专利名称：：光波导的制造方法以及由该制造方法所得到的光波导的制作方法
技术领域：
：本发明涉及光波导的制造方法以及光波导，特别涉及包括在基材上形成感光性树脂层的工序，曝光所希望图案的工序，以及使用碱性显影液进行显影的工序的光波导的制造方法以及由该制造方法所得到的光波导。
背景技术：
：近年来，就电子元件间或配线基板间的高速高密度信号传送来说，在通过以往的电气配线进行的传送中，信号的相互干涉或衰减形成了障碍，并开始显现出高速高密度化的界限。为了打破该界限，人们研究了使用光来连接电子元件或配线基板的技术，即所谓的光互连。作为光的传输通路，从加工容易度、低成本、配线自由度高，并且可以高密度化的观点考虑，聚合物光波导正受到关注。作为聚合物光波导的形态，认为在假设应用于光电混载基板的玻璃环氧树脂基板上制造的类型、或假设板相互连接的不具有硬支持基板的挠性类型是适合。作为简单并高精度形成光波导的方法之一，已知有通过曝光·显影形成芯图案的方法。此处，曝光步骤是使光照射部分的感光性树脂三维交联而不溶解的工序，显影步骤是使未曝光部分，即未反应部分的感光性树脂溶解在显影液中而除去的工序。以往，已知有使用有机溶剂作为显影液的方法(例如，参照专利文献1)，并且从显影步骤的安全性和环境负荷的观点考虑，还提出了使用碱性显影液进行显影的方法(例如，参照专利文献2和3)。为了使碱显影步骤所适用的光波导形成材料，可溶于碱性显影液，在其中导入了羧基、酚性羟基等显示酸性的官能基。因此，即使对于因曝光而不溶解的芯图案，其酸性官能基也由于碱性显影液而被中和，形成盐。特别是在使用含有碳酸钠、碳酸钾、氢氧化钠、氢氧化钾等碱金属化合物或氢氧化四甲基铵等有机碱所形成的碱性显影液时，生成的1价盐存在有化学不稳定的倾向。就残存有不稳定盐的芯图案来说，其内部形成了不均勻的结构，因此不仅从高透明性(低光传输损耗)观点考虑是不优选的，而且从光波导的可靠性观点考虑也是不优选的。专利文献1日本特开昭63-81301号公报专利文献2日本特开平6-258537号公报专利文献3日本特开2003-195079号公报
发明内容本发明目的在于解决所述问题，提供一种透明性和可靠性优异的光波导的制造方法以及由该制造方法所制造的光波导。本发明人等反复进行深入研究，结果发现，通过在显影工序和/或显影后的洗涤工序中含有2价以上的金属离子，或者通过在使用碱性显影液显影后进行用酸性水溶液洗涤的工序而形成光波导，可以解决所述问题。也就是说，本发明提供(1)一种光波导的制造方法，其具有以下工序在基材上形成由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂层的工序，曝光所希望图案的工序，以及使用含有2价以上金属离子的碱性显影液进行显影的工序；(2)一种光波导的制造方法，其具有以下工序在基材上形成由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂层的工序，曝光所希望图案的工序，使用碱性显影液进行显影的工序，以及使用含有2价以上金属离子的洗涤液或酸性水溶液进行洗涤的工序；以及(3)如上述(2)所述的光波导的制造方法，其中在所述显影工序的碱性显影液中含有2价以上的金属离子。根据本发明的制造方法，可以有效地将芯图案内残存的不稳定1价盐转变为稳定的2价以上的盐，或者可以有效地将其转变回酸性官能基，因此能够以高生产率得到透明性和可靠性优异的光波导。附图的简单说明[图1]表示本发明所实施的回流试验中回流炉内的温度曲线图。实施发明的最佳方式以下，对本发明的光波导的制造方法及光波导进行详细说明。本发明的光波导的制造方法，至少包括在基材上形成由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂层的工序、曝光所希望图案的工序、使用碱性显影液进行显影的工序，并根据需要包括洗涤工序。本发明的光波导的制造方法，特征在于在显影工序和显影后的洗涤工序的至少一个工序中含有2价以上的金属离子，或者是在碱显影后使用酸性水溶液进行洗涤。作为优选方式，具体来说，有以下4种方式。S卩，(a)—种光波导的制造方法，其具有在基材上形成光波导形成用感光性树脂层的工序，在形成后曝光所希望图案的工序，以及在曝光后使用含有2价以上金属离子的碱性显影液进行显影的工序，(b)—种光波导的制造方法，其具有在基材上形成光波导形成用感光性树脂层的工序，在形成后曝光所希望图案的工序，在曝光后使用碱性显影液进行显影的工序，以及在显影后使用含有2价以上金属离子的洗涤液进行洗涤的工序，(c)一种光波导的制造方法，其具有在基材上形成光波导形成用感光性树脂层的工序，在形成后曝光所希望图案的工序，在曝光后使用含有2价以上金属离子的碱性显影液进行显影的工序，以及在显影后使用含有2价以上金属离子的洗涤液进行洗涤的工序，和(d)—种光波导的制造方法，其具有在基材上形成光波导形成用感光性树脂层的工序，在形成后曝光所希望图案的工序，在曝光后使用碱性显影液进行显影的工序，以及在显影后使用酸性水溶液进行洗涤的工序。作为本发明中所用的基材，没有特别限制，可以列举硅基板、玻璃基板、玻璃环氧树脂基板、塑料基板、金属基板、有树脂层的基板、有金属层的基板、塑料膜、有树脂层的塑料膜、有金属层的塑料膜等。作为在基材上形成感光性树脂层的方法，没有特别限制，例如，可以列举使用光波导形成用感光性树脂组合物通过旋涂法、浸涂法、喷涂法、棒涂法、辊涂法、帘涂法、照相凹版涂布法、丝网涂布法、喷墨涂布法等进行涂布的方法。当光波导形成用感光性树脂组合物，是使用适当的有机溶剂进行稀释的光波导形成用感光性树脂清漆时，可以根据需要，在形成树脂层后，加入干燥的工序。作为干燥方法，例如，可以列举加热干燥、减压干燥等。并且，也可以根据需要将它们并用。作为形成感光性树脂层的其它方法，可以列举使用由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂膜并通过层叠法来形成的方法。另外，感光性树脂膜如后文详述，通常是在支持膜上涂布感光性树脂组合物，并在其上层叠保护膜所形成的3层结构的膜。从可以提供生产率优异的光波导制造步骤的观点考虑，使用上述光波导形成用感光性树脂膜并通过层叠法进行制造的方法是优选的。以下，以使用光波导形成用感光性树脂膜，形成下部包覆层、芯部和上部包覆层的光波导的制造方法为例进行说明，但本发明并不由此受到任何限制。首先，作为第1工序，将下部包覆层形成用感光性树脂膜层叠在上述基材上。作为第1工序中的层叠方法，没有特别限制，例如，可以列举使用辊轴层压机或平板型层压机一边加热一边压合而进行层叠的方法等。另外，在本发明中，平板型层压机是指将层叠材料夹在一对平板之间，并通过对平板加压而进行压合的层压机，例如，可以优选使用真空加压式层压机。此处的加热温度，优选为20130°C，压合压力优选为0.11.OMPa，但这些条件并没有特别限制。当下部包覆层形成用感光性树脂膜上存在有保护膜时，在除去保护膜后进行层叠。此外，在通过真空加压式层压机进行层叠之前，也可以使用辊轴层压机预先将下部包覆层形成用感光性树脂膜暂时贴合在基板上。此时，从提高密合性和跟随性的观点考虑，优选在进行压合的同时进行暂时贴合，并且在压合时，也可以使用具有热辊的层压机一边加热一边进行压接。层压温度，优选为20130°C。如果为20°C以上，则下部包覆层形成用感光性树脂膜和基材的密合性提高，如果为130°C以下，则在辊轴层压时树脂层不会过度流动，可以得到必要的膜厚。从以上观点考虑，层压温度进一步优选为40100°C。层压时的压力优选为0.20.9MPa，层压速度优选为0.13m/min，但这些条件并没有特别限制。使层叠在基材上的下部包覆层形成用感光性树脂膜光固化，并除去下部包覆层形成用感光性树脂膜的支持膜，形成下部包覆层。