率为60Hz，第二电压V2的频率为 15kHz)。例如，在电压叠加部633叠加图5 (a)所示的第一电压V1和 图5 (b)所示的电压V2，将叠加的电压施加于线圈62 (该叠力Q的 电压也称为"电压V3")。这样，通过电压V3的对应第一电压VI的电压，在下述两种 ^兹场中交互地进行切换在使驱动部件211的粘接层81附近靠近 线圏62的同时， -使驱动部4牛211的粘4妻层82附近,人线圈62离开 的》兹场(该》兹场称为"石兹场Al");在使驱动部件211的粘接层81 附近从线圈62离开的同时，使驱动部件211的粘接层82附近靠近 线圈62的》兹场(该石兹场称、为"》兹场A2")。此处，在图1的俯一见图中，粘4妻层81位于驱动部件211的相 对转动中心轴X的一侧，粘接层82位于另一侧。换言之，在图1 的俯—见图中， 一对第 一粘4妄层81 、 82以夹持转动中心轴X的方式 设置于驱动部件211。因此，通过交互切换^磁场Al和/磁场A2，佳: 第一轴部4牛212、 213扫4争变形，4吏马区动部4牛211与可动4反221 — 同以第一电压VI的频率围绕转动中心轴X4争动。而且，第一电压VI的频率与第二电压V2的频率相比"i殳定4寻 极低。此外，第一振动系统21的共振频率设计得比第二振动系统 22的共4展频率〗氐(例如，第二振动系统22的共4展频率的1/10以下)。 即，因为第 一振动系统21设计得比第二振动系统22更容易振动， 所以能够通过第一电压VI围绕转动中心轴X转动。即，能够防止 驱动部件211通过第二电压V2围绕转动中心轴X转动。另一方面，通过电压V3的对应第二电压V2的电压，在下述 两种磁场中交互地进行切换在使驱动部件211的粘接层81附近靠近线圈62的同时，4吏驱动部件211的粘4妾层82附近乂人线圈62 离开的磁场(该磁场称为"磁场B1");在使驱动部件211的粘接层 81附近从线圈62离开的同时，使驱动部件211的粘接层82附近靠 近线圈62的石兹场(该.磁场称为"石兹场B2")。此处，在图1的俯视图中，粘接层81位于驱动部件211的相 对转动中心轴Y的一侧，粘4妻层82位于另一侧。换言之，在图1 的俯-一见图中， 一对第一粘4妄层81、 82以夹持寿争动中心轴Y的方式 -没置于驱动部件211。因此，通过交互切换磁场Bl和f兹场B2， <吏 第二轴部件222、 223扭、转变形，4吏可动寿反221以第二电压V2的频 率围绕转动中心轴Y转动。而且，第二电压V2的频率与第二4展动系统22的扭^争共^展频率 相等。因此，能够通过第二电压V2控制可动才反221围绕转动中心 轴Y转动。即，能够防止可动4反221通过第一电压VI围绕转动中 心轴Y转动。由上述可知，在扭^f亍才几构1中，通过将叠加有第一电压VI和 第二电压V2的电压V3施加于线圏62,能够^吏可动4反221以第一 电压VI的频率围绕转动中心轴X转动，且以第二电压V2的频率 围绕转动中心轴Y转动。由此，能够达到低成本化和小型化，使可 动板221围绕转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴转动。特别是，因为能够使作为驱动源的永久磁铁和线圈的各自的数 目变少，所以能够为简单且小型的结构。此夕卜，如上所述，执行机构1以可动板211围绕转动中心轴X 和转动中心轴Y的各自的轴转动的方式构成。因此，例如，在没有 形成定位部71、 72,永久石兹《失61向驱动部件211的固定位置相对 头见定位置产生偏差的情况下，可动板221的围绕转动中心轴X的转动特性和围绕转动中心轴Y的转动特性可能分别与期望的特性产 生偏差。从该观点出发，执行机构1通过具有定位部71、 72，能够 极为简单且可靠地发挥期望的振动特性。此外，通过在驱动部4牛211 i殳置永久不兹纟失61,以与7Jc久f兹4失 61相对的方式i殳置线圈62,能够抑制由于通电/人线圈62产生的热 所引起的基体2的热膨胀。由此，执行机构1能够长时间地发挥期 望的振动特性。以上所述的坤丸4亍才几构1例如能够以下述方式制造。图6是用于说明执行才几构1的制造方法的图(对应图1中B-B 线皇从截面图的图)。而且，以下为了i兌明的方Y更，称图6中的上侧 为"上"，下侧为"下"。