专利名称：偏振器以及具有偏振器的显示装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种偏振器以及具有偏振器的半导体装置。例如，本发明涉及 以使用偏振器的液晶显示面板为代表的电光装置以及将具有使用偏振器的有 机发光元件的发光显示装置作为其部件安装的电子设备。
注意，在本说明书中，"半导体装置"是指一种通过利用半导体特性来发挥 功能的所有装置，亦即，电光装置、半导体电路和电子设备均属于半导体装置。
背景技术：
在光的电振荡中，自然光具有随机的振荡方向，与此相反，在特定的方向 上振荡的光被称为偏振光。液晶面板的显示原理就是利用该偏振光，并且作为 其用途，薄膜型偏振器已经广泛地被实用化。薄膜型偏振器使含有碘的高分子 材料的薄膜沿特定方向延伸，并仅使一个方向的直线偏振光的光透过，且吸收 与该直线偏振光的光正交的偏振光。
然而，使用碘的偏振器的耐热性低，并且具有该偏振器的液晶面板的使用 环境条件受到限定。
此外，作为其耐热性比使用碘的偏振器高的偏振器，专利文献l提出了细
长金属丝与衬底表面平行配置的具有丝栅结构的偏振器。
此外，专利文献2提出了另一种具有丝栅结构的偏振器，其中，配置有多
个细长线状的金属层，在该金属层之间的槽部设置有多孔层，并且在槽部的底 面上配置有细长线状的金属层。
专利文献l日本专利申请公开2002-328234号公报 专利文献2日本专利申请公开2007-33559号公报
发明内容
本发明人通过在具有丝栅结构的偏振器中以铝丝的幅度为L、以铝丝的间
隔为S，算出了具有与铝丝平行的电场成分的光(TE波)的透过率Tc以及具有 与铝丝垂直的电场成分的光(TM波)的透过率Tp的倾向。注意，将铝丝的厚度 t假设为170nm来算出幅度L或间隔S的相关关系。
当使S/L比率保持恒定且增大幅度L时，透过率Tc增高。此外，当使幅度L 保持恒定且增大S/L比率时，透过率Tc也增高。
当使S/L比率保持恒定且縮短幅度L时，透过率Tp增高。此外，当使幅度L 保持恒定且增大S/L比率时，透过率Tp也增高。
灰度指数是上述透过率TP和透过率TC的比率(TP/TC)。根据上述结果， 可以理解为即使调节幅度L和间隔S也难以实现具有充分的透过率Tp和透过率 Tc:的比率的丝栅结构的偏振器。
当增大铝丝的厚度t时，比率(Tp/Tc)增高并且透过率Tp和透过率Tc分别 下降。在透过率Tp和透过率Tc之间存在有与铝丝厚度t的增高相对应的变化量的 差别，因此根据这些变化量可以算出透过率Tp的消光系数kp和透过率Tc的消光 系数kc。透过率Tp也被称为平行透过率。其为对这样一种光的透过率，该光包 括与具有丝栅结构的偏振器的偏振轴(铝丝的方向)平行的磁场成分。透过率
Tc也被称为正交透过率。其为对这样一种光的透过率，该光包括与具有丝栅结 构的偏振器的偏振轴(铝丝的方向)正交的磁场成分。
与使用碘的偏振器相比，具有丝栅结构的偏振器的消光系数kc大，因此即 使厚度t薄于l(im (上述相关关系中，厚度t被假设为薄于lpm的170nm)，吸光 量也大。由此，与使用碘的偏振器相比，具有丝栅结构的偏振器可以实现薄膜 化。使用碘的偏振器的厚度厚于lpm。
然而，与使用碘的偏振器相比，具有丝栅结构的偏振器的消光系数比率 (kP/kc)低，在可获得相同灰度的条件下，透过率Tp大幅度下降。当透过率Tp 大幅度下降时，例如，作为部件安装有所述偏振器的电光装置或发光显示装置 不能获得明亮的显示。
由此，本发明的目的是提供一种具有丝栅结构的偏振器，其中提高透过率 Tp而不使透过率Tp大幅度下降，且降低透过率Tc。而且，本发明的目的是在显 示装置中通过降低由干涉导致的光学特性的波长依赖性，来降低颜色不均匀 性。
本发明人经过对丝栅结构进行各种研讨，发明了其平行透过率Tp增高且正 交透过率Tc降低的具有新的结构的偏振器。
该偏振器具有如图l所示的截面结构。图l是沿着与构成丝栅结构的一个金 属丝的长边方向正交的截面切割的模式图。在该偏振器中，在衬底表面上的至 少两个不同的平行表面上分别形成多个金属丝，而不在相同的表面上配置所有 的金属丝，并且将多个金属丝中相邻的金属丝配置为彼此具有位差。具体而言， 在具有透光性的衬底上以各间隔S为大致相等的方式配置多个金属丝，并使金
属丝的长边方向与衬底表面平行排列。多个金属丝可以大致分为两种配置在
与衬底表面平行的第一表面上的第一组金属丝101被形成在具有透光性的衬底 上，而配置在与衬底表面平行的第二表面上的第二组金属丝102被配置为比第 一组金属丝更加突出。注意，第一表面和第二表面是位于衬底表面上的两个不 同的平行表面。第一组的金属丝和第二组的金属丝邻接且交替地配置。此外， 在图1中，附图标记110表示入射光的方向。
另外，包括至少两个以上的第一组的金属丝和至少两个以上的第二组的金 属丝是优选的结构之一。此外，所有金属丝中，大约一半相当于第一组，而余 下的相当于第二组。本发明的偏振器包括相互留有间隔而配置的金属丝。图l 所示的截面结构是在第一层形成第一组的金属丝并且在第二层形成第二组的 金属丝的结构，即在两个层中形成多个金属丝的一个例子。但是，不局限于两 个层，还可以在三个层(或更多层)中形成多个金属丝。但是，偏振器的多个 金属丝被周期性地配置。
在本说明书中，"周期性"是指如下结构..当将所有金属丝的数目设为N (N是4以上的整数)时，在第一组的金属丝的平面方向的邻旁配置第二组的金 属丝，并在该第二组的金属丝的水平方向的邻旁配置第一组的金属丝，以后循 环进行上述配置的结构，S卩，以一个第一组的金属丝和一个第二组的金属丝为 一组，配置N/2组金属丝的结构。注意，当N是奇数时，由于第一组的金属丝或 第二组的金属丝多出一个金属丝，因此所有金属丝中的大约一半相当于第一组 的金属丝。
此外，截面中的第一组的金属丝的中心和第二组的金属丝的中心离衬底的 距离不同。将从衬底表面到金属丝的中心之间的距离更短的一方称为第一组的
金属丝，而将距离更长的一方称为第二组的金属丝。
图2表示将入射光110的波长分别设定为400nm、 500nm、 600nm、 700nm来
