专利名称：：一种a型胶及采用该a型胶修补铬版白缺陷的方法
技术领域：
：本发明属于铬板缺陷修补
技术领域：
，尤其涉及一种A型胶及采用该A型胶修补铬版白缺陷的方法。
背景技术：
：铬版是掩膜版(Photomask)的一种，也称光罩，是一种用于微电子制造过程中的图形转移工具，它使用石英玻璃或苏打制成，把电脑设计的图形通过曝光、显影、蚀刻等工艺转移到4各板表面的挡光材料上，形成新的图形，然后用于电子零件的批量复制生产过程。目前在铬版的生产过程中经常会产生白缺陷，该白缺陷在行业内也称针孔类缺陷，是指在铬版生产、使用过程中受某种因素的影响，图形有效区域内本来黑色遮光的区域出现了透光孔洞而形成的缺陷，随着其大小、位置、形状的变化也称为凹陷或断线。现有
技术领域：
中修补所述白缺陷主要使用油墨、金属修补液或CVD修补(化学气相沉积修补)，但是油墨只能修补一般的白缺陷，不能修补凹陷及断线；而金属修补液成本较高，且耐弱碱清洗液清洗能力差，清洗后容易脱落；采用CVD修补，成本极高，且无法修补玻璃基板造成的白缺陷，且修补工艺稳定性差；一旦上述三种修补方法失败，则无法再进行补救，铬版只能报废后再重新制作，造成很大的浪费。
发明内容本发明的目的在于提供一种A型胶，所要解决的技术问题在于解决了油墨无法修补凹陷及断线、金属修补液修补后不耐弱碱清洗液清洗以及使用CVD修补无法修补玻璃基板造成的白缺陷的问题。本发明是这样实现的，一种A型胶，包括下述重量份的原料金属纳米阻光材料58°/~78°/。wt，固化剂20%~40%wt,稀释剂0.5%~2%wt，玻璃促进剂0.1°/~1°/。wt。所述金属纳米阻光材料为粉状的金、银、镍、锡或氧化铝中的任一种，所述固化剂为环氧树脂或酚醛树脂，所述稀释剂为甲苯、二曱苯、三曱苯、松节油或樟脑油中的任一种，所述玻璃促进剂为硅胶。本发明的另一目的在于提供一种采用所述A型胶修#卜铬版白缺陷的方法，该方法包括以下步骤(1)在铬版背面将针孔类缺陷的大致位置标出；(2)在5~10倍显微镜下找到针孔类缺陷的具体位置；(3)将专用于铬版的修补笔的针尖除静电后，用修补笔的针尖沾少许专用特制A型胶，在显微镜下慢慢点于针孔类缺陷上；(4)将透光的针孔类缺陷全部覆盖后，再使用透射光检查是否透光，否则再取少许专用特制A型胶进行遮光，直到透射光看不到为止；(5)检查针孔类缺陷其它部位是否沾有A型胶，否则需要将多余或残留的A型胶清洁干净；(6)打开反射光确认修补效果是否正常，否则使用乙醇或水擦拭干净后重新修补，直到》务补合4各为止；(7)修补合格后再烘烤；(8)如果烘干后的A型胶有多余部分粘到玻璃上，则使用激光将该部分A型胶去除掉。本发明所提供的A型胶及采用该A型胶修补铬版白缺陷的方法，解决了油墨无法修补凹陷及断线、金属修补液修补后不耐弱石威性清洗液清洗以及使用CVD修补无法修补玻璃基板造成的白缺陷的问题，且修补后超出白缺陷的A型胶部分可以用激光熔融掉，这样就降低了修补难度、保证了修补后的黏附力且成本低廉、操作简单。具体实施方式为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。本发明实施例所提供的一种A型胶，包括下述重量份的原料金属纳米阻光材料58%~78%wt,固化剂20%~40%wt，稀释剂0.5%~2%vt,3皮璃j足进剂0.1%~l%wt。其中，所述金属纳米阻光材料为粉状的金、银、镍、锡或氧化铝中的任一种，所述金属纳米阻光材料具有调色遮光作用和一定的黏附作用；所述固化剂为环氧树脂或酚醛树脂，所述固化剂可以增加A型胶的黏附性及调和A型胶各组分的融合性；所述稀释剂为甲苯、二甲苯、三曱苯、松节油或樟脑油中的任一种，所述稀释剂可以促进A型胶各组分的有效混合和调节A型胶粘稠度和固化速度；所述玻璃促进剂为硅胶，具有增加A型胶的黏附性的作用。本发明A型胶各组分具体的实施例如下实施例一:<table>tableseeoriginaldocumentpage6</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage0</column></row><table>金朌醛树脂二曱苯硅胶(%wt)(%wt)(%wt)(%wt)实施例一584011实施例二6038.910,1实施例三6335.70.80.5实施例四65331.20.8实施例五6831.40.50.1实施例六7027.420.6实施例七7523.11.50.4实施例八7820-1.80.2实施例五\^组分银环氧树脂二曱苯硅胶(%wt)(%wt)(%wt)(%wt)实施例一584011实施例二6038,910.1实施例三6335.70.80.5实施例四65331.20.8实施例五6831.40.50.1实施例六7027.420.6实施例七7523.11.50.4实施例八78201.80.2实施例六:~\组分银环氧树脂松节油硅胶(%wt)(%wt)(%wt)(%wt)8<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>实施例十:<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