形成下部包覆层时的活性光线的照射量，优选为0.15J/cm2，但该条件并没有特别限制。此外，在活性光学透过基材时，为了有效进行固化，可以使用能够同时从两面照射活性光线的双面曝光机。进一步，还可以一边加热一边照射活性光线。另外，作为光固化后的处理，可以根据需要进行50200°C的加热处理。作为第2工序，使用和第1工序相同的方法，将芯部形成用感光性树脂膜层叠在下部包覆层上。此处，优选将芯部形成用感光性树脂膜设计为折射率比下部包覆层形成用感光性树脂膜高，并且由可以通过活性光线形成芯图案的感光性树脂组合物所形成。作为第3工序，将芯部(芯图案)曝光。作为曝光芯图案的方法，没有特别限制，例如，可以列举通过称为原图(artwork)的负掩模图案以图像状照射活性光线的方法、使用激光直接描绘而不通过光掩模直接使活性光线照射于图像上的方法等。作为活性光线的光源，例如，可以列举超高压水银灯、高压水银灯、水银蒸气弧光灯、金属卤化物灯、氙灯、碳弧灯等有效发射紫外线的光源。而且，除此之外，还可以列举照相用散光灯、太阳灯等有效发射可见光的光源。在曝光芯图案时的活性光线的照射量，优选为0.01lOJ/cm2。如果为0.01J/cm2以上，则固化反应充分进行，并且芯图案不会因后述的显影工序而流失，如果为lOJ/cm2以下，则芯图案不会因为曝光量过多而变粗，并且可以形成微细的芯图案，因此是适宜的。由以上观点可知，照射量进一步优选为0.055J/cm2，并特别优选为0.13J/cm2。芯图案的曝光，可以间隔着芯部形成用感光性树脂膜的支持膜进行，也可以在除去支持膜后进行。此外，在曝光后，从提高芯图案的分辨率和密合性的观点考虑，也可以根据需要进行曝光后加热。从紫外线照射到曝光后加热的时间，优选为10分钟以内。如果为10分钟以内，则通过紫外线照射所产生的活性种不会失活。曝光后加热的温度优选为40160°C，时间优选为30秒钟10分钟。作为第4工序，在间隔着芯部形成用感光性树脂膜的支持膜进行曝光时，将其除去，并使用碱性显影液进行显影。作为显影方法，没有特别限制，例如，可以列举喷雾法、浸渍法、拍打法、旋转法、刷涂法、刮涂法等。此外，根据需要，也可以将这些显影方法并用。作为碱性显影液，没有特别限制，例如，可以列举碱性水溶液、由碱性水溶液和1种以上的有机溶剂所形成的碱性准水系显影液等。作为所述碱性水溶液的碱，没有特别限制，例如，可以列举氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾等碱金属氢氧化物；碳酸锂、碳酸钠、碳酸钾等碱金属碳酸盐；碳酸氢锂、碳酸氢钠、碳酸氢钾等碱金属碳酸氢盐；磷酸钾、磷酸钠等碱金属磷酸盐；焦磷酸钠、焦磷酸钾等碱金属焦磷酸盐；四硼酸钠、硅酸钠等钠盐；碳酸铵、碳酸氢铵等铵盐；氢氧化四甲基铵、三乙醇胺、乙二胺、二乙三胺、2-氨基-2-羟甲基-1，3-丙二醇、1，3_二氨基丙醇-2-吗啉等有机碱等。这些碱性水溶液的碱，可以单独使用或2种以上组合使用。此外，显影中所用的碱性水溶液的pH优选为914，进一步优选为1013。显影中所用的碱性水溶液的温度可以适应光波导形成用感光性树脂层的显影性来进行调节。此外，在碱性水溶液中，也可以混入表面活性剂、消泡剂等。作为所述碱性准水系显影液，只要由碱性水溶液和1种以上的有机溶剂形成，就没有特别限制。碱性准水系显影液的PH，在能够充分显影的范围内，优选尽可能小，并优选为pH813，进一步优选为pH912。作为所述有机溶剂，没有特别限制，例如，甲醇、乙醇、异丙醇、丁醇、乙二醇、丙二醇、二乙二醇等醇；丙酮、甲乙酮、4-羟基-4-甲基-2-戊酮等酮；乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇单丁基醚等多元醇烷基醚等。这些有机溶剂，可以单独使用或2种以上组合使用。此外，有机溶剂的浓度，通常优选为290质量％，并且碱性准水系显影液的温度可以适应光波导形成用感光性树脂层的显影性来进行调节。此外，在碱性准水系显影液中，也可以混入表面活性剂、消泡剂等。在作为本发明方式的所述(a)(C)中，在所述碱性显影液和后文详述的洗涤液中含有2价以上的金属离子是必要条件。作为2价以上的金属离子，没有特别限制，例如，可以列举镁离子、钙离子、锌离子、锰(II)离子、钴(II)离子、铁(II)离子、铜(II)离子、铁(III)离子、铝离子等。其中，从生成盐的稳定性观点考虑，优选为2价的金属离子，特别优选为镁离子或钙离子。这些金属离子，可以单独使用或2种以上组合使用。作为使所述碱性显影液中含有金属离子的方法，没有特别限制，例如，可以列举将硫酸镁、硫酸钙、硫酸锌、硫酸锰、硫酸钴、硫酸铁、硫酸铜、硫酸铝等金属硫酸盐；氯化镁、氯化钙、氯化锌、氯化锰、氯化钴、氯化铁、氯化铜、氯化铝等金属氯化物；碳酸镁、碳酸钙、碳酸锌、碳酸锰、碳酸钴、碳酸铁、碳酸铜、碳酸铝等金属碳酸盐；氢氧化镁、氢氧化钙、氢氧化锌、氢氧化锰、氢氧化钴、氢氧化铁、氢氧化铜、氢氧化铝等金属氢氧化物等与碱性显影液混合或者溶于碱性显影液的方法等。此外，作为碱性显影液，还可以使用本来就含有所述金属离子的水。作为这种水，没有特别限制，例如，可以列举管道水、井水等。所述碱性显影液中所含的2价以上的金属离子的量，优选为150000质量ppm。如果为1质量PPm以上，则可以有效地将芯图案中残存的不稳定的1价盐转变为稳定的2价以上的盐，并且如果为50000质量ppm以下，则芯图案中不会残留有过剩的金属离子。由以上观点可知，其进一步优选为1010000质量ppm，特别优选为305000质量ppm。作为显影后的处理，优选使用由水和2价以上的金属离子所形成的洗涤液进行洗涤(将洗涤工序作为第5工序)。作为2价以上的金属离子，没有特别限制，可以使用和上述离子相同的离子。其中，从生成的盐的稳定性观点考虑，优选为2价的金属离子，特别优选为镁离子或钙离子。这些金属离子，可以单独使用或2种以上组合使用。作为使水中含有金属离子的方法，没有特别限制，可以列举使用与使所述碱性显影液中含有金属离子时相同的物质，使其与碱性显影液混合或溶于碱性显影液的方法等。此外，作为洗涤液，还可以使用本来就含有所述金属离子的水。作为这种水，没有特别限制，例如，可以列举管道水、井水等。所述洗涤液中所含的金属离子的量，优选为150000质量ppm。如果为1质量ppm以上，则可以将芯图案中残存的不稳定的1价盐转变为稳定的2价以上的盐，如果为50000质量ppm以下，则芯图案中不会残留有过剩的金属离子。由以上观点可知，其进一步优选为1010000质量ppm，特别优选为305000质量ppm。此外，在洗涤液中，也可以混入有机溶剂、表面活性剂、消泡剂等。接着，在作为本发明方式的所述(d)中，具有以下工序是必要条件在用碱性显影液进行显影的工序后，使用酸性水溶液进行洗涤的工序。作为洗涤方法，没有特别限制，例如，可以列举喷雾法、浸渍法、拍打法、旋转法、刷涂法、刮涂法等。此外，根据需要，也可以将这些洗涤方法并用。作为所述酸性水溶液的酸，没有特别限制，例如，可以列举硫酸、盐酸、硝酸、磷酸等无机酸；甲酸、乙酸、丙二酸、丁二酸等羧酸；乳酸、水杨酸、苹果酸、酒石酸、柠檬酸等羟基酸等。这些酸可以单独使用或2种以上组合使用。其中，从酸性度高、挥发性低、氧化性小的观点考虑，优选硫酸。洗涤中所用的酸性水溶液的pH，优选为超过0且为5以下。如果超过0，则酸性度、腐蚀性不会过强，而如果为5以下，则可以有效地将芯图案中残存的不稳定的1价盐转变回原先的酸性官能基。由以上观点可知，酸性水溶液的PH进一步优选为0.14，特别优选为0.33。酸性水溶液的温度可以适应pH来进行调节。此外，在酸性水溶液中，也可以混入有机溶剂、表面活性剂、消泡剂等。作为洗涤后的处理，也可以根据需要使用水或由水和上述有机溶剂所形成的洗涤液进一步洗涤。有机溶剂可以单独使用或2种以上组合使用。