算出的平行透过率Tp的结果。图3表示算出的正交透过率Tc的结果。这里，通 过使用日本Rsoft公司制造的光学计算用模拟软件"Diffract MOD"来执行计算。
另外，这里在如下条件下执行计算采用铝作为金属丝的材料，金属丝的 幅度L、间隔S、膜厚度b分别固定为25nm、 25nm、 240nm。
另外，将相邻的第一组的金属丝101和第二组的金属丝102之间的位差设为 距离D，并且在0nm至360nm的范围内改变该距离D。注意，距离D为Onm的情况 是指其金属丝以均匀的间隔在相同的位置排成一列的常规的丝栅结构。距离D 为Onm的丝栅结构对应于上述专利文献l所示的结构。
为了与距离D为Onm时的平行透过率进行比较，图2的纵轴表示距离D二0nm 的平行透过率的值为l时的比率，S卩，距离D (D>0)的平行透过率Tp对于距离 D二Onm的平行透过率的比率。
根据图2所示的结果，当距离D长于Onm时，在400nm至700nm的波长范围 内可确认到平行透过率Tp的增加。在常规的丝栅结构中，由于在一个层中形成 所有的金属丝，所以在该层中以均匀的密度配置有多个金属丝。与常规的丝栅 结构不同，在本发明的丝栅结构中在与入射光110垂直的表面上存在密度高的 区域和密度低的区域。在密度高的区域中配置有第一组的金属丝和第二组的金 属丝的双方，所以金属丝的总合数量多。在密度低的区域中仅配置有第一组的 金属丝和第二组的金属丝中的一方，所以金属丝的数量少。由于存在金属丝的 密度低的区域，图2中的平行透过率Tp增加，即透过光量增大。在图l所示的结 构中，沿入射光110的前进方向金属丝的密度(与光的前进方向垂直的表面上 的金属丝的数量)变化，g卩，金属丝密度从低到高或从高到低变化。
为了与距离D为Onm时的正交透过率进行比较，图3的纵轴表示距离D二0nm 的正交透过率的值为l时的比率，即，距离D (D>0)的正交透过率Tc对于距离 D二Onm的正交透过率的比率。
根据图3所示的结果，当距离D长于Onm时，在600nm至700nm的波长范围 内可确认到正交透过率Tp的降低。相对于光分辨率的相邻的金属丝之间的间隔 充分短，因此由于距离D的增加实现与偏振器的厚度厚的结构相同的效果，光
吸收量增大。其结果，实现图3中的正交透过率Tc:的降低。
此外，在图2中，当距离D大于厚度b-240nm时，波长400nm的平行透过率 Tp下降。由此，为了获得增加平行透过率Tp且降低正交透过率Tc的偏振器，优 选采用使在与入射光垂直的方向重叠的区域中第一组和第二组的金属丝的金 属丝的密度变小的丝栅结构。
此外，当距离D充分大于厚度b二240nm时，相当于常规的丝栅结构其中， 第一组的金属丝101和第二组的金属丝102在与入射光垂直的方向上分离，且第 一组的金属丝101中的相邻两个金属丝之间不配置一个第二组的金属丝。距离D 充分大于金属丝的厚度b的丝栅结构对应于上述专利文献2所示的实施方式6的 结构。
换言之，根据图2和图3的结果，可以说专利文献2所示的结构是可降低平 行透过率Tp的偏振器。
另外，为了比较，与上述同样地通过使用日本Rsoft公司制造的光学计算用 模拟软件"Diffract MOD"，对于图16所示的结构执行平行透过率和正交透过 率的计算。图16所示的结构是一种丝栅结构，其特征在于金属丝的厚度彼此相 等，并且以6个金属丝为一个周期设置。此外，配置在光入射界面1103上的两 个金属丝的间隔为W。其结果，图16所示的结构有平行透过率增大的倾向。此 外，当间隔W扩大时，正交透过率也增大，而有灰度下降的倾向。在图16中， 附图标记1102表示入射光的方向。
另外，根据从图16所示的结构而获得的计算结果，可以说采用间隔W窄小 的结构是优选的。在本发明中，通过以彼此相邻且位置错开的6个平行金属丝 为一个周期来使间隔W窄小化，以实现增加平行透过率Tp且降低正交透过率Tc 的丝栅结构。通过增加平行透过率Tp且降低正交透过率Tc，例如，在作为部件 安装有上述偏振器的电光装置或发光显示装置中，可以获得同时实现高明亮度 和高灰度的显示。
本说明书中公开的发明结构之一是具有偏振器的显示装置，所述偏振器包 括具有透光性的衬底；其第一中心包含在与所述衬底的表面平行的第一表面 中的第一组的金属丝；以及其第二中心包含在与所述衬底的表面平行的第二表 面中的第二组的金属丝，其中，所述第一组的金属丝和所述第二组的金属丝在
长边方向上互相平行，所述第一组的金属丝和所述第二组的金属丝位于离所述 衬底表面不同的高度处，并且，与所述第一组的金属丝相比，所述第二组的金
属丝以与所述衬底表面间隔距离D的方式来配置，并且，所述距离D等于或小于 所述第一组的金属丝的厚度，并且，在与所述长边方向正交的截面上，将相邻 的第一组的金属丝和第二组的金属丝配置得使连接所述第一中心和所述第二 中心的线段形成为锯齿形。
在上述结构中，第一组的金属丝的短边方向上的各金属丝之间的间隔相 等，并且第二组的金属丝的各金属丝之间的间隔相等。第一组的金属丝的短边 方向是与第一组的金属丝的长边方向正交的方向。第一组的金属丝的长边方向 是一个金属丝延伸的方向。
此外，在上述结构中，当距离D短于第一组的金属丝的厚度时，在所述第 一组的金属丝中相邻的两个金属丝之间配置有一个第二组的金属丝。在此情况 下，沿入射光的前进方向金属丝的密度变化，即，金属丝密度从低到高或从高 到低变化。此外，当距离D和第一组的金属丝的厚度几乎相等时，可获得在与 入射光垂直的表面配置的金属丝密度均匀的区域。
注意，在衬底表面上正交的两个方向分别被称为X方向、Y方向。金属丝的 长边方向相当于Y方向。金属丝的短边方向相当于X方向。此外，金属丝的幅度 L和金属丝的间隔S是X方向上的距离。
此外，在上述结构中，与所述衬底表面平行的第一表面和与所述衬底表面 平行的第二表面之间的间隔等于或小于第一组的金属丝的厚度。此处，"间隔" 是指与衬底平面垂直的方向，即Z方向。当与所述衬底表面平行的第一表面和 与所述衬底表面平行的第二表面之间的间隔长于第一组的金属丝的厚度时，由 干涉导致的光学特性的波长依赖性变得明显。
图l所示的结构可以通过纳米压印法、光蚀刻法、电子束刻蚀法、全息法、 激光蚀刻法等来形成。
