专利名称：稳压阀组结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种避免容器内部在排气过程中形成负压的技术领 域，特别是涉及一种可防止容器因负压而无法顺利开启的阀组结构，藉以 进一步保护容器内部的对象。
背景技术：
按， 一般容器内部通常具有一供放置对象的容置空间，而为了保持或 控制该容置空间内的环境条件，部分容器上会加装有充填气的气阀，供容 器置于承载装置时，可同步进行充气与排气的作用，藉以将干净空气或具 有操控环境条件的气体由连接进气回路的气阀注入容器的容置空间内，且 不断的通过与排气回路连接的气阀排出。以半导体制造过程为例，受到半 导体制造过程技术的演进及对电子产品微细化与高效化的要求，晶圆的尺
寸已由早知的6英寸、8英寸进展到12英寸，至于其上的集成电路线径则 已发展至90 - 45纳米，因此在同一晶圓(Wafer)上的芯片(Die)数量也 大幅增加，芯片的效能与价值也被提升，换言之，当制造过程中有不良品 产生时，对于厂商的损失也大幅的扩大，因此如何进一步的提高制造过程 优良率，是各半导体厂商不断思考的方向；
而为了提高整体制造过程环境的洁净度，相关业界开发有如美国专利 第US 4,532, 970号与美国专利第US 4,534,389号等用于晶圆、光掩膜的 密闭转移系统，以确保周圓环境的微粒或有害物质不致进入紧邻光掩膜与 晶圆的环境中。而由于光掩膜污损的原因除了微粒外，更进一步包含环境 中的水气、有毒气体、塑料制光掩膜盒所释出的硫化物和制作过程中的有 害物质，其会造成雾化与结晶的现象，故为了解决这些问题，业界开发有 于光掩膜盒上加装充、填气的结构，如我国专利公告第I2388(M号与第 M322056号等，用以将干净的惰性气体注入该移载容器内，并挤出移载容器 内的有害气体，又或通过同步注气与排气的循环气流，来保持光掩膜盒内 部的洁净度。
但在实际操作上，发现该光掩膜盒在同步进、排气时，可能因光掩膜 盒内部的流道迂回曲折、且元件复杂与光掩膜阻挡等因素影响，经常发生 进气量小于排气量的现象，如此将使光掩膜盒的内部空间与外部环境形成 负压，如此当光掩膜盒在开启时，会因负压而无法有效、且顺利的开启，再 者当光掩膜盒的容置空间形成负压时，其在强力开启的瞬间，外部气流会产生 一股瞬间向内流动的强力气流，该强力气流不仅会造成微粒与有害物 质的扬起，而附着于光掩膜表面，甚至可能因而刮伤光掩膜表面的图形，影 响到后续制造过程中的优良率。
由此可见，上述现有的容器在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺 陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费 尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而 一般产品又没有适切结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决
的问题。因此如何能创设一种新型的稳压阀组结构，实属当前重要研发i果题 之一，亦成为当前业界极需改进的目标。
有鉴于上述现有的容器存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品:没计 制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究 创新，以期创设一种新型的稳压阀组结构，能够改进一般现有的容器，使其 更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经过反复试作样品及改进后，终 于创设出确具实用价值的本实用新型。
发明内容
本实用新型的主要目的在于，克服现有的稳压阀组结构存在的缺陷，而 提供一种新型的稳压阀组结构，所要解决的技术问题是使其藉以让容器在 充排气的过程中，其气密的容置空间不致产生负压，避免影响到容器容置 空间的开启，非常适于实用。