有机溶剂的浓度通常优选为290质量％，其温度可以适应光波导形成用感光性树脂层的显影性来进行调节。作为洗涤后的处理，可以根据需要通过进行60250°C左右的加热或0.11000mJ/cm2左右的曝光而使图案进一步固化。作为第6工序，使用和第1及第2工序相同的方法，将上部包覆层形成用感光性树脂膜层叠在下部包覆层和芯图案上。此处，将上部包覆层形成用感光性树脂膜设计为折射率比芯部形成用感光性树脂膜低。此外，上部包覆层的厚度，优选比芯图案的高度要大。接着，使用和第1工序相同的方法，使上部包覆层形成用感光性树脂层(膜)光固化，并形成上部包覆层。形成上部包覆层时的活性光线的照射量，优选为0.130J/cm2，但该条件并没有特别限制。此外，在活性光学透过基材时，为了有效进行固化，可以使用能够同时从两面照射活性光线的双面曝光机。此外，也可以一边进行50200°C的加热一边照射活性光线。另夕卜，作为光固化后的处理，可以根据需要进行50200°C的加热处理。形成上部包覆层后，如果需要的话，可以除去支持膜，形成光波导。以下，对于本发明中所用的感光性树脂组合物进行说明。感光性树脂组合物，从在曝光所希望的图案后，使用碱性显影液进行显影的观点考虑，优选是含有具有羧基和酚性羟基中至少一种的化合物的树脂组合物。其中，从透明性、耐热性、保存稳定性的观点考虑，优选是含有(A)含羧基的碱可溶性聚合物、(B)聚合性化合物和(C)光聚合引发剂的光波导形成用感光性树脂组合物。以下，对本发明中所用的㈧成分进行说明。作为㈧成分的含羧基的碱可溶性聚合物，没有特别限制，例如，可以列举下述(1)(6)所表示的聚合物。(1)分子中具有羧基和乙烯性不饱和基团的化合物，与除此以外的具有乙烯性不饱和基团的化合物进行共聚所得的含羧基的碱可溶性聚合物。(2)在分子中具有羧基和乙烯性不饱和基团的化合物与除此以外的具有乙烯性不饱和基团的化合物的共聚物中，向侧链上部分导入乙烯性不饱和基团所得的含羧基的碱可溶性聚合物。(3)使分子中具有环氧基和乙烯性不饱和基团的化合物与除此以外的具有乙烯性不饱和基团的化合物的共聚物，与分子中具有羧基和乙烯性不饱和基团的化合物反应，并使多元酸酐与生成的羟基反应所得的含羧基的碱可溶性聚合物。(4)使具有乙烯性不饱和基团的酸酐与除此以外的具有乙烯性不饱和基团的化合物的共聚物，与分子中具有羟基和乙烯性不饱和基团的化合物反应所得的含羧基的碱可溶性聚合物。(5)使双官能环氧树脂和二羧酸或双官能酚化合物的加聚物，与多元酸酐反应所得的含羧基的碱可溶性聚合物。(6)使双官能氧杂环丁烷(oxetane)化合物和二羧酸或双官能酚化合物的加聚物的羟基，与多元酸酐反应所得的含羧基的碱可溶性聚合物。其中，从透明性、在碱性显影液中的溶解性的观点考虑，优选为上述⑴⑷所表示的含羧基的碱可溶性聚合物。另外，这些聚合物是具有(甲基)丙烯酰基的(甲基)丙烯酸聚合物。此处，(甲基)丙烯酰基是指丙烯酰基和/或甲基丙烯酰基，(甲基)丙烯酸聚合物是指以丙烯酸、丙烯酸酯、甲基丙烯酸、甲基丙烯酸酯，以及它们的衍生物为单体，进行聚合所形成的聚合物。该(甲基)丙烯酸聚合物，可以是上述单体的均聚物，而且也可以是使这些单体中的2种以上进行聚合所得的共聚物。进一步，在不损害本发明效果的范围内，还可以是含有上述单体，和根据需要具有(甲基)丙烯酰基以外的乙烯性不饱和基团的上述之外的单体的共聚物。此外，还可以是多种(甲基)丙烯酸聚合物的混合物。(A)成分的含羧基的碱可溶性聚合物的重均分子量优选为1，0003，000，000。如果为1，000以上，则由于分子量大，因而在作为树脂组合物时的固化物的强度足够，并且如果为3，000，000以下，则对于由碱性水溶液所形成的显影液的溶解性以及和(B)聚合性化合物的相容性良好。由以上观点考虑，(A)成分的重均分子量进一步优选为3，0002，000,000,并特别优选为5，0001，000,000。另外，本发明的重均分子量是用凝胶渗透色谱法(GPC)测定，并进行标准聚苯乙烯换算所得的值。(A)成分的含羧基的碱可溶性聚合物，可以将酸值规定为在通过显影形成图案的工序中，能够通过所述碱性显影液进行显影。例如，在使用所述碱性水溶液时，酸值优选为20300mgK0H/g。如果为20mgK0H/g以上，则容易显影，而如果为300mgK0H/g以下，则耐显影液性不会降低。由以上观点考虑，酸值进一步优选为30250mgK0H/g，并特别优选为40200mgK0H/g。另外，所谓耐显影液性，是指未通过显影除去而形成图案的部分，不受显影液侵害的性质。此外，在使用由碱性水溶液和1种以上的有机溶剂所形成的碱性准水系显影液时，酸值优选为10260mgK0H/g。如果酸值为10mgK0H/g以上，则容易显影，而如果为260mgK0H/g以下，则耐显影液性(未通过显影除去而形成图案的部分，不受显影液侵害的性质)不会降低。由以上观点考虑，酸值进一步优选为20250mgK0H/g，并特别优选为30200mgK0H/g。(A)成分的配合量，相对于㈧成分和⑶成分的总量，优选为1085质量％。如果为10质量％以上，则光波导形成用感光性树脂组合物的固化物强度和挠性足够，而如果为85质量％以下，则曝光时通过(B)成分聚合进入而容易固化，并且耐溶剂性足够。由以上观点考虑，(A)成分的配合量进一步优选为2080质量％，特别优选为2575质量％。以下，对本发明中所用的⑶成分进行说明。作为⑶成分的聚合性化合物，没有特别限制，例如，可以优选列举具有乙烯性不饱和基团等聚合性取代基的化合物或分子内具有2个以上环氧基的化合物等。具体来说，可以列举(甲基)丙烯酸酯、偏卤乙烯、乙烯基醚、乙烯基酯、乙烯基吡啶、乙烯基酰胺、芳基化乙烯等，其中，从透明性的观点考虑，优选(甲基)丙烯酸酯或芳基化乙烯。作为(甲基)丙烯酸酯，单官能(甲基)丙烯酸酯、2官能(甲基)丙烯酸酯或多官能(甲基)丙烯酸酯均可以使用。作为单官能(甲基)丙烯酸酯，没有特别限制，例如，可以列举(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸丁氧基乙酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸壬酯、(甲基)丙烯酸癸酯、(甲基)丙烯酸十一烷基酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十三烷基酯、(甲基)丙烯酸十四烷基酯、(甲基)丙烯酸十五烷基酯、(甲基)丙烯酸十六烷基酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、(甲基)丙烯酸二十二烷基酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸-3-氯-2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基丁酯等脂肪族(甲基)丙烯酸酯；(甲基)丙烯酸环戊酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸二环戊酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯等脂环式(甲基)丙烯酸酯；(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸壬苯酯、(甲基)丙烯酸对异丙苯基苯酯、(甲基)丙烯酸邻联苯酯、(甲基)丙烯酸-1-萘酯、(甲基)丙烯酸-2-萘酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基-3-(邻苯基苯氧基)丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基-3-(1-萘氧基)丙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基-3-(2-萘氧基)丙酯等芳香族(甲基)丙烯酸酯；(甲基)丙烯酸-2-四氢化糠基酯、N-(甲基)丙烯酰氧基乙基六氢邻苯二甲酰亚胺、2_(甲基)丙烯酰氧基乙基-N-咔唑等杂环式(甲基)丙烯酸酯；它们的乙氧化物；它们的丙氧化物；它们的乙氧化丙氧化物；它们的己内酯改性物寸。