在第二组的金属丝和具有透光性的衬底之间提供具有透光性的部件，以便 支撑第二组的金属丝。优选的是，提供折射率比具有透光性的衬底低的透光部 件。
本说明书中公开的另一个发明结构是一种偏振器，包括设置在具有透光
性的衬底上的第一组的金属丝以及在所述第一组的金属丝之间的透光部件；以 及在所述透光部件上的第二组的金属丝，其中，所述第二组的金属丝之间配置 有第一组的金属丝的一部分，并且，所述第一组的一个金属丝的厚度比所述透 光部件的厚度厚。
由于进行偏振分离，当入射到偏振器的光波长为400nm时，在相邻的第一 组的金属丝的截面中，从第一组的金属丝的中心到邻接的第一组的金属丝的中 心之间的一个周期，即间距为120nm以下。根据上述结构，从第一组的金属丝 到邻接的第一组的金属丝之间的一个周期的长度(间距)为入射光的波长的1/3 以下，优选为l/4以下。另外，该第一组和第二组的金属丝以及两者之间的间隔 只要在上述一个周期的范围内就可以采用不同的值。此外， 一个金属丝的幅度 L优选为入射光的波长的l/10以下。注意，当入射到偏振器的光波长为400nm时， 优选的是，第一组和第二组的金属丝的一个金属丝的幅度L都为40nm以下。
在上述结构中，所述第一组的金属丝及第二组的金属丝的与长边方向正交
的截面形状不局限于矩形，可以采用各种形状如三角形形状。此外，优选的是，
透光部件的在与所述第一组金属丝的长边方向正交的截面上的面积越小，偏振 器的光学特性越可以得到提高。因此，将透光部件的截面形状设为其幅度比第
二组的金属丝的截面形状小的矩形。此外，为了稳定地支撑第二组的金属丝， 将所述透光部件的截面形状设为梯形。
另外，也可以设置覆盖金属丝的透光部件，以便更加稳定地支撑金属丝来 进一步提高机械强度。
作为透光部件，例如可以使用氧化硅、氟化镁或树脂等的介质材料。作为 透光部件的形成方法，可以采用真空气相淀积法、溅射法、PCVD法、离子电 镀法等。
另外，也可以采用如下结构通过蚀刻加工具有透光性的衬底来形成多个 槽，在各槽中形成第一组的金属丝，在衬底的槽之间的突出部上形成第二组的 金属丝。
作为具有透光性的衬底，可以使用玻璃、陶瓷、树脂等具有透光性的材料。 此外，作为具有透光性的衬底，也可以使用由玻璃中的杂质成分控制折射率的 高折射率玻璃衬底。作为具有透光性的陶瓷，可以举出在PbZr03和PbTi03的固
溶体中添加几11101%的1^203并进行烘焙而形成的多晶体(也称为PLZT)。
另外，作为金属丝的材料，可以使用反射率高的金属如铝、银、金、铜或 它们的合金等。
偏振器也可以用于应用需要偏振光的光学处理的装置中，而不局限于显示 装置如液晶显示装置、有机EL发光显示装置和无机EL发光显示装置。此外，本 发明的偏振器也可以应用到电磁波，而不局限于光。注意，在本说明书中，光 至少包含红外光及可见光。
本发明可以实现能够提高平行透过率Tp且降低正交透过率Tc的具有优良 光学特性的丝栅结构的偏振器。此外，本发明还可以实现在可见光的区域中的 颜色不均匀性被降低的显示装置。
图l是本发明的丝栅结构的示意图2是表示距离D的平行透过率Tp的计算结果的图表；
图3是表示距离D的正交透过率Tc的计算结果的图表； 图4A是表示本发明的丝栅结构的一个例子的截面图，图4B是其透视图； 图5是表示本发明的丝栅结构的一个例子的截面图 图6是表示本发明的丝栅结构的一个例子的截面图 图7是表示本发明的丝栅结构的一个例子的截面图 图8是表示本发明的丝栅结构的一个例子的截面图 图9A至9C是表示本发明的丝栅结构的制造工序的例子的截面图； 图10是表示本发明的丝栅结构的一个例子的截面图； 图ll是表示本发明的丝栅结构的一个例子的截面图； 图12A至12D是表示电子设备的一个例子的图； 图13是表示电子设备的一个例子的图； 图14A至14D是液晶显示装置的透视图； 图15A至15D是表示液晶投影仪装置的一个例子的图； 图16是表示比较例的截面图； 图17是有源矩阵型液晶显示装置的截面结构图。
具体实施例方式
以下说明本发明的实施方式。 实施方式l
图4A和4B示出了本发明的丝栅结构的偏振器的一个例子。以下说明其制造 方法。图4A是沿与衬底表面垂直的表面切割的截面图。图4B相当于图4A的透 视图。
首先，准备具有透光性的衬底401。作为具有透光性的衬底401，可以使用 玻璃、陶瓷、树脂等具有透光性的材料。此外，作为具有透光性的衬底401， 也可以使用由玻璃中的杂质成分控制折射率的高折射率玻璃衬底。
接着，在具有透光性的衬底401上形成丝栅结构。图4A和4B所示的丝栅结 构可以通过光纳米压印法或热纳米压印法等的纳米压印法、光蚀刻法、电子束 刻蚀法、全息法、激光蚀刻法等来形成。对图4A和4B所示的丝栅结构的制造方 法没有特别的限制。
例如，在具有透光性的衬底401上通过PCVD法形成氧化硅膜，然后，进行 使用光蚀刻法的构图来形成透光部件404。此处显示了使用氧化硅作为透光部 件404的例子，但是也可以使用氟化镁、树脂等的介质材料。此外，形成方法 不限于PCVD法，还可以使用真空气相淀积法、溅射法、离子电镀法、涂敷法 等。
接着，形成铝膜，在铝膜上通过涂敷法形成由有机树脂构成的薄膜，将金 属模具按压到该薄膜来形成具有凹陷部分的掩模。然后，从薄膜撤除金属模具， 使用上述掩模选择性地蚀刻铝膜，以形成第一组的金属丝402以及第二组的金 属丝403。如图4B所示，第一组的金属丝402和第二组的金属丝403在长边方向 即Y方向平行排列。各个金属丝配置为彼此分开间隔S的形式。该距离S是在短 边方向即X方向上的距离。第二组的金属丝403形成在透光部件404上。相当于 透光部件404的膜厚度的距离D表示Z方向的距离，还可以说是衬底平面与第二 组的金属丝403之间的距离。当距离D大于Onm时，与第一组的金属丝402相比， 第二组的金属丝403以与所述衬底表面间隔距离D的方式来配置。此外，也可以
说，第一组的金属丝402形成在与衬底表面平行的第一表面上，第二金属丝403 形成在与衬底表面平行的第二表面上，并且第一表面和第二表面的Z方向上的 间隔相当于距离D。