本实用新型的另一目的在于，提供一种新型的稳压阀组结构，所要解 决的技术问题是使容器在开启时不致产生瞬间强力气流，以避免伤及内部 容置的对象，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。
本实用新型的目的及解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现 的。依据本实用新型提出的一种稳压阀组结构，该稳压阀组结构包含有一 稳压阀件及一气阀，其中稳压阀件连接一排气回路，且稳压阀件由一具气 流通道的阀体所构成；而气阀设于一具容置空间的容器上，且气阀由一具 气流通道的阀体所构成，气流通道与前述容置空间连通，且该气阀与稳压 阀件对接时，稳压阀件的气流通道同步跨越气阀的气流通道的内、外部。
本实用新型的目的以及解决其技术问题还可以采用以下的技术措施来 进一步实现。
前述的稳压阀组结构，其中所述的稳压阀件是由中空阀体所构成，该 阀体顶面形成有一道较大径的凸.环片，且阀体内部形成有一隔片，阀体的 隔片邻近凸环片内缘处形成有一或多个流道孔。
前述的稳压阀组结构，其中所述的气阀的阀体底部凸伸有一凸环片，该 凸环片的外径可跨设于前述稳压阀件的流道孔上，且阀体内部中段形成有一具较小通孔的隔片，又阀体内设有一可相对隔片滑动的浮动;f干，该浮动 杆两端分别具有一较大径的抵顶部与一可穿出隔片的颈部，其中颈部上束 设有一可选择性封闭隔片通孔的密封垫圈，再者该浮动杆的抵顶部与隔片 间顶撑有一弹簧，让气阀的气流通道可达到选择性启闭的目的。
前述的稳压阀组结构，其中所述的稳压阀件的阀体上具有向上凸出的 推杆，供选择性启闭容器对应气阀的气流通道。
本实用新型与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。借由上述技 术方案，本实用新型稳压阀组结构至少具有下列优点及有益效果
藉此，通过前述技术手段的展现，使得本实用新型稳压阀件的流道孔 可同步连接前述气阀的流道内、外部，当利用稳压阀件排气时，稳压阀件 可同步经由气阀吸排容器内、外部的气体，让容器的容置空间在排气的过 程中，不致发生排气量大于进气量而产生负压的状况，防止影响容器的开 启，且可避免发生开启时，因瞬间的强力气流而伤及容器内部容置对象的 表面，能大幅增加产品的附加价值，提升其竟争力与经济效益。
综上所述，本实用新型具有上述优点及实用价值，其不论在产品结构 或功能上皆有较大改进，在技术上有显著的进步，并产生了好用及实用的 效果，且较现有的容器有增进的突出功效，从而更加适于实用，并具有产 业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。
上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实 用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用 新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施 例，并配合附图，详细说明如下。
图1是本实用新型阀组结构较佳实施例的外观示意图。 图2是本实用新型阀组结构较佳实施例的分解剖面示意图，其说明各 元件的结构状态及其相对关系。
图3是本实用新型阀组结构于实际应用的外观示意图。
图4是本实用新型阀组结构于实际使用的剖面示意图。
图5是本实用新型阀组结构于对接前的剖面示意图。
图6是本实用新型阀组结构于对接后的剖面示意图。
图7是本实用新型阀组结构另外应用于晶圆容置盒与承载装置的外观
示意图。
I :阀组结构
II :阀体 13 :隔片
10:稳压阀件 12:凸环片 14:流道孔i5 :推杆 20 :气阀 22 :凸环片 231:隔片 25 :抵顶部 27 :弹簧
16:螺紋段 21:阀体 230:螺紋段 24:浮动杆 26:颈部 28:密封垫圈 51:底座 54:螺帽 60:承载装置 65:充气阀 75:箱门 85:充气阀
50 :光掩膜盒
52 :承抵件 55 :壳罩 61 :承板
70 :晶圆容置箱 80 :承载装置
具体实施方式
功效，