首先，如图6 (a)所示，准备用于形成基体2和定位部71、 72的SOI基*反100。这才羊的SOI基4反100为叠层Si层100a、 Si02 层100b和Si层100c的叠层结构。然后，如图6(b)所示，在Si 层lOOa的上面形成与可动板221、第二轴部件222、 223、驱动部 件211、第一轴部件212、 213、支承部23的俯j见图形状对应的形 状的抗蚀掩模Ml,并且在Si层100c的下面形成与定位部71、 72 的俯视图形状对应的形状的抗蚀掩才莫M2 。4秦着，隔着抗蚀4奄才莫Ml蚀刻Si层100a。之后，除去抗蚀掩 模M1。由此，如图6(c)所示，得到一体形成有可动板221、第 二專由告fW牛222、 223、马区动吝M牛211、第一^由吾M牛212、 213、支岸义^卩 23的Si层100a。而且，此时，SiC)2层100b作为蚀刻的阻挡层起 作用。作为这样的蚀刻方法，例如能够使用等离子体蚀刻、反应离 子蚀刻、束蚀刻、光辅助蚀刻等物理蚀刻法，湿蚀刻等4b学蚀刻法等中的一种或两种以上的组合。而且，以下的各工序中的蚀刻也能 够4吏用相同的方法。*接着，隔着抗蚀掩才莫M2蚀刻Si层lOOc。之后除去抗蚀掩才莫 M2。由此，如图6(d)所示，得到形成有定位部71的第二层71b 和定位部72的第二层72b的Si层lOOc。此时，Si02层100b作为蚀刻的阻挡层起作用。接着，通过除去除了对应定位部71、 72的俯视图形状的部分 之外的Si02层100b,如图6(e)所示，能够得到形成有定位部71 的第一层71a和定位部72的第一层72a的SiCb层100b。即，得到 与驱动部件211 —体形成的定位部71、 72。这样，通过使用SOI 基板，能够极为简单地一体形成驱动部件211和定位部71、 72。接着，在可动板221的上面形成金属膜，形成光反射部221a (未图示)。作为这样的金属膜的形成方法，能够举出真空蒸镀、 溅射(低温溅射)、离子镀等干式镀法，电解镀、无电解镀等湿式 镀法，熔射法，金属箔的接合等。接着如图6 (f)所示，将预先形成有凹部61a的硬f兹性体通过 粘接层81、 82固定于由定位部71、 72决定的驱动部件211上的固 定位置。然后，通过^兹化固定于驱动部件211上的硬,兹性体，得到 永久磁铁61。另 一方面，通过蚀刻硅基板分别形成支承基板3和相对基板5 (未图示)。作为这样的支承基板3和相对基才反5的各自的制造方 法，因为与上述从SOI基板100形成基体2等的方法相同，省略其 说明。而且，在相对基板5的上面固定有线圈62。最后，通过接合一体形成有基体2、定位部71、 72的SOI基板 100、支承基板3和相对基板5,如图6 ( g )所示，得到执行机构1。 作为接合方法，无特别限定，例如也可以使用粘接剂进行接合，也 可以通过阳极接合进行接合。<第二实施方式〉接着，说明本发明的执行机构的第二实施方式。图7是表示本发明的执行机构的第二实施方式的平面图，图8 是图7中的A-A线截面图，图9是表示图7所示的执行机构所包括 的驱动单元的框图，图IO是表示图9所示的第一电压产生部和第 二电压产生部的产生电压的一个例子的图。而且，在下述中，为了 -说明的方〗更，称图7中的纸面近前侧为"上"、纸面内侧为"下"、 右侧为"右"、左侧为"左"，称图8中的上侧为"上"、下侧为"下"、 右侧为"右"、左侧为"左"。以下，对第二实施方式的冲丸4亍才几构1A，以与上述第一实施方 式的执行机构1的不同点为中心进行说明，对同样的事项省略其说明。本发明的第二实施方式的执行机构1A除了定位部71A、 72A 的形状和驱动单元6A的结构不同以外，与第一实施方式的执行机 构1大致相同。在图7至10中，〗寸与上述第一实施方式同才羊的结 构附给相同的符号。在驱动部件211的下面形成有一对定位部71A、 72A。这才羊的 一对定位部71A、 72A相互为相同形状且为相同尺寸。在图7的俯-f见图中，定位部71A以包围软f兹性体611A的夕卜周 的方式形成。即，定位部71A决定專欠石兹性体611A向驱动部件211 的固定位置。这样，通过以包围软》兹性体611A的外周的方式形成 定位部71A，能够将專欠》兹性体611A正确地固定于驱动部件211上的规定位置。