另外，作为其它制造方法的例子，虽然步骤数量增加，但可以采用如下工 序在形成第一组的金属丝402之后，形成透光部件404，在其上形成第二组的 金属丝403。或者，也可以采用如下工序形成透光部件404，在其上形成第二 组的金属丝403，然后形成第一组的金属丝402。
另外，在用作偏振器的情况下，透光部件404的宽度优选等于或小于第二 组的金属丝403的宽度。因此，可以使用第二组的金属丝403作为掩模进行蚀刻， 来将透光部件404的宽度形成为与第二组的金属丝403的宽度几乎相同的宽度。 此外，金属丝的厚度b设定为50nm至800nm。
图5表示进行过蚀刻以减小透光部件的宽度来形成倒锥形的透光部件的例 子。图5所示的丝栅结构包括在具有透光性的衬底501上的第一组的金属丝 502;在倒锥形的透光部件504上的第二组的金属丝503。
实施方式2
图6示出了本发明的丝栅结构的偏振器的另一例子。在本实施方式中描述 一种偏振器，其中，为了提高丝栅结构的机械强度，使用透光部件604覆盖第 一组的金属丝602和第二组的金属丝603。第二组的金属丝603的中心位于与第 一组的金属丝602的排列不同的排列中。这里所谓的"中心"是指与金属丝的 长边方向正交的短边方向，即，沿金属丝的宽度方向切割的截面形状的中心。 例如，在截面形状为四角形的情况下，连接对角的两个线段的交叉点可称为"中 心"。另外，连接一个金属丝的截面中心的线可称为中心轴，其平行于金属丝 的长边方向。
图6所示的偏振器包括具有透光性的衬底601;在与所述具有透光性的衬 底的表面平行的第一表面中具有第一中心的第一组的金属丝602;在与所述具 有透光性的衬底的表面平行的第二表面中具有第二中心的第二组的金属丝 603，其中，在第一组的金属丝中相邻的金属丝之间配置有一个第二组的金属 丝，并且，第一组的金属丝和第二组的金属丝在长边方向上互相平行。在与所 述长边方向正交的截面上，将交替设置的第一组的金属丝602和第二组的金属 丝603配置得使连接第一组金属丝的第一中心605和第二组金属丝的第二中心 606的多个线段607连接的图形形成为锯齿形。另外，连接第一组金属丝的第一 中心605和第二组金属丝的第二中心606的连续假想线也可称为三角波。
在图6所示的偏振器中，以具有位差且平行排列的一个第一组的金属丝和 一个第二组的金属丝，总计两个金属丝为一个周期重复地设置金属丝。另外， 将配置在光608的入射界面(此处，第二组的金属丝一侧)的两个金属丝的间 隔W，即第二组的金属丝的间隔W减小到120nm以下的范围内。
在本实施方式中，使用含有微量硅的铝合金作为第一组的金属丝602和第 二组的金属丝603的材料。除了含有硅的铝合金之外，也可以使用含有微量钕 的铝合金或含有微量铌的铝合金。通过将硅、钕、铌等包含在铝膜中，可以防 止铝特有的膜质量的变化，如小丘和晶须等。
在本实施方式中，使用具有透光性的树脂作为透光部件604。除了树脂外， 还可以使用氧化硅或氟化镁。此外，不限制于使用相同的材料的方式，也可以 使用不同的材料层叠多种材料层来形成透光部件604。
作为图6所示的偏振器的制造方法，可以采用纳米压印法、光蚀刻法、电 子束刻蚀法、全息法、激光蚀刻法等。此外，也可以通过上述方法的组合来制 造图6所示的偏振器。
本实施方式可以与实施方式l自由地组合。
实施方式3
图7示出了本发明的丝栅结构的偏振器的另一例子。在本实施方式中描述 一种偏振器，其中在具有透光性的衬底701中形成槽，并且，该偏振器包括 在衬底的凹陷部分之上的第一组的金属丝702以及在衬底的突出部分之上的第 二组的金属丝703。以下说明其制造方法。
首先，准备具有透光性的衬底701。作为具有透光性的衬底701，可以使用 玻璃、陶瓷、树脂等具有透光性的材料。此外，作为具有透光性的衬底701， 也可以使用由玻璃中的杂质成分控制折射率的高折射率玻璃衬底。
接着，对具有透光性的衬底701进行加工来形成具有宽度(L+2S)的槽。
作为将具有透光性的衬底加工的方法，采用激光蚀刻法、喷砂法、光蚀刻法等。 这里，使用脉冲宽度以飞秒(10"s秒)振荡的激光振荡器来形成槽。作为可用作 超短光脉冲激光器的激光器，可举出在蓝宝石、YAG、陶瓷YAG、陶瓷￥203、 KGW (钨酸钾钆)、Mg2Si04、 YLF、 YV04、 GdV04等晶体中添加了Nd、 Yb、 Cr、 Ti、 Ho、 Er等掺杂质的激光器。在激光蚀刻法中， 一般激光不容易进行激 光波长以下的加工。但通过使用超短光脉冲激光器，可以只用能源密度高的激 光束的中央部分来加工，因此可以进行微细加工(激光波长以下的加工)。
接着，形成铝膜，通过纳米压印法形成掩模，然后使用该掩模蚀刻铝膜， 来形成第一组的金属丝702和第二组的金属丝703。通过上述步骤，制造具有图 7所示的丝栅结构的偏振器。
用于制作图7所示的丝栅结构的工序不局限于上述步骤，也可以适当地利 用光纳米压印法或热纳米压印法等的纳米压印法、光蚀刻法、电子束刻蚀法、 全息法等。
另外，在本实施方式中，衬底平面不是衬底的突出部分，而是指槽的底面。 可以说衬底的突出部分相当于实施方式l所示的透光部件。通过采用本实施方 式所示的结构，可以使实施方式l所示的透光部件和衬底的材料相同，并且可 以使对入射光的折射率相同，因此可以获得比实施方式l的偏振器能降低光折 射的影响的偏振器。
另外，本实施方式可以与实施方式1或实施方式2自由地组合。
实施方式4
图8示出了本发明的丝栅结构的偏振器的另一例子。在本实施方式中描述 一种偏振器，其中，在具有透光性的衬底801上具有第一组的金属丝802、第二 组的金属丝803和第三组的金属丝804。
图8所示的多层结构设置有厚度比实施方式1薄的多层金属丝。例如，当实 施方式l的膜厚度设定为200nm时，本实施方式中的各金属丝的膜厚度设定为 100nm。通过降低金属丝的宽度和金属丝的厚度之间的比率，可以扩大金属丝 的制造工序中的容许范围。
图8所示的偏振器包括具有透光性的衬底801;在与所述具有透光性的衬
底的表面平行的第一表面中具有第一中心的第一组的金属丝802;在与所述具 有透光性的衬底的表面平行的第二表面中具有第二中心的第二组的金属丝 803;在与所述衬底的表面平行的第三表面中具有第三中心的第三组的金属丝