以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的稳压阀组结构 其具体实施方式
、结构、特征及其功效，详细说明如后。
有关本实用新型的前述及其他技术内容、特点及功效，在以下配合参 阅图式的较佳实施例的详细说明中将可清楚的呈现。通过具体实施方式
的 说明，当可对本实用新型为达成预定目的所采取的技术手段及功效得一更 加深入且具体的了解，然而所附图式仅是提供参考与说明之用，并非用来 对本实用新型加以限制。
本实用新型是一种避免容器的容置空间形成负压的阀组结构，请参阅 图1所示，该阀组结构1包含有一稳压阀件10与一气阀20,其中气阀20 组设于一具容置空间的容器上，且气阀20流道并与该可选择性启闭的容置 空间连通，而稳压阀件10则可设于该容器的对应承载装置上，且稳压阀件 10并与该承载装置的排气回路连接，使稳压阀件10与气阀20可相对选择 性接合或分离，供容器进行排气动作；
而本实用新型阀组结构1较佳实施例的详细构成，则请参阅图1及图2 所示，其中稳压阀件10是由一具气流通道的中空阀体11所构成，该阀体 11顶面形成有一道较大径的凸环片12，且阀体11内部形成有一隔片13，阀 体11的隔片13邻近凸环片12内缘处形成有一或多个流道孔14，又隔片 13顶面具有向上凸出的推杆15，供选择性启闭容器对应气阀20的气流通 道，再者阀体ll下段外缘形成有供锁接于承载装置的螺紋段16，让稳压阀 件10可选择性锁设于承载装置上；
该气阀20是由一具气流通道的中空阀体21所构成，其可供连通容器的容置空间与前述稳压阀件10,又阀体21底部凸伸有一凸环片22，该凸 环片22的外径可跨设于前述稳压阀件10的流道孔14上，使稳压阀件10 的流道孔14可同步跨越气阀20的流气通道内、外部，再者阀体21外缘形 成一可选择性锁设于容器上的螺紋段230，且阀体21内部中段形成有一具较 小通孔的隔片231，又阀体21内设有一可相对隔片231滑动的浮动杆24，该 浮动杆24两端分别具有一较大径的抵顶部25与一可穿出隔片231的颈部 26，其中颈部26上束设有一可选择性封闭隔片231通孔的密封垫圈28，且 浮动杆24的抵顶部25与隔片231间顶撑有一弹簧27，让浮动杆24可受前 述稳压阀件10推杆15的推抵，而让密封垫圏28可通过弹簧27的压伸作 用，产生相对远离或紧贴隔片231的动作，而达到让阀体21气流通道选择 性启闭的目的；
藉此，使得稳压阀件10的流道孔14同时跨越于气阀20气流通道的内、 外部，使连接排气回路的稳压阀件IO可同步吸排容器内部与外部的气体，而 构成一避免容器内部产生负压的阀组结构。
通过前述的设计，本实用新型于实际应用时，则如图2、图3及图4所 示，当本实用新型的阀组结构l应用于光掩膜盒50及其承载装置60时，其 中光掩膜盒50具有一底座51，且底座51顶面设有组设呈"n"支撑体的 承抵件52，供支撑与抵顶光掩膜，又底座51上覆设有一可选择性启闭的壳 罩55，供光掩膜盒50形成可选择性启闭的容置空间，又光掩膜盒50于底 座51底面设有一或多个螺帽54,供锁设前述连通容置空间的气阀20。而 承载装置60具有供支撑光掩膜盒50的承板61，而本实用新型稳压阀件10 锁设于该承板61上，并可与光掩膜盒50其中一气阀20对接，又承板61 上另设有一对应光掩膜盒50其它气阀20的充气阀65，充气阀65连接承栽 装置60的进气回路，使承载装置60可对光掩膜盒50进行充排气；
且如图5、图6所示，当该光掩膜盒50未置于承载装置60的承板61 上时，光掩膜盒50底座51的气阀20由于未受任何外力的推抵，因此气阀 20中的浮动杆24受弹簧27回复预力顶撑而向下定位，使浮动杆24上的密 封垫圈28贴抵于隔片231，让光掩膜盒50容置光掩膜的内部空间呈气密状 (如图5所示)。