在图7的俯—见图(即可动才反211的俯视图)中，定位部71A为 圓环状。此外，定位部71A的内径比驱动部件211的内周和外周间 的3巨离大。同样，在图7的^府一见图中，定位部72A以包围衫J兹'1"生体612A 的外周的方式形成。即，定位部72A决定软》兹性体612A向驱动部 件211的固定^立置。这才羊，通过以包围寿欠石兹性体612A的外周的方 式形成定4立部72A,能够将專欠石兹性体612A正确；也固定于驱动部4牛 211上的^见定位置。在图7的俯牙见图中，定位部72A为圓环状。此夕卜，定^f立部72A 的内径比驱动部件211的内周和外周间的距离大。但是，只要能够决定软磁性体611A、 612A的固定位置，定位 部71A、 72A的形状并无特别限定。例如，定^立部71A的内径也可 以比驱动部件211的内周和外周间的距离小。此夕卜，定位部71A也 可以不是圆环状，例如，也可以为缺少环的一部分的大致"C"字 状，也可以以包围软;兹性体611A的外周的方式，由相互在软i兹性 体611A的周方向隔开间隔i殳置的多个突起部构成。定〗立部72A也 与定位部71A同才羊。这样的定位部71A、 72A^f吏用SOI基板，与驱动部件211—体形成。以上所述的定位部71A的内侧与软石兹性体611A的固定位置固 定，定位部72A的内侧与软》兹性体612A的固定位置固定。由此， 能够正确i也在驱动部件211上的>见定位置固定寿欠;磁性体611A、 612A。结果，执行机构1A能够发挥期望的振动特性。定位部71A的内侧固定有软》兹性体611A,定位部72A的内侧 固定有软,兹性体612A。在图7的俯—见图中，这样的一对软》兹性体 611A、 612A以分别离开转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴的方式设置。具体而言，如图7所示，软磁性体612A固定于驱动部件211 的相对转动中心轴X的第二轴部件222侧，且相对转动中心轴Y 的第一轴部件213侧的部位，软》兹性体611A固定于驱动部件211 的相对转动中心轴X的第二轴部件223侧，且相对转动中心轴Y 的第一轴部件212侧的部位。即，在图7的俯视图中，执行才几构1A采用下述结构，在以转 动中心轴X和转动中心轴Y将驱动部件211划分为四个区域时，一 对软》兹性体611A、612A中的一个软石兹性体位于具有相对交点G(转 动中心轴X和4争动中心轴Y的交点)点^J"称的关系的两个区i或中 的一个区域内，另一个软磁性体位于另一个区域内。由此，能够平 滑地/使可动4反221围绕4争动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴 转动。进而， 一对软万兹性体611A、 612A以相对交点G点对称的方式 固定于驱动部件211上。由此，能够更加平滑地/使可动才反221围绕 转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴转动。此外，在图7的俯视图中，通过交点G，连接一对软,兹性体 611A、 612A的各自的中心的线—艮相对转动中心轴X的倾斜角0优选为30至60度，更优选为40至50度，进一步优选为大致45度。 通过在这样的线段上设置一对软》兹性体611A、 612A，能够才及为平 滑地使可动板221围绕转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴转动。软磁性体611A为圆^反状。因此，在4丸4亍才几构1A的制造时， 能够极为简单地将^:万兹性体611A固定于定位部71A的内侧。而且，在图7的俯一见图中，衫。磁性体611A的外形与定位部71A 的内周的形状大致相等。由此，能够极为正确地在驱动部件211上 的规定位置设置软》兹性体611A。这样的软》兹性体611A通过粘4妻层 81与—驱动部j牛211 4妻合。同样的，软磁性体612A为圆板状。因此，在执行机构1A的 制造时，能够极为简单地将软磁性体612A固定于定位部72A的内侧。而且，在图7的俯一见图中，软一磁性体612A的外形与定位部72A 的内周的形状大致相等。