804，其中，第一组的金属丝802和第三组的金属丝804互相重叠地配置。此外， 第一组的金属丝802和第三组的金属丝804的数量相同，且以几乎相同的间隔形 成。因此，其一个周期，即间距等于实施方式3所示的距离。
另外，图8所示的偏振器中，第一组的金属丝和第二组的金属丝在长边方 向上互相平行，并且，第一组的金属丝和第二组的金属丝位于离衬底表面不同 的高度处，并且，与第一组的金属丝相比，第二组的金属丝以与所述衬底表面 间隔距离D的方式来配置。此外，该距离D几乎等于第一组的金属丝的厚度b。
以下说明其制造方法。
首先，准备具有透光性的衬底801。此处使用玻璃衬底。接着，形成第一 组的金属丝802。此处，通过光纳米压印法形成第一组的金属丝802。具体而言， 在具有透光性的衬底801上形成第一铝膜，在第一铝膜上通过涂敷法形成由有 机树脂构成的薄膜，将金属模具按压到该薄膜来形成具有凹陷部分的掩模。然 后，从薄膜撤除金属模具，使用上述掩模选择性地蚀刻第一铝膜，以形成第一 组的金属丝802。
接着，在去除掩模后，形成具有透光性的绝缘膜。例如，通过PCVD法形 成氧化硅膜。
接着，蚀刻具有透光性的绝缘膜的一部分，以露出第一组的金属丝802的 上表面。此处，进行化学机械研磨(CMP)处理。通过上述步骤，在第一组的 金属丝802之间形成第一透光部件805。
接着，为了形成第二组的金属丝803，在第一透光部件805和第一组的金属 丝802上形成第二铝膜。虽然此处未示出，但由于第一组的金属丝802的露出的 上表面形成有氧化膜，所以第一组的金属丝802与在此形成的第二铝膜不接触。 该氧化膜在以后的工序中进行蚀刻处理时用作蚀刻阻挡物。
接着，与第一组的金属丝802的形成方法同样，通过利用光纳米压印法形 成第二组的金属丝803。在第二铝膜上通过涂敷法形成由有机树脂构成的薄膜， 将金属模具按压到该薄膜来形成具有凹陷部分的掩模。然后，从薄膜撤除金属模具，使用上述掩模选择性地蚀刻第二铝膜，以形成第二组的金属丝803。在 上述蚀刻处理中，第一组的金属丝802的表面上形成有氧化膜。该氧化膜被用 作蚀刻阻挡物。
接着，在去除掩模后，形成具有透光性的绝缘膜。例如，通过PCVD法形 成氧化硅膜。
接着，蚀刻具有透光性的绝缘膜的一部分，以露出第二组的金属丝803的 上表面。此处，进行化学机械研磨(CMP)处理。通过上述步骤，在第二组的 金属丝803之间形成第二透光部件806。
接着，形成第三组的金属丝804。具体而言，在第二透光部件806和第二组 的金属丝803上形成第三铝膜，在第三铝膜上通过涂敷法形成由有机树脂构成 的薄膜，将金属模具按压到该薄膜来形成具有凹陷部分的掩模。然后，从薄膜 撤除金属模具，使用上述掩模选择性地蚀刻第三铝膜，以形成第三组的金属丝 804。在上述蚀刻处理中，第二组的金属丝803的表面上也形成有氧化膜。该氧 化膜被用作蚀刻阻挡物。
根据上述工序，可以制造图8所示的偏振器。
由于通过上述工序而得到的偏振器使用玻璃衬底，使用铝作为金属丝，并 且使用氧化硅作为透光部件，因此与常规的使用碘的偏振器相比，可以实现耐 热性高的偏振器。因此，安装有上述偏振器的液晶面板不受特定的使用环境条 件的限制，可以应用到需要具有耐热性的投影仪用显示器、车载显示器等中。
在上述工序中示出了形成三层金属丝的例子，但也可以形成四层或更多层 的金属丝。
另外，在上述工序中示出了使用光纳米压印法的例子，但不局限于此，也 可以利用热纳米压印法、光蚀刻法、电子束刻蚀法、全息法、激光蚀刻法等。 此外，也可以通过上述方法的组合来制造图8所示的偏振器。
本实施方式可以与实施方式1至3中的任何一个自由地组合。
实施方式5
在本实施方式中，用图9A、 9B和9C表示通过与上述实施方式不同的制造 方法制造偏振器的例子。以下说明其制造方法。
首先，准备具有透光性的衬底901。
然后，在具有透光性的衬底901上形成氧化硅、氟化镁或树脂等的介质膜。 作为介质膜的形成方法，采用真空气相淀积法、溅射法、PCVD法、离子电镀 法等。
接着，在介质膜上形成第一铝膜。然后，在第一铝膜上通过涂敷法形成由 有机树脂构成的薄膜，将金属模具按压到该薄膜来形成具有凹陷部分的掩模。 然后，从薄膜撤除金属模具，使用上述掩模选择性地蚀刻第一铝膜，以形成第 二组的金属丝卯3。接着，将形成第二组的金属丝903之后残留的掩模仍旧用作 掩模905而蚀刻介质膜来形成透光部件902。这时的截面图相当于图9A。
接着，通过利用气相淀积法或溅射法形成第二铝膜。如图9B所示那样，在 掩模905上和透光部件902之间分别形成金属膜906和第一组的金属丝904。
接着，通过去除掩模905来去除金属膜，以获得图9C所示的偏振器。如图 9C所示，第一组的金属丝卯4的截面形状成为三角形。这不同于第二组的金属 丝903的截面形状的矩形。
本实施方式示出了，首先形成第二组的金属丝903，之后形成第一组的金 属丝904的例子。另外，在X方向上第一组的金属丝和第二组的金属丝之间的间 隔S是O。然而，由于第一组的金属丝的截面形状为三角形，因此第一组的金属 丝904的先端与第二组的金属丝903彼此分开。
另外，也可以采用图10所示的结构，以形成X方向上的间隔S。只要第一组 的金属丝和第二组的金属丝不接触，就对第一组的金属丝的截面形状没有特别 的限制，也可以采用先端具有弯曲表面的形状的第一组金属丝914。在图10所 示的结构中，第一组的金属丝914互相之间的间隔彼此相等，并且第二组的金 属丝903互相之间的间隔彼此相等，但是第一组的金属丝914之间的间隔与第二 组的金属丝903之间的间隔不同。此外，在图10所示的结构中，第一组的金属 丝914的宽度L1比第二组的金属丝903的宽度L2窄。虽然金属丝的宽度不同，但 是只要采用周期性重复地设置间距的结构即可。该间距相当于从第一组的金属 丝914的截面中心到与该第一组的金属丝相邻的第一组的金属丝的截面中心之 间的距离。所述间距设定为入射光的波长的l/3以下，优选为l/4以下。此外， 第一组的金属丝914的宽度L1和第二组的金属丝903的宽度L2设定为入射光的
波长的1/10以下。