其中，从透明性和耐热性的观点考虑，优选上述脂环式(甲基)丙烯酸酯；上述杂环式(甲基)丙烯酸酯；它们的乙氧化物；它们的丙氧化物；它们的乙氧化丙氧化物；它们的己内酯改性物等。作为2官能(甲基)丙烯酸酯，没有特别限制，例如，可以列举乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，3_丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、2-甲基-1，3-丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，4_丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、3-甲基-1，5-戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，6_己二醇二(甲基)丙烯酸酯、2-丁基-2-乙基-1，3-丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，9_壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，10_癸二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸甘油酯、三环癸烷二甲醇(甲基)丙烯酸酯等脂肪族(甲基)丙烯酸酯；环己烷二甲醇(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化环己烷二甲醇(甲基)丙烯酸酯、三环癸烷二甲醇(甲基)丙烯酸酯、氢化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、氢化双酚F二(甲基)丙烯酸酯等脂环式(甲基)丙烯酸酯；双酚A二(甲基)丙烯酸酯、双酚F二(甲基)丙烯酸酯、双酚AF二(甲基)丙烯酸酯、芴型二(甲基)丙烯酸酯等芳香族(甲基)丙烯酸酯；异氰脲酸二(甲基)丙烯酸酯等杂环式(甲基)丙烯酸酯；它们的乙氧化物；它们的丙氧化物；它们的乙氧化丙氧化物；它们的己内酯改性物；新戊二醇型环氧基(甲基)丙烯酸酯等脂肪族环氧基(甲基)丙烯酸酯；环己烷二甲醇型环氧基(甲基)丙烯酸酯、氢化双酚A型环氧基(甲基)丙烯酸酯、氢化双酚F型环氧基(甲基)丙烯酸酯等脂环式环氧基(甲基)丙烯酸酯；间苯二酚型环氧基(甲基)丙烯酸酯、双酚A型环氧基(甲基)丙烯酸酯、双酚F型环氧基(甲基)丙烯酸酯、双酚AF型环氧基(甲基)丙烯酸酯、芴型环氧基(甲基)丙烯酸酯等芳香族环氧基(甲基)丙烯酸酯等。其中，从透明性和耐热性的观点考虑，优选上述脂环式(甲基)丙烯酸酯；上述芳香族(甲基)丙烯酸酯；上述杂环式(甲基)丙烯酸酯；它们的乙氧化物；它们的丙氧化物；它们的乙氧化丙氧化物；它们的己内酯改性物；上述脂环式环氧基(甲基)丙烯酸酯；上述芳香族环氧基(甲基)丙烯酸酯。作为3官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯，没有特别限制，例如，可以列举三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、双三羟甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等脂肪族(甲基)丙烯酸酯；异氰脲酸三(甲基)丙烯酸酯等杂环式(甲基)丙烯酸酯；它们的乙氧化物；它们的丙氧化物；它们的乙氧化丙氧化物；它们的己内酯改性物；苯酚酚醛清漆型环氧基(甲基)丙烯酸酯；甲酚酚醛清漆型环氧基(甲基)丙烯酸酯等芳香族环氧基(甲基)丙烯酸酯。其中，从透明性和耐热性的观点考虑，优选上述杂环式(甲基)丙烯酸酯；它们的乙氧化物；它们的丙氧化物；它们的乙氧化丙氧化物；它们的己内酯改性物；上述芳香族环氧基(甲基)丙烯酸酯。上述单官能(甲基)丙烯酸酯、2官能(甲基)丙烯酸酯、3官能以上的多官能(甲基)丙烯酸酯，各自可以单独使用或2种以上组合使用。此外，也可以将官能基团数不同的(甲基)丙烯酸酯组合使用。进一步，还可以和其它聚合性化合物组合使用。此外，作为所述(甲基)丙烯酸酯以外优选的⑶聚合性化合物，从和(A)含羧基的碱可溶性聚合物的相容性观点考虑，可以列举含有在分子内具有2个以上环氧基的化合物的物质。具体来说，可以列举对苯二酚型环氧树脂、间苯二酚型环氧树脂、邻苯二酚型环氧树脂、双酚A型环氧树脂、四溴双酚A型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、双酚AF型环氧树脂、双酚AD型环氧树脂、联苯型环氧树脂、萘型环氧树脂、芴型环氧树脂等2官能苯酚缩水甘油醚型环氧树脂；氢化双酚A型环氧树脂、氢化双酚F型环氧树脂、氢化2，2’-双酚型环氧树月旨、氢化4，4’_双酚型环氧树脂等氢化2官能苯酚缩水甘油醚型环氧树脂；苯酚酚醛清漆型环氧树脂、甲酚酚醛清漆型环氧树脂、二环戊二烯_苯酚型环氧树脂、二环戊二烯_甲酚型环氧树脂、四苯酚基乙烷型环氧树脂等3官能以上的多官能苯酚缩水甘油醚型环氧树脂；聚乙二醇型环氧树脂、聚丙二醇型环氧树脂、新戊二醇型环氧树脂、1，6_己二醇型环氧树脂等2官能脂肪醇缩水甘油醚型环氧树脂；环己二醇型环氧树脂、环己烷二甲醇型环氧树脂、三环癸烷二甲醇型环氧树脂等2官能脂环式醇缩水甘油醚型环氧树脂；三羟甲基丙烷型环氧树脂、山梨糖醇型环氧树脂、甘油型环氧树脂等3官能以上的多官能脂肪族醇缩水甘油醚型环氧树脂；邻苯二甲酸二缩水甘油酯等2官能芳香族缩水甘油酯；四氢化邻苯二甲酸二缩水甘油酯、六氢化邻苯二甲酸二缩水甘油酯等2官能脂环式缩水甘油酯；N，N-二缩水甘油基苯胺、N，N-二缩水甘油基三氟甲基苯胺等2官能芳香族缩水甘油基胺；N，N,N’N’-四缩水甘油基_4，4-二氨基二苯基甲烷、1，3-双(N，N-缩水甘油基氨基甲基)环己烷、N，N，邻_三缩水甘油基_对_氨基苯酚等3官能以上的多官能芳香族缩水甘油基胺；脂环族二环氧基缩醛、脂环族二环氧基己二酸酯、脂环族二环氧基羧酸酯、乙烯基环己烯二氧化物等2官能脂环式环氧树脂；2，2-双(羟甲基)-1-丁醇的1，2-环氧基-4-(2-环氧乙基)环己烷加成物等3官能以上的多官能脂环式环氧树脂；三缩水甘油基异氰脲酸酯等3官能以上的多官能杂环式环氧树脂；有机聚硅氧烷型环氧树脂等含硅的2官能或3官能以上的多官能环氧树脂等。其中，从透明性和耐热性的观点考虑，优选上述2官能苯酚缩水甘油醚型环氧树脂；上述氢化2官能苯酚缩水甘油醚型环氧树脂；上述3官能以上的多官能苯酚缩水甘油醚型环氧树脂；上述2官能脂环式醇缩水甘油醚苯酚缩水甘油醚型环氧树脂；上述2官能芳香族缩水甘油酯苯酚缩水甘油醚型环氧树脂；上述2官能脂环式缩水甘油酯苯酚缩水甘油醚型环氧树脂；上述2官能脂环式环氧树脂；上述多官能脂环式环氧树脂；上述多官能杂环式环氧树脂；上述2官能或多官能含硅环氧树脂。以上化合物，可以单独使用或2种以上组合使用，此外，还可以和其它聚合性化合物组合使用。(B)成分的聚合性化合物的配合量，相对于(A)成分和(B)成分的总量，优选为1590质量％。如果为15质量％以上，则在聚合(A)成分的含羧基的碱可溶性聚合物时容易固化，并且耐显影液性足够，而如果为90质量％以下，则固化膜的膜强度和挠性足够。