由此，能够才及为正确i也在马区动部件211上 的规定位置设置软磁性体612A。这样的软磁性体612A通过粘接层 82与驱动部件211接合。这样的软》兹性体611A 、 612A分別以專iU兹性材库牛为主材并牛而构 成。作为这样的软磁性材料，无特别限定，能够举出Fe、各种Fe 合金(硅铁、坡莫合金、无定形、铝硅铁粉)等。如图8所示，在以上说明的软磁性体611A的正下方设置有用 于》兹化软》兹性体611A的线圏621A。同样的，在软》兹性体612A的 正下方设置有用于磁化软磁性体612A的线圈622A。由此，能够通 过/人线圈621A产生的石兹场，有效地石兹化软;兹性体611A,通过/人线圏622A产生的》兹场，有效地磁化软》兹性体612A。结果，能够达到 执行机构1A的小型化和省电力化。在这样的软磁性体611A的正下方设置有用于,兹化软》兹性体 611A的线圈621A。同才羊的，在库欠》兹性体612A的正下方i殳置有用 于》兹化软A兹性体612A的线圈622A。这样的线圈621A、 622A分别与电压施加单元63A电连4妾。并 且，通过由电压施加单元63A在线圈621A、 622A上施加电压，乂人 线圈621A、 622A分别产生具有与转动中心轴X和转动中心轴Y的 各自的轴正交的方向的》兹通的》兹场。通过/人线圈621A产生的；兹场 ^"兹化的软^兹性体611A，靠近线圈621A，通过乂人线圈622A产生的 》兹场f兹化的l欠i兹性体612A靠近线圈622A。如图9所示，电压施加单元63A包括产生用于4吏可动才反221 围绕4争动中心轴X專争动的第一电压的第一电压产生部631A;产生 用于使可动板221围绕转动中心轴Y转动的第二电压的第二电压产 生部632A;叠加第一电压和第二电压，将该电压施力o于线圈621A、 622A的电压叠力o部633A。如图10(a)、 (b)所示，第一电压产生部631A产生以周期T3 周期性变化的电压(垂直扫描用电压)。具体而言，第一电压产生 部631A产生具有频率(1/T3 )的两种第一电压Vll、 V12。第一电压Vll、 V12分别,皮施加为脉冲状。此夕卜，第一电压 Vll、 V12相互为相同波形，但第一电压V12相对第一电压Vll相 位偏移180。。通过这样的第一电压Vll、 V12,执4亍才几构1A能够 有效地对光进行垂直扫描(副扫描)。但是，只要能够使可动板221 围绕寿争动中心轴X4争动，则第一电压Vll、 V12的各自的波形并不 限定于此。此外，只要是适合垂直扫描的频率，第一电压Vll、 V12的频率并无特别限定，优选为30至80Hz (60Hz左右)。此夕卜，本实施 方式中，第一电压Vll、 V12的频率被调整为与由驱动部件211和 一乂f第一.轴部'泮212、 213构成的第一掮-动系统21的扭4争共^展频率 不同的值。另一方面，如图10 (c)、 (d)所示，第二电压产生部632A产 生以与周期T3不同的周期T4周期性变化的电压(水平扫描用电 压)。具体而言，第二电压产生部632A产生具有频率(1/T4)的两 种第二电压V21、 V22。第二电压V21、 V22分别一皮施加为脉冲状。此夕卜，第二电压 V21、 V22相互为相同波形，寸旦第二电压V22相对第二电压V21相 位偏移180。。通过这样的第二电压V21、 V22,执行机构1A能够 有效地对光进^f于水平扫描(主扫描)。此外，第二电压V21、 V22的频率只要与第一电压Vll、 V12 的频率不同，且是适于水平扫描的频率，则并无特别限定，但优选 为10至40kHz。例如，通过4吏第二电压V21、 V22的频率为10至 40kHz,如上所述1'吏第一电压Vll、 V12的频率为60Hz左右，能够 以适于在显示器的描^^的频率4吏可动4反221围绕转动中心轴X和转 动中心轴Y的各自的轴转动。这样，第二电压V21、 V22的频率以与由可动玲反221和一对第 二轴部件222 、 223构成的第二振动系统22的4丑转共振频率相同方 式进行调整。由此，能够使可动板221围绕转动中心轴Y的转动角 变大。这才羊的第一电压产生部631A和第二电压产生部632A分别与 控制部4连接，基于来自该控制部4的信号进行驱动。