另外，只要第一组的金属丝的先端是与第二组的金属丝分开的，就对第二
组的金属丝的截面形状没有特别的限制。如图11所示，第二组的金属丝923的 截面形状可以为三角形。图11示出了第一组的金属丝922的截面形状为矩形的 实例。此外，在图11中，在具有透光性的衬底921上形成有透光部件924，并在 其上形成有第二组的金属丝923。
本实施方式可以与实施方式1至4中的任何一个自由地组合。 在下面所述的实施例中，对于具有如上所述的结构的本发明进行更详细的 说明。
实施例l
作为本发明的液晶显示装置及电子设备可举出如下摄像机、数字照相机、 护目镜型显示器(头盔显示器)、导航系统、音频再现装置(汽车音响、音响 组件等)、笔记本式个人计算机、投影仪、游戏机、便携式信息终端(便携式 计算机、手机、便携式游戏机、或电子图书等)、具备记录媒体的图像再现装 置(具体而言，能够再现记录媒体如数字通用磁盘(DVD)等并具有可以显示 其图像的显示器的装置)等。在图12以及图13中示出这种电子设备的具体例子。
图12A为具有22英寸至50英寸的大屏幕的大型显示装置，包括框体2001、 支撑台2002、显示部2003和视频输入端子2005等。显示部2003相当于实施例1 的液晶模块。注意，显示装置包括个人计算机用、TV广播接收用、交互式TV 用等的所有信息显示用显示装置。根据本发明，即使使用具有一边长超过IOOO mm的第五代之后的玻璃衬底，也与通常的丝栅结构相比，可以提高平行透过 率，从而，可以提供能够实现对比度高的图像显示的大型显示装置。
图12B示出笔记本式个人计算机，包括主体2201、框体2202、显示部2203、 键盘2204、外部连接端口2205、定位装置2206等。根据本发明，可以提供能够 实现色彩再现范围广的图像显示的笔记本式个人计算机。
图12C为具备记录媒体的便携式图像再现装置(具体地为DVD再现装置)， 包括主体2401、框体2402、显示部A2403、显示部B 2404、记录媒体(DVD等) 读取部2405、操作键2406、扬声器部2407等。显示部A 2403主要显示图像信息， 而显示部B 2404主要显示文字信息。注意，具备记录媒体的图像再现装置包括
家用游戏机等。根据本发明，与通常的丝栅结构相比，可以提高平行透过率， 因此可以提供能够实现对比度高的图像显示的图像再现装置。
图12D示出无线的可以仅仅携带其显示器的的TV。在框体2502中安装有电 池和信号接收器，使用该电池来驱动显示部2503和扬声器部2507。能够使用充 电器2500来反复进行电池的充电。此外，充电器2500能够接收/发送图像信号并 将该图像信号发送到显示器的信号接收器。使用操作键2506来控制框体2502。 此外，因为图12D所示的装置能够通过操纵操作键2506来将信号从框体2502发 送到充电器2500，所以图12D所示的装置可以说是交互式图像/音频通讯装置。 另外，能够通过操纵操作键2506来将信号从框体2502发送到充电器2500，并能 够通过将充电器2500发送的信号由其他电子设备接收来进行其他电子设备的 通讯控制，所以图12D所示的装置也可以说是通用遥控装置。根据本发明，与 通常的丝栅结构相比，可以提高平行透过率，因此可以提供能够实现对比度高 的图像显示的显示器。
在图13所示的一种手机中，将具备有操作开关之类1904和麦克风1905等的 主体(A) 1901和具备有显示面板(A) 1908、背光灯部1900、显示面板(B) 1909、扬声器1906等的主体(B) 1902使用铰链1910能够开闭地连接。显示面 板(A) 1908和显示面板(B) 1909与电路衬底1907和背光灯部1900—起被收容 在主体(B) 1902的框体1903中。显示面板(A) 1908和显示面板(B) 1909的 像素部配置得可以从形成在框体1903的窗口被视觉确认。在此，重叠配置背光 灯部1900和显示面板(A) 1908，以获得透射型液晶显示装置。作为背光灯部 1900，既可使用冷阴极管，又可使用LED元件。
显示面板(A) 1908与显示面板(B) 1909可以按照该手机1900的功能适当 地设定像素数量等规格。例如，可以将显示面板(A) 1908作为主屏、将显示 面板(B) 1909作为副屏而组合。
另外，显示面板的种类可以不同。例如，可以使用液晶显示装置作为显示 面板(A),且使用EL元件作为显示面板(B)来制造发光显示装置。
本实施例的手机可以对应于其功能和用途而被改变成各种各样的样式。例 如，可以将摄像元件设置在铰链1910部分而制造带照相机功能的手机。此外， 也可以采用将操作开关之类1卯4、显示面板(A) 1908以及显示面板(B) 1909
安装在一个框体中的结构。
另外，图14A表示显示面板(A) 1908的结构例子。在显示面板(A) 1908 中，使用密封材料1922贴合设置有像素电极的第一衬底1920和与第一衬底相对 的第二衬底1923。此外，密封材料1922形成为包围显示部1921的形式，并且在 由第一衬底、第二衬底和密封材料包围的区域中设置有液晶层。图14A所示的 显示面板(A) 1908的液晶密封方法是使用液晶滴落法并在低压下贴合衬底的 方法。 一对衬底的间隔由间隙材料(具体地说，球状间隔物、柱状间隔物、包 含在密封材料中的填料等)保持。根据驱动显示面板(A) 1908的液晶模式(TN 模式、VA模式、ISP模式等)适当地选择间隙材料，即可。但是，虽然IPS模式 可以在第二衬底上不设置电极，但其他的液晶模式在很多情况下将相对电极设 置在第二衬底上。此时，在贴合一对衬底的同时，进行连接以获得相对电极与 设置在第一衬底的端子电极之间的导通。注意，附图标记1924表示FPC。
图14B表示通过使用与图14A不同的液晶密封方法来制造的面板结构的例 子。注意，在图14B中，与图14A相同的部分由相同的附图标记表示。在图14B 所示的显示面板中，通过利用液晶注入法等从由第一密封材料1925形成的液晶 注入口注入液晶，然后，使用第二密封材料1926密封液晶注入口。