>实施例十一:<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>实施例十二:<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>实施例十三:<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>实施例十四:<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table>实施例十五:<table>tableseeoriginaldocumentpage12</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>实施例十六:<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>实施例十七:<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table>实施例十八:<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>本发明实施例还提供了一种釆用上述A型胶修补铬版白缺陷的方法，该方法包括以下步骤(1)在铬版背面将针孔类缺陷的大致位置标出；(2)在5~10倍显微镜下找到针孔类缺陷的具体位置；(3)将专用于铬版的修补笔的针尖除静电后，用修补笔的针尖沾少许专用特制A型胶，在显微镜下慢慢点到针孔类缺陷上；(4)将透光的针孔类缺陷全部盖上后，再使用透射光检查是否透光，否则再取少许专用特制A型胶进行补修遮光，直到透射光看不到为止；(5)检针孔类缺陷其它部位是否沾有A型胶，否则需要将多余或残留的A型胶清洁干净；(6)打开反射光确认修补效果是否正常，否则使用乙醇或水清洗后继续修.补，直到修补合格为止；(7)修补合格后在100300。C的无尘烘箱或热风烘枪下烘烤510分钟；(8)如果烘干后的A型胶有多余部分粘到玻璃上，则使用激光将该部分A型胶去除掉。本发明实施例所提供的A型胶及采用该A型胶修补铬版白缺陷的方法，解决了油墨无法修补凹陷及断线、金属修补液修补后不耐弱碱性清洗液清洗以及使用CVD修补无法修补玻璃J4反造成的白缺陷的问题，且修补后超出白缺陷的A型胶部分可以用激光熔融掉，这样就降低了修补难度、保证了修补后的黏附力，且成本低廉、操作简单。以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。权利要求1、一种A型胶，其特征在于包括下述重量份的原料金属纳米阻光材料58％～78％wt、固化剂20％～40％wt、玻璃促进剂0.1％～1％wt。2、如权利要求1所述的A型胶，其特征在于所述金属纳米阻光材料为粉状的金、银、镍、锡或氧化铝中的任一种。3、如权利要求1所述的A型胶，其特征在于所述固化剂为环氧树脂或酚醛树脂。4、如权利要求1所述的A型胶，其特征在于还包括稀释剂，所述稀释剂的重量份为0.5%~2%wt，5、如权利要求4所述的A型胶，其特征在于所述稀释剂为曱苯、二曱苯、三曱苯、松节油或樟脑油中的任一种。6、如权利要求1所述的A型胶，其特征在于所述玻璃促进剂为硅胶。7、一种采用权利要求1至6中任一项所述的A型胶修4h4各版白缺陷的方法，其特征在于包括以下步骤(1)在铬版背面将针孔类缺陷的大致位置标出；(2)在5~10倍显微镜下找到针孔类缺陷的具体位置；(3)将专用于铬版的修补笔的针尖除静电后，用修补笔的针尖沾少许专用特制A型胶，在显微镜下慢慢点于针孔类缺陷上；(4)将透光的针孔类缺陷全部覆盖后，再使用透射光检查是否透光，否则再取少许专用特制A型胶进行遮光，直到透射光看不到为止；(5)检查针孔类缺陷其它部位是否沾有A型胶，否则需要将多余或残留的A型胶清洁干净；(6)打开反射光确认修补效果是否正常，否则使用乙醇或水擦拭干净后重新修补，直到修补合格为止；(7)修补合格后再烘烤；(8)如果烘干后的A型胶有多余部分粘到玻璃上，则使用激光将该部分A型胶去除掉。8、如权利要求7所述的A型胶修补铬版白缺陷的方法，其特征在于所述步骤(7)中，烘烤温度为100-30(TC,时间为510分钟。全文摘要本发明涉及一种A型胶，包括下述重量份的原料金属纳米阻光材料58％～78％wt，固化剂20％～40％wt，稀释剂0.5％～2％wt，玻璃促进剂0.1％～1％wt，所述金属纳米阻光材料为粉状的金、银、镍、锡或氧化铝中的任一种，所述固化剂为环氧树脂或酚醛树脂，所述稀释剂为甲苯、二甲苯、三甲苯、松节油或樟脑油中的任一种，所述玻璃促进剂为硅胶；还提供了一种采用上述A型胶修补铬版白缺陷的方法。本发明所提供的A型胶及采用该A型胶修补铬版白缺陷的方法，解决了油墨无法修补凹陷及断线、金属修补液修补后不耐弱碱性清洗液清洗以及使用CVD修补无法修补玻璃基板造成的白缺陷的问题，且保证了修补后的黏附力。文档编号G03F1/72GK101403852SQ20081021729公开日2009年4月8日申请日期2008年11月7日优先权日2008年11月7日发明者王金木申请人:清溢精密光电(深圳)有限公司