此外，在这才羊的第一电压产生部631A和第二电压产生部632A上连4妾有电压 叠力口部633A 。电压叠加部633A包4舌用于在线圈621A上施加电压的加法器 634A和用于在线圈622A上施加电压的加法器635A。加法器634A ,人第一电压产生部631A 4妄受第一电压Vll,并 ,人第二电压产生部632A接受第二电压V21，叠加这些电压并施加 于线圈621A。加法器635A从第一电压产生部631A 4妾受第一电压V12，并 从第二电压产生部632A接受第二电压V22,叠加这些电压并施加 于线圈622A。采用以上结构的扭j亍才几构1A以下述方式驱动。而且，本实施 方式中，如上所述，第一电压Vll、 V12的频率i殳定为与第一4展动 系统21的扭转共振频率不同的值，第二电压V21、 V22的频率以 与第二^展动系统22的扭转共才展频率相同，且比第一电压Vll、 V12 的频率大的方式进4亍i殳定(例如，第一电压Vll、 V12的频率为 60Hz,第二电压V21、 V22的频率为15kHz)。例如，叠加图10 (a)所示的第一电压Vll和图10 (c)所示 的电压V21，并施加于线圈621A (该叠加的电压也称为"电压 V31")。与此同时，叠加图10 (b)所示的第一电压V12和图10(d)所示的电压V22，并施加于线圈622A (该叠加的电压也称为"电压V32")。这才羊，在下述两种》兹场中交互:t也进4亍切:換通过电压V31中只于应第一电压VI1的电压产生的、使驱动部件211的软石兹性体611A 附近靠近线圈621A的磁场(该^兹场称为"磁场Cl，，)；通过电压V32中对应第一电压V12的电压产生的、使驱动部件211的软A兹性 体612A附近靠近线圈622A的磁场(该》兹场称为"磁场C2")。此处，在图7的俯一见图中，在驱动部件211上的相只十寿争动中心 轴X的一侧固定软》兹性体611A,在另一侧固定软-磁性体612A。因 此，通过交互切才奂石兹场Cl和石兹场C2，能够-使第一轴部4牛212、 213 4丑转变形，Y吏驱动部件211和可动才反221 —起以第一电压Vll、 V12 的频率围绕转动中心轴X转动。而且，第一电压Vll、 V12的频率与第二电压V21、 V22的频 率相比设定得极低。此外，第一振动系统21的共振频率设计得比 第二振动系统22的共振频率低(例如，第二振动系统22的共振频 率的1/10以下)。即，因为第一4展动系统21i殳计4f比第二冲展动系统 22更容易振动，所以能够通过第一电压Vll、 V12围绕转动中心轴 X转动。即，能够防止驱动部件211通过第二电压V21、 V22围绕 转动中心轴X專t动。另一方面，在下述两种》兹场中交互地进^f亍切换通过电压V31 中对应第二电压V21的电压产生的、1吏驱动部件211的寿欠-磁性体 611A附近靠近线圈621A的》兹场(该》兹场称为"磁场Dl"); 通过 电压V32中对应第二电压V22的电压产生的、使驱动部件211的软 》兹性体612A附近靠近线圈622A的磁场(该》兹场称为"磁场D2")。此处，在图7的俯^L图中，在驱动部4牛211上的相对專争动中心 轴Y的 一侧固定库欠f兹性体611A,在另 一侧固定彰。磁性体612A。因 此，通过交互切换》兹场Dl和眉兹场D2，能够使第二轴部件222、 223 扭转变形，使可动板221以第二电压V21、 V22的频率围绕转动中 心轴Y转动。而且，第二电压V21、 V22的频率与第二振动系统22的扭转 共才展频率相等。因此，能够通过第二电压V21、 V22控制可动才反221 围绕寿争动中心4由Y 4争动。即，能够防止可动—反221通过第一电压 VI1 、 V12围绕專争动中心轴Y 4争动。由上述可知，在才丸行才几构1A中，通过将叠加有第一电压Vll 和第二电压V21的电压V31施加于线圈621A、 4寻叠加有第一电压 V12和第二电压V22的电压V32施力口于线圈622A,能够4吏可动氺反 221以第一电压V11、 V12的频率围绕转动中心轴X转动，且以第 二电压V21、 V22的频率围绕转动中心轴Y转动。由此，能够达到 低成本化和小型化，使可动板221围绕转动中心轴X和转动中心轴 Y的各自的轴转动。