另外，图14C表示与图14A不同的面板结构的例子。注意，在图14C中，与 图14A相同的部分由相同的附图标记表示。在图14C所示的面板中，用于驱动显 示部的驱动IC1927安装在第一衬底1920上。通过将驱动IC1927安装在第一衬底 1920上，实现电路的集成化。
另外，图14D表示与图14A不同的面板结构的例子。注意，在图14D中，与 图14A相同的部分由相同的附图标记表示。在图14D所示的面板中，用于驱动显 示部1929的驱动电路1928形成在第一衬底1920即同一衬底上。驱动电路1928可 以使用非晶硅TFT或多晶硅TFT等。此外，除了驱动电路以外，还可以将其他 电路(光传感器电路、CPU等)形成在同一衬底上。
在图14A、 14B、 14C、 14D所示的显示面板上重叠提供所希望的光学薄膜， 例如偏振器、防反射膜、滤色器等。在本发明中，通过将实施方式所示的偏振 器重叠在显示面板(A) 1908,与通常的丝栅结构相比，可以提高平行透过率， 从而可以实现对比度高的图像显示。
通过在显示面板(液晶面板)1304上设置背光灯光阀1304和反射镜并且使 用覆盖物1306覆盖，完成了有源矩阵型液晶显示装置1308 (透射型)。图17表 示其截面图的一部分。此外，也可以将背光灯设置为不重叠于显示区域且使用 光导板。通过使用粘合剂或有机树脂固定覆盖物和液晶模块。此外，由于该有 源矩阵型液晶显示装置是透射型，所以将偏振片1303贴合到衬底1300和相对衬 底1305的双方。此外，也可以设置其他光学薄膜(抗反射膜和偏振膜等)和保 护膜(未图示)。另外，也可以采用无源型液晶显示装置作为液晶显示装置。
在图17中，附图标记1300表示衬底，1301表示像素电极，1302表示柱状间 隔物，1307表示密封剂，1320表示彩色层和与各个像素相对应地设置有遮光层 的彩色滤光片，1325表示平坦化膜，1321表示相对电极，1322、 1323表示定向 膜，1324表示液晶层，1317表示保持电容，1316表示TFT， 1318表示像素部分。 此外，作为构成像素部分1318的TFT，可以使用非晶硅TFT、多晶硅TFT、半非 晶TFT、单晶TFT。
图15A表示前投影仪，包括投射装置2601、屏幕2602等。本发明的偏振器 可以应用于构成投射装置2601的一部分的液晶模块2808中。
图15B表示后投影仪，包括主体2701、投射装置2702、镜子2703、屏幕2704 等。本发明的偏振器可以应用于构成投射装置2702的一部分的液晶模块2808 中。
图15C是表示图15A和15B中的投射装置2601、 2702的结构例子的图。投射 装置2601、 2702由光源光学系统2801、镜子2802、 2804至2806、分色镜2803、 棱镜2807、液晶模块2808、相位差板2809、投射光学系统2810构成。投射光学 系统2810由包含投射透镜的光学系统构成。虽然本实施例示出了三板结构的例 子，但没有特别的限制。例如，也可以采用单板结构。实施者也可以在图15C 的箭头所示的光路中适当地设置光学透镜、用于调节相位差的薄膜、IR薄膜等 的光学系统。
图15D是表示图15C中的光源光学系统2801的结构例子的图。在本实施例 中，光源光学系统2801由反射器2811、光源2812、透镜阵列2813、 2814、偏振 光转换元件2815、聚光透镜2816构成。注意，图15D所示的光源光学系统只是 一个例子，并不局限于此。例如，实施者也可以在光源光学系统中适当地设置
光学透镜、用于调节相位差的薄膜、IR薄膜等的光学系统。
前投影仪及后投影仪的光源很强，因此液晶模块及偏振器被加热到高温。
根据本实施例，能够使用耐热性高的无机材料制造丝栅结构的偏振器，这是有
效的。此外，与通常的丝栅结构相比，可以提高平行透过率，从而可以实现对
比度高的图像显示。
如上所述，通过实施本发明而获得的液晶显示装置可用作所有电子设备的
显示部。
本实施例可以与实施方式1至5中的任何一个自由地组合。
本说明书根据2007年7月6日在日本专利局受理的日本专利申请编号 2007-179034而制作，所述申请内容包括在本说明书中。
权利要求
1.一种偏振器，包括透光衬底；设置在所述透光衬底上的第一金属丝；所述透光衬底上的透光部件，每个透光部件设置在相邻的两个第一金属丝之间；以及所述透光衬底上的第二金属丝，其中，每个第一金属丝的一部分设置在相邻的两个第二金属丝之间，并且，所述第一金属丝的厚度厚于所述透光部件的厚度。
2. 根据权利要求l所述的偏振器，其中相邻的两个第一金属丝之间的距离 为入射到所述偏振器的入射光的波长的l/3以下。
3. 根据权利要求l所述的偏振器，其中所述第一金属丝之间在与所述第一 金属丝的长边方向垂直的方向上保持相等间隔，并且所述第二金属丝之间在与 所述第二金属丝的长边方向垂直的方向上保持相等间隔。
4. 根据权利要求l所述的偏振器，其中将所述第一金属丝和所述第二金属 丝配置为与所述透光衬底平行。
5. 根据权利要求l所述的偏振器，其中将所述第一金属丝和所述第二金属 丝配置为相互平行。
6. 根据权利要求l所述的偏振器，其中每个所述第一金属丝的底面和所述 透光衬底之间的距离彼此相等。
7. 根据权利要求l所述的偏振器，其中每个所述第二金属丝的底面和所述 透光衬底之间的距离彼此相等。
8. 根据权利要求l所述的偏振器，其中所述透光部件的截面具有长方形或 反锥形(锥形)。
9. 根据权利要求l所述的偏振器，其中所述透光部件至少包含树脂、氧化 硅和氟化镁中的一种。
10. 根据权利要求l所述的偏振器，其中所述第一金属丝的截面具有三角 形或长方形。
11. 根据权利要求l所述的偏振器，其中所述第二金属丝的截面具有三角 形或长方形。
12. 根据权利要求l所述的偏振器，其中所述第一和第二金属丝的厚度为 50nm至800nm。
13. 根据权利要求l所述的偏振器，其中所述第一和第二金属丝包含铝、 银、金、铜、或这些的合金。