由以上观点考虑，(B)成分的配合量进一步优选为2080质量％，并特别优选为2575质量％。以下，对本发明中所用的(C)成分进行说明。作为(C)成分的聚合引发剂，只要是可以通过紫外线等活性光线的照射而聚合开始的物质，就没有特别限制，例如，在使用具有乙烯性不饱和基团的化合物作为(B)成分的聚合性化合物时，可以列举光自由基聚合引发剂等。作为光自由基聚合引发剂，没有特别限制，例如，可以列举2，2_二甲氧基-1，2-二苯基乙烷-1-酮等苯偶姻缩酮、1-羟基环己基苯基酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-羟基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、2-羟基-l-{4[4-(2-羟基-2-甲基丙酰基)苄基]苯基}-2_甲基丙烷-1-酮等α-羟基酮；苯基乙醛酸甲酯、苯基乙醛酸乙酯、氧基苯基乙酸2-(2_羟基乙氧基)乙酯、氧基苯基乙酸2-(2-氧基-2-苯基乙酰氧基乙氧基)乙酯等乙醛酸酯；2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉-4-基苯基)-丁烷-1-酮、2-二甲基氨基-2-(4-甲基苄基)-1-(4-吗啉-4-基苯基)-丁烷-1-酮、1，2_甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-(4-吗啉)-2-基丙烷-1-酮等α-氨基酮；1，2_辛二酮，1-[4-(苯硫基)，2-(0_苯甲酰肟)]、乙酮，1-[9_乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9Η-咔唑-3-基]，1-等肟酯；双(2，4，6_三甲基苯甲酰基)苯基膦氧化物、双(2，6-二甲氧基苯甲酰基)-2，4，4-三甲基戊基膦氧化物、2，4，6-三甲基苯甲酰基二苯基膦氧化物等膦氧化物；2-(邻氯苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物、2-(邻氯苯基)-4，5-二(甲氧基苯基)咪唑二聚物、2-(邻氟苯基)-4，5_二苯基咪唑二聚物、2-(邻甲氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物、2-(对甲氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚物等2，4，5-三芳基咪唑二聚物；二苯甲酮、N，N’-四甲基_4，4’-二氨基二苯甲酮、N，N’-四乙基_4，4’-二氨基二苯甲酮、4-甲氧基-4’-二甲基氨基二苯甲酮等二苯甲酮化合物；2-乙基蒽醌、菲醌、2_叔丁基蒽醌、八甲基蒽醌、1，2-苯并蒽醌、2，3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2，3-二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、2-甲基蒽醌、1，4_萘醌、9，10-菲醌、2-甲基-1，4-萘醌、2，3-二甲基蒽醌等醌化合物；苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻苯基醚等苯偶姻醚；苯偶姻、甲基苯偶姻、乙基苯偶姻等苯偶姻化合物；偶苯酰二甲基缩酮等偶苯酰化合物；9-苯基吖啶、1，7_双(9，9’_吖啶基庚烷)等吖啶化合物；N-苯基甘氨酸、香豆素等。此外，在所述2，4，5-三芳基咪唑二聚物中，三芳基咪唑部位的芳基的2个取代基，可以相同而得到对称化合物，也可以不同而得到非对称化合物。其中，从固化性、透明性和耐热性的观点考虑，优选上述α-羟基酮；上述乙醛酸酯；上述肟酯；上述膦氧化物。以上的光自由基聚合引发剂，可以单独使用或2种以上组合使用。此外，还可以和适当的增感剂组合使用。此外，在使用环氧树脂作为(B)成分的聚合性化合物时，作为(C)成分的光聚合引发剂，可以列举光阳离子聚合引发剂等。作为光阳离子聚合引发剂，例如，可以列举对甲氧基苯重氮鐺六氟磷酸盐等芳基重氮鐺盐、二苯基碘鐺六氟磷酸盐、二苯基碘鐺六氟锑酸盐等二芳基碘鐺盐；三苯基锍六氟磷酸盐、三苯基锍六氟锑酸盐、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍六氟磷酸盐、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍六氟锑酸盐、二苯基-4-硫代苯氧基苯基锍五氟羟基锑酸盐等三芳基锍盐；三苯基硒鐺六氟磷酸盐、三苯基硒鐺四氟硼酸盐、三苯基硒鐺六氟锑酸盐等三芳基硒鐺盐；二甲基苯甲酰甲基锍六氟锑酸盐、二乙基苯甲酰甲基锍六氟锑酸盐等二烷基苯甲酰甲基锍盐；4-羟基苯基二甲基锍六氟锑酸盐、4-羟基苯基苄基甲基锍六氟锑酸盐等二烷基-4-羟基盐；α-羟甲基苯偶姻磺酸酯、N-羟基酰亚胺磺酸盐、α-磺酰氧基酮、β-磺酰氧基酮等磺酸酯等。其中，从固化性、透明性和耐热性的观点考虑，优选上述三芳基锍盐。这些热和光阳离子聚合引发剂，可以单独使用或2种以上组合使用。此外，还可以和适当的增感剂组合使用。(C)成分的聚合引发剂的配合量，相对于(A)成分和(B)成分的总量100质量份，优选为0.110质量份。如果为0.1质量份以上，则固化充分，而如果为10质量份以下，则可以得到足够的光透过性。由以上观点考虑，(C)成分的配合量进一步优选为0.37质量份，特别优选为0.55质量份。并且，除此之外，根据需要，还可以在本发明所用的光波导形成用感光性树脂组合物中，添加抗氧剂、抗黄变剂、紫外线吸收剂、可见光吸收剂、着色剂、增塑剂、稳定剂、填充剂等所谓的添加剂。以下，对于本发明中所用的光波导形成用感光性树脂组合物进行说明。本发明中所用的光波导形成用感光性树脂组合物，可以使用适当的有机溶剂进行稀释，作为光波导形成用感光性树脂清漆来使用。作为此处所用的有机溶剂，只要可以溶解该树脂组合物，就没有特别限制，例如，可以列举甲苯、二甲苯、均三甲苯、异丙苯、对甲基异丙基苯等芳香族烃；四氢呋喃、1，4_二恶烷等环状醚；甲醇、乙醇、异丙醇、丁醇、乙二醇、丙二醇等醇；丙酮、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、环己酮、4-羟基-4-甲基-2-戊酮等酮；乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、Y-丁内酯等酯；碳酸乙烯酯、碳酸丙烯酯等碳酸酯；乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丁醚、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚等多元醇烷基醚；乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、二乙二醇单甲醚乙酸酯、二乙二醇单乙醚乙酸酯等多元醇烷基醚乙酸酯；N，N’-二甲基甲酰胺、N，N’-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等酰胺。这些有机溶剂，可以单独使用或2种以上组合使用。此外，树脂清漆中的固体成分浓度，通常优选为2080质量％。在调制光波导形成用感光性树脂清漆时，优选通过搅拌进行混合。搅拌方法没有特别限制，但是从搅拌效率的观点考虑，优选使用螺旋桨进行搅拌。搅拌时螺旋桨的旋转速度，没有特别限制，并优选为101，OOOmirT1。如果为IOmirT1以上，则(A)(C)成分和有机溶剂的各种成分充分混合，而如果为I1OOOmirT1以下，则由螺旋桨的旋转所产生的气泡的混入变少。