此外，本实施方式中，因为#丸4亍才几构1A包括一对^:-兹性体 611A、 612A,所以能够平滑地使可动板221以第一电压Vll、 V12 的频率围绕转动中心轴X转动，且以第二电压V21、 V22的频率围 绕4争动中心轴Y转动。进而，在图7的俯浮见图中，因为 一对4欠^"兹性体611A、 612A以 相对交点G点对称的方式固定于驱动部^f牛211，所以能够更平滑;也 <吏可动4反221以第一电压V11、V12的频率围绕4l"动中心轴X專t动， 且以第二电压V21 、 V22的频率围绕转动中心轴Y转动。而且，在本实施方式中，说明了在驱动部件211上固定一对软 磁性体611A、 612A的状况，但只要能够使可动板221围绕转动中 心轴X和转动中心轴Y的各自的轴转动，则软》兹性体的数目并不 特别限定。例如，在可动板的俯视图中，也可以将一个软》兹性体设 置于离开转动中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴的位置。根据这样的第二实施方式，也能够发挥与第 一 实施方式相同的效果。<第三实施方式〉接着，说明本发明的执行才凡构3的第三实施方式。图11是本发明的执行机构的第三实施方式的执行机构所包括 的定4立部的》丈大图。而且为了i兌明的方Y更，称图11中的纸面上侧 为"上"，纸面下侧为"下"。以下，7于第三实施方式的#^于才凡构1B,以与上述第一实施方 式的执行机构1的不同点为中心进行说明，对于同样的事项省略其说明。本发明的第三实施方式的执行才几构1B除了定位部71B、 72B 的形状不同以外，与第一实施方式的扭Z亍才几构1大致相同。而且， 图11中，对与上述第一实施方式同样的结构附给同一符号。因为 定位部71B、 72B相互为同样的结构，以定位部71B为^C表进4亍i兌 明，省'略定4立4p 72B的i兌明。以下，基于图11说明定位部71B。图11是对应图1中的A-A 线截面图的部分》文大图。定位部71B包括用于形成防止可动纟反221和永久》兹4失61B 4妄触 的空间73B的神于垫部711B,和/人斗十垫部711B向图11中下方向伸 出的方式形成的壁部712B。并且，在详于垫部711B的下面通过粘接 层81接合有永久》兹《失61B。通过J吏定位部71B为这样的形状，能够正确决定永久磁纟失61B 向驱动部件211的固定4立置，并且能够筒单i也形成防止可动4反221和永久》兹《失61B 4妾触的空间73B。由此，例如，没有必要在永久》兹 铁61B的上面形成凹部，能够达到执行机构1B的制造的简易化。此外，通过调整^t垫部711B的厚度，能够决定在正交于4争动 中心轴X和转动中心轴Y的各自的轴的方向的7:K久箱M失61B的固 定位置。即，在驱动部件211的周方向、驱动部件211的半径方向、 驱动部件211的厚度方向的全部方向中，能够防止永久磁铁61B的 固定位置相对身见定位置产生偏差。根据这样的第三实施方式，也能够发挥与第一实施方式同样的效果。以上说明的执行才几构，因为包括光反射部，例如，能够使用于 加速度传感器、角速度传感器等的MEMS应用传感器，激光打印 机、条形码阅读器、扫描型共焦点激光显微镜、成像用显示器等图 像形成装置所包括的光扫描器、光开关、光衰减器等光学器件。而 且，因为本发明的光扫描器为与上述4丸行才几构相同的结构，所以省 略其"i兌明。此处，基于图12，作为图像形成装置的一个例子，说明将执行 机构1使用为成像用显示器的光扫描器的情况。而且，屏幕S的长 边方向为，黄方向"，与长边方向成直角的方向为"纟从方向"。此外， 转动中心轴X与屏幕S的4黄方向平行，转动中心轴Y与屏幕S的 纟从方向平4亍。图像形成装置(投影机)9具有激光等照出光的光源装置91、 多个分色4竟92 、 92 、 92和4丸行才几构1 。光源装置91包括照出红色光的红色光源装置911、照出蓝色光 的蓝色光源装置912和照出绿色光的绿色光源装置913。各分色镜92是合成从红色光源装置911、蓝色光源装置912、 绿色光源装置913中分别照出的光的光学元件。