14. 一种偏振器，包括 透光衬底；设置在与所述透光衬底平行的第一水平面上的第一金属丝，每个第一金属 丝具有第一中心；以及设置在与所述透光衬底平行的第二水平面上的第二金属丝，每个第二金属 丝具有第二中心，其中，在所述第一和第二金属丝的长边方向上，所述第一金属丝与所述第 二金属丝平行，并且，所述第二水平面和所述透光衬底之间的距离大于所述第一水平面和 所述透光衬底之间的距离，并且，所述第二水平面和所述透光衬底之间的距离等于或小于所述第一金 属丝的厚度，并且，将第一金属丝和第二金属丝配置得使连接相邻的所述第一中心和所 述第二中心的多个线段在与所述长边方向垂直的截面上呈现锯齿形。
15. 根据权利要求14所述的偏振器，其中所述第二金属丝中的一个设置在 相邻的两个第一金属丝之间。
16. 根据权利要求14所述的偏振器，其中相邻的所述第一中心之间的距离 为入射到所述偏振器的入射光的波长的l/3以下。
17. 根据权利要求14所述的偏振器，其中所述第一金属丝之间在与所述长 边方向垂直的方向上保持相等间隔，并且所述第二金属丝之间在与所述长边方 向垂直的方向上保持相等间隔
18. 根据权利要求14所述的偏振器，其中所述第一金属丝的截面具有三角 形或长方形。
19. 根据权利要求14所述的偏振器，其中所述第二金属丝的截面具有三角 形或长方形。
20. 根据权利要求14所述的偏振器，其中所述第一和第二金属丝的厚度为 50nm至800nm。
21. 根据权利要求14所述的偏振器，其中所述第一和第二金属丝包含铝、 银、金、铜、或这些的合金。
22. 根据权利要求14所述的偏振器，其中所述偏振器安装到选自摄像机、 数码相机、护目镜型显示器、导航系统、声音再现装置、个人计算机、投影机、 游戏机、移动计算机、手机、便携式游戏机、电子书籍以及图像再现设备中的 电子设备。
23. —种显示装置，包括 第一衬底；所述第一衬底上的薄膜晶体管； 连接到所述薄膜晶体管的像素电极； 所述像素电极上的液晶层；以及 所述液晶层上的偏振器，该偏振器包括 至少具有一个平坦表面的第二衬底； 与所述第二衬底的平坦表面平行配置的第一金属丝； 与所述第二衬底的平坦表面平行配置的第二金属丝；以及 配置在所述第一金属丝和所述第二金属丝之间且与所述第二衬底的平 坦表面平行的第三金属丝，其中，将所述第一、第二、第三金属丝配置为相互平行， 并且，所述第二衬底的平坦表面和所述第一及第二金属丝的上表面之间的 第一距离彼此相等，并且，所述第二衬底的平坦表面和所述第一及第二金属丝的下表面之间的 第二距离彼此相等，并且，所述第二衬底的平坦表面和所述第三金属丝的上表面之间的距离大 于所述第一距离，并且，所述第二衬底的平坦表面和所述第三金属丝的下表面之间的距离大于所述第二距离，且小于所述第一距离。
24. 根据权利要求23所述的显示装置，其中所述第一和第二金属丝之间的 距离为入射到所述显示装置的入射光的波长的l/3以下。
25. 根据权利要求23所述的显示装置，其中所述第一金属丝的截面具有三 角形或长方形。
26. 根据权利要求23所述的显示装置，其中所述第二金属丝的截面具有三 角形或长方形。
27. 根据权利要求23所述的显示装置，其中所述第三金属丝的截面具有三 角形或长方形。
28. 根据权利要求23所述的显示装置，其中所述第一、第二和第三金属丝 的厚度为50nm至800nm。
29. 根据权利要求23所述的显示装置，其中所述第一、第二和第三金属丝 包含铝、银、金、铜、或这些的合金。
30. 根据权利要求23所述的显示装置，其中所述显示装置安装到选自摄像 机、数码相机、护目镜型显示器、导航系统、声音再现装置、个人计算机、投 影机、游戏机、移动计算机、手机、便携式游戏机、电子书籍以及图像再现设 备中的电子设备。
31. —种偏振器的制造方法，包括如下步骤 在衬底上形成透光膜；通过对所述透光膜进行构图在所述衬底上形成至少一个透光部件；在所述透光部件上形成金属膜；在所述金属膜上形成包含树脂的薄膜；通过将金属模具按压到所述包含树脂的薄膜来形成具有至少一个凹陷部 分的掩模；以及通过使用所述掩模选择性地蚀刻所述金属膜来在所述衬底上形成至少一 个第一金属丝且在所述透光部件上形成至少一个第二金属丝。
32. 根据权利要求31所述的方法，其中所述第一金属丝的截面具有三角形 或长方形。
33. 根据权利要求31所述的方法，其中所述第二金属丝的截面具有三角形或长方形。
34. 根据权利要求31所述的方法，其中所述第一和第二金属丝的厚度为 50nm至800nm。
35. 根据权利要求31所述的方法，其中所述第一、第二和第三金属丝包含 铝、银、金、铜、或这些的合金。
36. 根据权利要求31所述的方法，其中所述偏振器安装到选自摄像机、数 码相机、护目镜型显示器、导航系统、声音再现装置、个人计算机、投影机、 游戏机、移动计算机、手机、便携式游戏机、电子书籍以及图像再现设备中的 电子设备。
37. 根据权利要求31所述的方法，其中所述衬底是透光衬底。
38. 根据权利要求31所述的方法，其中通过利用光蚀刻法进行所述构图。
39. 根据权利要求31所述的方法，其中所述透光膜包含氧化硅、氟化镁或 树脂。
40. 根据权利要求31所述的方法，其中所述透光膜通过PCVD法、真空淀积 法、溅射法、或离子电镀法形成。
41. 根据权利要求l所述的偏振器，其中所述偏振器安装到选自摄像机、 数码相机、护目镜型显示器、导航系统、声音再现装置、个人计算机、投影机、 游戏机、移动计算机、手机、便携式游戏机、电子书籍以及图像再现设备中的 电子设备。
全文摘要
本发明的目的是提供一种提高平行透过率T<sub>P</sub>且降低正交透过率T<sub>C</sub>的偏振器。在该偏振器中，在至少两个不同的平行表面上分别形成多个金属丝，而不在相同的表面上配置所有的多个金属丝，并且将多个金属丝中相邻的金属丝配置为彼此具有位差。形成在第一表面上的第一组的金属丝和形成在第二表面上的第二组的金属丝位于离透光衬底表面不同的高度处，并且，与第一组的金属丝相比，第二组的金属丝以与衬底表面间隔距离D的方式来配置，并且，距离D等于或小于第一组的金属丝的厚度。
文档编号G02B5/30GK101339266SQ20081013042
公开日2009年1月7日 申请日期2008年7月4日 优先权日2007年7月6日
发明者久保田大介, 西田治朗 申请人:株式会社半导体能源研究所