当光掩膜盒50置于承载装置60的承板61上时，该光掩 膜盒50底座51的气阀20可与承载装置60上的稳压阀件IO相对接合，其 中气阀20的浮动杆24受到稳压阀件10的推杆15的推抵，使气阀20的浮 动杆24同步压缩弹簧27,使气阀20的浮动杆24上的密封垫圈28远离隔 片231，让光掩膜盒50内的空气可经气阀20与稳压阀件10气流通道由承 载装置60的排气回路排出，且由于该稳压阀件10的阀体11流道孔14同 时跨越于气阀20凸环片22的内、外部，使稳压阀件IO可同步吸排光掩膜 盒50内部容置空间与外部环境的气体，如此即可避免同排气量大于进气量而让光掩膜盒50内部空间形成负压现象，使光掩膜盒50在未开启前，其 内、外环境的气压保持平衡，不致影响光掩膜盒50的壳罩55开启，且进 一步不致发生外部气流瞬间向内强力流动的现象，防止微粒与有害物质因 气流扬起而附着于光掩膜表面，且进一步避免带有微粒的强力气流刮伤光 掩膜表面，以提升整体制造过程的效率与优良率。
又本实用新型另有一实施例，其如图7所示，本实用新型的容器可为 容置晶圓的晶圓容置箱70，该晶圆容置箱70并具有可选择性启闭的箱门 75，而承载装置80则可选自制造过程设备的进出料机体，而将本实用新型 阀组结构1的稳压阀件IO与气阀20分别设于承载装置80与晶圓容置箱70 的对接处，其一样具有前述的功效与效能。
以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作 任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非 用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员在不脱离本实用新型技 术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同 变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实 用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均 仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1、一种稳压阀组结构，其特征在于该稳压阀组结构包含有一稳压阀件及一气阀，其中稳压阀件连接一排气回路，且稳压阀件由一具气流通道的阀体所构成；而气阀设于一具容置空间的容器上，且气阀是由一具气流通道的阀体所构成，气流通道与前述空置空间连通，且该气阀与稳压阀件对接时，稳压阀件的气流通道同步跨越气阀的气流通道的内、外部。
2、 根据权利要求1所述的稳压阀组结构，其特征在于其中所述的稳压 阀件是由中空阀体所构成，该阀体顶面形成有一道较大径的凸环片，且阀 体内部形成有一隔片，.阀体的隔片邻近凸环片内缘处形成有一或多个流道 孔。
3、 根据权利要求l所述的稳压阀组结构，其特征在于其中所述的气阀 的阀体底部凸伸有一凸环片，该凸环片的外径可跨设于前述稳压阀件的流 道孔上，且阀体内部中段形成有一具较小通孔的隔片，又阀体内设有一可相 对隔片滑动的浮动杆，该浮动杆两端分别具有一较大径的抵顶部与一可穿 出隔片的颈部，其中颈部上束设有一可选择性封闭隔片通孔的密封垫圈，再 者该浮动杆的抵顶部与隔片间顶撑有一弹簧，让气阀的气流通道可达到选 择性启闭。
4、 根据权利要求1所述的稳压阀组结构，其特征在于其中所述的稳压 阀件的阀体上具有向上凸出的推杆，供选择性启闭容器对应气阀的气流通 道。
专利摘要本实用新型是有关于一种稳压阀组结构，尤指一种气密容器在进排气过程中，可防止内部形成负压的阀组结构，该阀组结构包含有一稳压阀件及一气阀，其中稳压阀件上具有可连接排气回路的流道孔，而气阀则设于具选择性容置空间的容器上，该气阀具有连通前述容置空间的流道，又稳压阀件的流道孔可同步连接前述气阀的流道内、外部，使得排气回路在抽排气时，稳压阀件可同步经由气阀吸排容器容置空间与外部环境的气体，让容器的容置空间在排气的过程中，避免发生排气量大于进气量而产生负压的现象，如此容器在开启时，不致因瞬间的强力气流而伤及容器内部容置物的表面。
文档编号G03F1/66GK201229932SQ200820127010
公开日2009年4月29日 申请日期2008年6月19日 优先权日2008年6月19日
发明者汪欣聪, 陈俐殷 申请人:亿尚精密工业股份有限公司