这样的投影机9采用下述结构，基于来自未图示的主机的图像 信息，在分色镜92合成从光源装置91 (红色光源装置911、蓝色 光源装置912、绿色光源装置913)照出的光，通过^U亍才几构1 二 维扫描该合成的光，在屏幕S上形成彩色图像。在二维扫描时，通过4;U亍才几构1的可动^反221的围绕转动中心 轴Y的转动，在光反射部221a反射的光在屏幕S的一黄方向^皮扫描 (主扫描)。另一方面，通过才丸4亍冲几构1的可动^反221的围绕转动 中心轴X的转动，在光反射部221a反射的光在屏幕S的纵方向净皮 扫描(副扫描)。而且，在图12中，以在通过执行机构1 二维扫描在分色镜92 合成的光之后，该光由固定《竟95反射后在屏幕S上形成图Y象的方 式构成，^f旦也可以省略固定4竟95 ，将通过才丸4亍才几构1 二维扫描的光 直接照射于屏幕S。以上，对本发明的执行机构、光扫描器和图像形成装置，基于 图示的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于此。例如，在本 发明的执行机构、光扫描器和图像形成装置中，各部的结构能够置 换为发挥同样功能的任意的结构，此外，也能够附加任意的结构。此夕卜，在上述实施方式中，^Vf亍才几构为相对Y轴和X轴的各 自的轴大致对称的形状，^旦也可以为非对称。此外，在上述实施方式中，作为强磁性体，使用永久磁铁(强 磁性体中，不从外部接受电流、磁场的供给即能够较长期地持续保 持作为磁铁的性质的磁体)和软磁性体(强磁性体中，仅在接受外部磁场的磁化时实质性地具有作为磁铁的性质的磁体)进行了说 明，^旦只要能够一皮作用来自线圈的^兹场，并不限定于此。
权利要求
1.一种执行机构，其特征在于包括第一振动系统，包括框状的驱动部件、以及一对第一轴部件，所述一对第一轴部件以使所述驱动部件围绕X轴转动的方式、双支承所述驱动部件；第二振动系统，包括设置于所述驱动部件的内侧的可动板、以及一对第二轴部件，所述一对第二轴部件以使所述可动板围绕与所述X轴正交的Y轴转动的方式、在所述驱动部件上双支承所述可动板；驱动单元，具有强磁性体、对该强磁性体作用磁场的线圈、和向该线圈施加电压的电压施加单元，在所述可动板的俯视图中，所述强磁性体和所述线圈中的一个设置于离开所述驱动部件上的所述X轴和所述Y轴的各自的轴的位置；以及定位部，设置于所述驱动部件上，决定所述强磁性体或所述线圈向所述驱动部件的固定位置，通过由所述电压施加单元向所述线圈施加电压，使所述可动板围绕所述X轴和所述Y轴的各自的轴转动。
2. 根据权利要求1所述的执行机构，其特征在于，所述定位部与所述驱动部件一体形成。
3. 根据权利要求2所述的执行机构，其特征在于，所述驱动部件由SOI基板的一方的Si层形成，所述定位 部由所述SOI基板的Si02层和另一方的Si层中的至少Si02层形成。
4. 根据权利要求1至3中任一项所述的执行机构，其特征在于，在所述驱动部件上设置有所述强石兹性体，所述强,兹性体 为长方形的永久磁铁，所述永久》兹铁在所述可动才反的俯视图 中，连接其两^l的线^更通过所述X轴和所述Y轴的交点，以 相对所述X轴和所述Y轴的各个倾斜的方式设置。
5. 根据权利要求4所述的执行机构，其特征在于，所述永久》兹4失的长边方向的两端部固定于所述驱动部 件，i殳置有一对所述定位部，以便决定所述永久》兹《失的长边方 向的两端部的固定^立置。
6. 根据权利要求5所述的执行机构，其特征在于，所述一对定位部在所述永久》兹4失的长边方向，以隔着所 述永久》兹名失相互相对的方式，且以相互的分离距离与所述永久 》兹《失的长度大致相等的方式形成。
7. 根据权利要求5或6所述的执行机构，其特征在于，所述各定位部具有在所述永久磁铁的宽度方向上，以隔 着所述7Jc久石兹4夹相互相对的方式形成的一只十相^]"部，该一对相 对部彼此之间的分离距离与所述永久磁《失的宽度方向的长度 大致相等。
8. 根据权利要求1至3中任一项所述的执行机构，其特征在于，在所述驱动部件设置有所述强石兹性体，所述强》兹性体为 软石兹性体，在所述可动板的俯4见图中，所述定^立部以包围所述 软》兹性体的外周的方式设置。
9. 根据权利要求8所述的执行机构，其特征在于，在所述可动才反的俯—见图中，所述软》兹性体为圆形。