由以上观点考虑，螺旋桨的旋转速度进一步优选为50SOOmirT1，并特别优选为100SOOmirT1。搅拌时间没有特别限制，优选为124小时。如果为1小时以上，则(A)(C)成分和有机溶剂的各种成分充分混合，而如果为24小时以下，则可以缩短清漆调制时间，实现生产率的提高。调制的光波导形成用感光性树脂清漆，优选使用孔径为50μπι以下的过滤器进行过滤。如果孔径为50μm以下，则可以除去大的异物，在涂布清漆时不会产生排斥等，并且可以抑制芯部传输的光的散射。由以上观点考虑，进一步优选使用孔径为30μπι以下的过滤器进行过滤，并特别优选使用孔径为10μm以下的过滤器进行过滤。调制的光波导形成用感光性树脂清漆，优选在减压下进行脱泡。脱泡方法没有特别限制，例如，可以列举使用真空泵和钟形罩、带有真空装置的脱泡装置的方法。减压时的压力没有特别限制，优选树脂清漆中所含的有机溶剂不会沸腾的压力。此外，减压脱泡时间没有特别限制，优选为360分钟。如果为3分钟以上，则可以除去溶解在树脂清漆内的气泡，而如果为60分钟以下，则树脂清漆中所含的有机溶剂不挥发。以下，对本发明中所用的光波导形成用感光性树脂膜进行说明。本发明中所用的光波导形成用感光性树脂膜，可以通过将由所述光波导形成用感光性树脂组合物所形成的，含有所述(A)(C)的光波导形成用感光性树脂清漆涂布在适当的支持膜上，并除去溶剂而很容易地制造。此外，也可以将光波导形成用感光性树脂组合物直接涂布在支持膜上而制造。作为支持膜，没有特别限制，例如，可以列举聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯；聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃；聚碳酸酯、聚酰胺、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚醚酰亚胺、聚醚硫化物、聚醚砜、聚醚酮、聚苯醚、聚苯硫醚、聚芳酯、聚砜、液晶聚合物等。其中，从柔软性及韧性的观点考虑，优选聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯、聚丙烯、聚碳酸酯、聚酰胺、聚酰亚胺、聚酰胺酰亚胺、聚苯醚、聚苯硫醚、聚芳酯、聚砜。此外，从提高曝光用活性光线的透过率以及降低芯图案侧壁的皲裂的观点考虑，进一步优选使用高透明型的支持膜。作为这种高透明性的支持膜，可以列举东洋纺织株式IttfUit白勺cosmoshineA1517>cosmoshineA4100。另外，从提高和树脂层的剥离性的观点考虑，可以根据需要使用通过聚硅氧烷类化合物、含氟化合物等实施了脱模处理的膜。支持膜的厚度，可以根据目标柔软性适当改变，优选为3250μm。如果为3μπι以上，则膜强度充足，而如果为250μm以下，则可以得到足够的柔软性。由以上观点考虑，支持膜的厚度进一步优选为5200μm,并特别优选为7150μm。其中，用于芯部形成用感光性树脂膜的支持膜的厚度优选为550μπι。如果为5μm以上，则作为支持物的强度充足，而如果为50μm以下，则形成芯图案时，光掩模和芯部形成用感光性树脂组合物层的间隙不会变大，图像形成性良好。由以上观点考虑，用于芯部形成用感光性树脂膜的支持膜的厚度进一步优选为1040μm,并特别优选为1530μm0就通过在支持膜上涂布光波导形成用感光性树脂清漆或光波导形成用感光性树脂组合物而制造的感光性树脂膜来说，也可以根据需要在树脂层上粘贴保护膜，形成由支持膜、树脂层和保护膜所形成的3层结构。作为保护膜，没有特别限制，从柔软性和韧性的观点考虑，例如，可以适当列举聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等聚酯；聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃等。另外，从提高和树脂层的剥离性的观点考虑，可以根据需要使用通过聚硅氧烷类化合物、含氟化合物等实施了脱模处理的膜。保护膜的厚度，可以根据目标柔软性适当改变，优选为10250μm。如果为10μm以上，则膜强度充足，而如果为250μm以下，则可以得到足够的柔软性。由以上观点考虑，保护膜的厚度进一步优选为15200μm，特别优选为20150μm。对于本发明中所用的光波导形成用感光性树脂膜的树脂层的厚度，没有特别限制，但以干燥后的厚度计，通常优选为5500μm。如果为5μπι以上，则由于厚度足够，因而树脂膜或树脂膜固化物的强度充分，而如果为500μπι以下，则由于充分进行了干燥，因此树脂膜中的残留溶剂量不会增加，并在加热树脂膜固化物时，不会发泡。如此所得到的光波导形成用树脂膜，可以通过例如卷绕为卷轴状而很容易地保存。或者，还可以将卷轴状的膜切割为适当的尺寸，而形成片状进行保存。以下，对于通过本发明的制造方法所形成的光波导进行说明。就通过本发明的制造方法所形成的光波导而言，光传输损耗优选为0.3dB/cm以下。如果为0.3dB/cm以下，则光损失变小，传送信号的强度充足。从以上观点考虑，更优选0.2dB/cm以下。就通过本发明的制造方法所形成的光波导而言，在温度为85°C、湿度为85%的高温高湿放置试验实施1000小时后的光传输损耗优选为0.3dB/cm以下。如果为0.3dB/cm以下，则光损失变小，传送信号的强度充足。另外，所谓温度为85°C、湿度为85%的高温高湿放置试验，是指在按照JPCA规格(JPCA-PE02-05-01S)的条件下实施的高温高湿放置试验。就通过本发明的制造方法所形成的光波导而言，在温度为-55°C和125°C之间的温度循环试验实施1000个循环后的光传输损耗优选为0.3dB/cm以下。如果为0.3dB/cm以下，则光损失变小，传送信号的强度充足。另外，所谓温度为_55°C和125°C之间的温度循环试验，是指在按照JPCA规格(JPCA-PE02-05-01S)的条件下实施的温度循环试验。就通过本发明的制造方法所形成的光波导而言，在最高温度为265°C的回流试验实施3次后的光传输损耗优选为0.3dB/cm以下。如果为0.3dB/cm以下，则光损失变小，传送信号的强度充足，同时，由于通过回流步骤进行部件安装，因此适用范围广泛。另外，所谓最高温度为265°C的回流试验，是指在按照JEDEC规格(JEDECJESD22A113E)的条件下实施的无铅焊接回流试验。通过本发明的制造方法所形成的光波导，由于耐热性和透明性优异，因此可以用作光模件的光传输通路。作为光模件的形式，例如，可以列举在光波导的两端连接了光纤的带有光纤的光波导、在光波导的两端连接了连接器的带有连接器的光波导、将光波导和印刷线路板复合的光电复合基板、将光波导和使光信号与电信号相互转化的光/电转化元件组合起来的光电转化模件、将光波导和波长分割过滤器组合起来的波长合/分波器等。另外，在光电复合基板中，作为复合化的印刷线路板，没有特别限制，可以使用玻璃环氧基板等硬质基板、聚酰亚胺基板等挠性基板中的任一种。实施例以下，通过实施例更加具体地说明本发明，但本发明并不受到这些实施例的任何限制。制造例1[含羧基的碱可溶性(甲基)丙烯酸聚合物P-I的制作]在具有搅拌机、冷却管、气体导入管、滴入漏斗和温度计的烧瓶中，称量97质量份丙二醇单甲醚乙酸酯和24质量份乳酸甲酯，并一边导入氮气一边搅拌。使液温升至80°C，并用3小时滴入18质量份N-环己基马来酰亚胺、43质量份甲基丙烯酸二环戊烯酯、53质量份甲基丙烯酸-2-羟基乙酯、20质量份甲基丙烯酸、1质量份2，2’-偶氮二异丁腈、65质量份丙二醇单甲醚乙酸酯和16质量份乳酸甲酯的混合物，然后在80°C搅拌3小时，并进一步在120°C连续搅拌1小时，然后冷却至室温。