10. 根据权利要求8或9所述的执行机构，其特征在于，在所述可动板的俯视图中，所述软》兹性体以在由所述X 轴和所述Y轴划分的四个区域中，位于具有相对所述X轴和 所述Y轴的交点点对称的关系的两个区域内的方式i殳置有一 对，所述线圈以与所述各软磁性体相对的方式设置有 一对。
11. 根据权利要求IO所述的执行机构，其特征在于，在所述可动^反的俯^见图中，所述一对專欠石兹性体以相对所 述X轴和所述Y轴的交点点对称的方式i殳置。
12. 根据权利要求1至11中任一项所述的执行机构，其特征在于，所述电压施加单元包括电压产生部，用于产生周期性 变化、其频率相互不同的第一电压和第二电压；以及电压叠加 部，用于叠加所述第一电压和所述第二电压，其中，通过将在 所述电压叠加部叠加的电压施加至所述线圈J吏所述可动4反以 所述第一电压的频率围绕所述X轴转动，并以所述第二电压 的频率围绕所述Y轴转动。
13. 根据权利要求12所述的执行机构，其特征在于，所述第二电压的频率与所述第二振动系统的共4展频率相 等，所述第 一 电压的频率与所述第 一 振动系统的共才展频率不同。
14. 根据权利要求1至13中任一项所述的执行机构，其特征在于，所述可动板包括具有光反射性的光反射部。
15. —种光扫描器，其特征在于包括第一才展动系统，包括框状的马区动部件、以及一乂于第一轴 部件，所述一对第一轴部件以-使所述驱动部件围绕X轴转动 的方式、^又支7 、所述马区动部件；第二振动系统，包括设置于所述驱动部件的内侧、包括 具有光反射性的光反射部的可动板，以及一对第二轴部件，所 述一对第二轴部件以使所述可动才反围绕与所述X轴正交的Y 轴转动的方式、在所述驱动部件上双支7 、所述可动;f反；驱动单元，具有强》兹性体、对该强磁性体作用^兹场的线 圈、禾口向该》戋圈施力口电压的电压施力口单元，在戶斤述可动才反的俯 视图中，所述强^F兹性体和所述线圈中的一个i殳置于离开所述驱 动部件上的所述X轴和所述Y轴的各自的轴的位置；以及定位部，i殳置于所述驱动部^f牛上，决定所述强；兹性体或 所述线圈向所述驱动部件的固定^f立置，其中，通过由所述电压施加单元向所述线圏施加电压， ^吏所述可动^反围绕所述X轴和所述Y轴的各自的4由库争动、二 维扫描由所述光反射部反射的光。
16. —种图像形成装置，包括光扫描器，其特征在于，所述光扫描 器包括第一4展动系统，包括框状的驱动部件、以及一对第一轴 部件，所述一对第一轴部件以使所述驱动部件围绕X轴转动 的方式、^又支7"R所述驱动部件；第二振动系统，包括设置于所述驱动部件的内侧、包括具有光反射性的光反射部的可动板，以及一对第二轴部件，所 述一^"第二轴部件以^吏所述可动々反围绕与所述X轴正交的Y 轴转动的方式、在所述马区动部件上^又支7 义所述可动》反；驱动单元，具有强磁性体、对该强^兹性体作用不兹场的线 圈、和向该线圈施力。电压的电压施力。单元，在所述可动—反的《府 牙见图中，所述强石兹性体和所述线圈中的一个i殳置于离开所述驱动部件上的所述X轴和所述Y轴的各自的轴的^立置；以及定位部，i殳置于所述驱动部件上，决定所述强石兹性体或 所述线圈向所述驱动部件的固定^立置，其中，通过由所述电压施加单元向所述线圈施加电压， 4吏所述可动;板围绕所述X轴和所述Y轴的各自的轴转动、二 维扫描由所述光反射部反射的光。
全文摘要
本发明提供一种能够发挥期望的振动特性的执行机构、光扫描器以及图像形成装置。执行机构(1)采用下述结构，包括第一振动系统(21)，包括框状的驱动部件(211)；第二振动系统(22)，包括可动板(221)；永久磁铁(61)，固定在驱动部件(211)上；线圈(62)，在永久磁铁(61)上作用磁场；电压施加单元，在线圈(62)上施加电压；定位部(71、72)，设置于驱动部件(211)，决定永久磁铁(61)向驱动部件(211)的固定位置，通过由电压施加单元向线圈(62)施加电压，使可动板(211)围绕X轴和Y轴的各自的轴转动。
文档编号G03G15/00GK101266335SQ200810007358
公开日2008年9月17日 申请日期2008年3月11日 优先权日2007年3月12日
发明者山贺洋和, 沟口安志 申请人:精工爱普生株式会社