接着，加入0.07质量份二丁基锡二月桂酸酯和0.2质量份对甲氧基苯酚，并一边导入空气一边搅拌。使液温升至60°C，用30分钟滴入31质量份2-甲基丙烯酰氧基乙基异氰酸酯和47质量份丙二醇单甲醚乙酸酯的混合物，然后在60°C连续搅拌4小时，得到(甲基)丙烯酸聚合物(P-1溶液(固体成分为40质量％))。[酸值的测定]测定P-I的酸值，结果为60mgK0H/g。另外，酸值是由中和P_1溶液所需的0.1mol/L氢氧化钾水溶液量所算出的。这时，将作为指示剂所添加的酚酞由无色变为粉色的点作为中和点。[重均分子量的测定]使用GPC(东曹株式会社制造，商品名SD-8022/DP-8020/RI-8020)测定P-I的重均分子量(标准聚苯乙烯换算)，结果为31，000。另外，色谱柱使用日立化成工业株式会社制造的商品GelpackGL-A150-S/GL-A160-S。制造例2[含羧基的碱可溶性(甲基)丙烯酸聚合物P-2的制作]在具有搅拌机、冷却管、气体导入管、滴入漏斗和温度计的烧瓶中，称量97质量份丙二醇单甲醚乙酸酯和24质量份乳酸甲酯，并一边导入氮气一边搅拌。使液温升至80°C，用3小时滴入18质量份N-环己基马来酰亚胺、43质量份甲基丙烯酸苄酯、53质量份甲基丙烯酸-2-羟基乙酯、20质量份甲基丙烯酸、1质量份2，2’-偶氮二异丁腈、65质量份丙二醇单甲醚乙酸酯和16质量份乳酸甲酯的混合物，然后在80°C搅拌3小时，并进一步在120°C连续搅拌1小时，得到(甲基)丙烯酸聚合物P-2溶液(固体成分为40质量％)。使用和制造例1同样的方法，测定P-2的酸值和重均分子量，结果分别为96mgK0H/g和29，000。制造例3[含羧基的碱可溶性(甲基)丙烯酸聚合物P-3的制作]在具有搅拌机、冷却管、气体导入管、滴入漏斗和温度计的烧瓶中，称量150质量份(固体成分为60质量份)上述P-2溶液(固体成分为40质量％)、0.04质量份二丁基锡二月桂酸酯、0.1质量份对甲氧基苯酚和21质量份丙二醇单甲醚乙酸酯，并一边导入空气一边搅拌。使液温升至60°C，用30分钟滴入14质量份2_甲基丙烯酰氧基乙基异氰酸酯，然后在60°C连续搅拌4小时，得到(甲基)丙烯酸聚合物P-3溶液(固体成分为40质量％)。使用和制造例1同样的方法，测定P-3的酸值和重均分子量，结果分别为58mgK0H/g和30，000。制造例4[含羧基的碱可溶性(甲基)丙烯酸聚合物P-4的制作]在具有搅拌机、冷却管、气体导入管、滴入漏斗和温度计的烧瓶中，称量60质量份丙二醇单甲醚乙酸酯和60质量份乳酸甲酯，并一边导入氮气一边搅拌。使液温升至80°C，用3小时滴入18质量份N-环己基马来酰亚胺、61质量份甲基丙烯酸苄酯、18质量份甲基丙烯酸-2-羟基乙酯、37质量份甲基丙烯酸、1质量份2，2’_偶氮二异丁腈、40质量份丙二醇单甲醚乙酸酯和40质量份乳酸甲酯的混合物，然后在80°C搅拌3小时，并进一步在120°C连续搅拌1小时，然后冷却至室温。接着，加入28质量份甲基丙烯酸缩水甘油酯、0.2质量份对甲氧基苯酚和43质量份丙二醇单甲醚乙酸酯，并一边导入空气一边搅拌。使液温升至80°C，并加入0.7质量份三苯膦，然后在80°C搅拌1小时，并进一步在100°C连续搅拌24小时，得到(甲基)丙烯酸聚合物P-4溶液(固体成分为40质量％)。使用和制造例1同样的方法，测定P-4的酸值和重均分子量，结果分别为SOmgKOH/g和31，000。制造例5[含羧基的碱可溶性(甲基)丙烯酸聚合物P-5的制作]在具有搅拌机、冷却管、气体导入管、滴入漏斗和温度计的烧瓶中，称量94质量份丙二醇单甲醚乙酸酯和40质量份乳酸甲酯，并一边导入氮气一边搅拌。使液温升至80°C，用3小时滴入20质量份N-环己基马来酰亚胺、76质量份甲基丙烯酸-2-乙基己酯、25质量份甲基丙烯酸-2-羟基乙酯、27质量份甲基丙烯酸、0.8质量份2，2’_偶氮二异丁腈、63质量份丙二醇单甲醚乙酸酯和27质量份乳酸甲酯的混合物，然后在80°C搅拌3小时，并进一步在120°C连续搅拌1小时，然后冷却至室温。接着，加入21质量份甲基丙烯酸缩水甘油酯、0.3质量份对甲氧基苯酚和32质量份丙二醇单甲醚乙酸酯，并一边导入空气一边搅拌。使液温升至80°C，并加入0.7质量份三苯膦，然后在80°C搅拌1小时，并进一步在100°C连续搅拌24小时，得到(甲基)丙烯酸聚合物P-5溶液(固体成分为40质量％)。使用和制造例1同样的方法，测定P-5的酸值和重均分子量，结果分别为56mgK0H/g和47，000。实施例1[芯部形成用感光性树脂清漆C0V-1的调制]在广口塑料瓶中称量作为(A)含羧基的碱可溶性(甲基)丙烯酸聚合物的150质量份(固体成分为60质量份)所述P-I溶液(固体成分为40质量％)、作为⑶聚合性化合物的20质量份乙氧化双酚A二丙烯酸酯(新中村化学工业株式会社制造，商品SA-BPE-IO)和20质量份对异丙苯基苯氧基乙基丙烯酸酯(新中村化学工业株式会社制造，商品名A-CMP-1E)，以及作为(C)聚合引发剂的1质量份1-[4-(2_羟基乙氧基)苯基]-2-羟基-2-甲基-1-丙烷-1-酮(汽巴精化株式会社制造，商品名IRGA⑶RE2959)和1质量份双(2，4，6_三甲基苯甲酰基)苯基膦氧化物(汽巴精化株式会社制造，商品名IRGA⑶RE819)，并使用搅拌机，在温度为25°C、转数为400rpm的条件下，搅拌6小时，调制芯部形成用感光性树脂清漆。然后，使用孔径2μm的聚四氟乙烯(fU7口>)过滤器(ADVANTEC东洋株式会社制造，商品名PF020)和孔径为0.5μm的膜过滤器(ADVANTEC东洋株式会社制造，商品名J050A)，在温度为25°C、压力为0.4MPa的条件下进行加压过滤。接着，使用真空泵和钟形罩，在减压度为50mmHg的条件下减压脱泡15分钟，得到芯部形成用感光性树脂清漆C0V-1。[芯部形成用感光性树脂膜C0F-1的制作]使用涂布机(株式会社平野(HiranoTecseed)”“”一K制造，多功能涂布机TM-MC)将所述芯部形成用感光性树脂清漆C0V-1涂布在聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(东洋纺织株式会社制造，商品名A1517，厚度为16μm)的非处理面上，并在100°C干燥20分钟，接着，粘贴脱模聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(帝人杜邦薄膜株式会社制造，商品名A31，厚度为25μπι)作为保护膜，得到芯部形成用感光性树脂膜C0F-1。这时，树脂层的厚度可以通过调节涂布机的间隙而任意调整，在本实施例中，固化后的膜厚调节为50μm。[包覆层形成用感光性树脂清漆CLV-I的调制]在广口塑料瓶中称量作为㈧含羧基的碱可溶性(甲基)丙烯酸聚合物的150质量份(固体成分为60质量份)所述P-I溶液(固体成分为40质量％)、作为⑶聚合性化合物的20质量份乙氧化异氰脲酸三丙烯酸酯(新中村化学工业株式会社制造，商品名A-9300)和20质量份乙氧化环己烷二甲醇二丙烯酸酯(新中村化学工业株式会社制造，商品名A-CHD-4E)，以及作为(C)聚合引发剂的1质量份1-[4-(2_羟基乙氧基)苯基]-2-羟基-2-甲基-1-丙烷-1-酮(汽巴精化株式会社制造，商品名IRGA⑶RE2959)和1质量份双(2，4，6_三甲基苯甲酰基)苯基膦氧化物(汽巴精化株式会社制造，商品名IRGA⑶RE819)，并使用搅拌机，在温度为25°C、转数为^OmirT1的条件下，搅拌6小时，调制包覆层形成用感光性树脂清漆。然后，使用孔径2μπι的聚四氟乙烯(polyflon)过滤器(ADVANTEC东洋株式会社制造，商品名PF020)和孔径为0.5μm的膜过滤器(ADVANTEC东洋株式会社制造，商品名J050A)，在温度为25°C、压力为0.4MPa的条件下进行加压过滤。接着，使用真空泵和钟形罩，在减压度为50mmHg的条件下减压脱泡15分钟，得到包覆层形成用感光性树脂清漆CLV-I。[包覆层形成用感光性树脂膜CLF-I的制作]使用涂布机(株式会社平野(HiranoTecseed)制造，多功能涂布机TM-MC)将所述包覆层形成用感光性树脂清漆CLV-I涂布在聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(东洋纺织株式会社制造，商品名A1517，厚度为16μm)的非处理面上，并在100°C干燥20分钟，接着，粘贴脱模聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(帝人杜邦薄膜株式会社制造，商品名A31，厚度为25μπι)作为保护膜，得到包覆层形成用感光性树脂膜CLF-I。这时，树脂层的厚度可以通过调节涂布机的间隙而任意调整，在本实施例中，固化后的膜厚调节为，下部包覆层形成用感光性树脂膜为30μm,上部包覆层形成用感光性树脂膜为80μm。[光波导的制作]使用辊轴层压机(日立化成TechnoPlant株式会社制造，商品名HLM-1500)，在压力为0.4MPa、温度为80°C、速度为0.4m/min的条件下，将除去了保护膜(A31)的下部包覆层形成用感光性树脂膜CLF-I层叠在FR-4基板(日立化成工业株式会社制造，商品名E-679FB)上。进一步，使用真空加压式层压机(株式会社名机制作所制造，商品名MVLP-500/600)，在压力为0.5MPa、温度为80°C以及加压时间为30秒的条件下进行压合。接着，使用紫外线曝光机(大日本网屏株式会社制造，商品名MAP-1200-L)，照射2000mJ/cm2紫外线(波长365nm)后，除去支持膜(A1517)，形成下部包覆层。接着，使用所述辊轴层压机，在压力为0.4MPa、温度为80°C、速度为0.4m/min的条件下，将除去了保护膜(A31)的芯部形成用感光性树脂膜C0F-1层叠在下部包覆层上。进一步，使用所述真空加压式层压机，在压力为0.5MPa、温度为80°C以及加压时间为30秒的条件下进行压合。接着，通过宽度为50μm的负光掩膜，并使用所述紫外线曝光机，照射200mJ/cm2紫外线(波长365nm)，曝光芯部(芯图案)。在80°C曝光5分钟后，进行加热，然后除去支持膜(A1517)，使用1质量％的碳酸钠水溶液进行显影。接着，使用0.3质量％的硫酸水溶液(PH=1)洗涤，并进一步使用纯水洗涤，然后在100°C加热干燥1小时。接着，使用所述真空加压式层压机，在压力为0.5MPa、温度为80°C以及加压时间为30秒的条件下，将除去了保护膜(A31)的上部包覆层形成用感光性树脂膜CLF-I层叠在芯图案和下部包覆层上。照射2000mJ/cm2紫外线(波长365nm)，并除去支持膜(A1517)，然后通过在130°C加热处理1小时，形成上部包覆层，得到带有玻璃环氧树脂基板的光波导。然后，使用切片机(株式会社DISC制造，商品名DAD-341)，切割波导长度为IOcm的光波导。实施例28禾Π比较例14按照表1所示的配合比，调制芯部形成用感光性树脂清漆C0V-24。并且，按照表2所示的配合比，调制包覆层形成用感光性树脂清漆CLV-24。使用和实施例1相同的方法，制作芯部形成用感光性树脂膜C0F-24和包覆层形成用感光性树脂膜CLF-24。除了使用这些光波导形成用感光性树脂膜，并使用表3所示的碱性显影液作为碱性显影液外，使用和实施例1相同的方法，制作光波导。光波导制作中所用的芯部形成用感光性树脂膜和包覆层形成用感光性树脂膜的组合以及光波导的制造方法示于表3。另外，在比较例14中，不进行显影后的酸洗涤而制作光波导。[表1]__配合成分COV~1COV-2COV-3COV-4P-1^ii.*1150(固体成分40质量(固体成分60)_____卩-2溶液*2150(A)(甲基)丙烯酸(固体成分40质量％)__(固体成分60)____聚合物(质量份)P-3溶液‘3150(固体成分40质量％)__(固体成分60)_」P-4溶液·4-150(固体成分40质量％)_____(固体成分60)A-BPE-IO'5__20____20__20(B)聚合性化合EA-0500*6__-___20__-一__—-物(质量份)A-CMP-IE*7__20__20___-_.__-A-40IP*8-2020(C)聚合引发剂IRGACURE2959*911__1____1(质量份)IRGACURE819*101__1__1__1·芯部形成用感光性树脂膜.__COF-ICOF-2COF-3COF-4*1通过制造例1所制作的(甲基)丙烯酸聚合物溶液*2通过制造例2所制作的(甲基)丙烯酸聚合物溶液*3通过制造例3所制作的(甲基)丙烯酸聚合物溶液*4通过制造例4所制作的(甲基)丙烯酸聚合物溶液*5乙氧化双酚A二丙烯酸酯(新中村化学工业株式会社制造)*6乙氧化芴型二丙烯酸酯(大阪气体化学株式会社制造)*7对异丙苯基苯氧基乙基丙烯酸酯(新中村化学工业株式会社制造)*8:2_羟基_3-(邻苯基苯氧基)丙基丙烯酸酯(新中村化学工业株式会社制造)*9[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-羟基-2-甲基丙烷酮(汽巴精化株式会社制造)*10双(2，4，6_三甲基苯甲酰基)苯基膦氧化物(汽巴精化株式会社制造)[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage21</column></row><table>*1通过制造例1所制作的(甲基)丙烯酸聚合物溶液*11通过制造例5所制作的(甲基)丙烯酸聚合物溶液*12乙氧化异氰脲酸三丙烯酸酯(新中村化学工业株式会社制造)*13氢化双酚A型环氧基丙烯酸酯(新中村化学工业株式会社制造)*14乙氧化环己烷二甲醇二丙烯酸酯(新中村化学工业株式会社制造)*15乙氧化异氰脲酸二丙烯酸酯(东亚合成株式会社制造):1-[4-(2_羟基乙氧基)苯基]_2_羟基_2_甲基丙烷酮(汽巴精化株式会社制造)*10双(2，4，6_三甲基苯甲酰基)苯基膦氧化物(汽巴精化株式会社制造)[表3]<table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>以下方法制作光波导。[光波导的制作]使用辊轴层压机(日立化成TechnoPlant株式会社制造，商品名HLM-1500)，在压力为0.4MPa、温度为80°C、速度为0.4m/min的条件下，将除去了保护膜(A31)的下部包覆层形成用感光性树脂膜CLF-I层叠在FR-4基板(日立化成工业株式会社制造，商品名E-679FB)上。进一步，使用真空加压式层压机(株式会社名机制作所制造，商品名MVLP-500/600)，在压力为0.5MPa、温度为80°C以及加压时间为30秒的条件下进行压合。接着，使用紫外线曝光机(大日本网屏株式会社制造，商品名MAP-1200-L)，照射2000mJ/cm2紫外线(波长365nm)后，除去支持膜(A1517)，形成下部包覆层。接着，使用所述辊轴层压机，在压力为0.4MPa、温度为80°C、速度为0.4m/min的条件下，将除去了保护膜(A31)的芯部形成用感光性树脂膜C0F-1层叠在下部包覆层上。进一步，使用所述真空加压式层压机，在压力为0.5MPa、温度为80°C以及加压时间为30秒的条件下进行压合。接着，通过宽度为50μm的负光掩膜，并使用所述紫外线曝光机，照射200mJ/cm2紫外线(波长365nm)，曝光芯部(芯图案)。在80°C曝光5分钟后，进行加热，然后除去支持膜(A1517)，使用含有硫酸镁的1质量％碳酸钠水溶液进行显影，其中硫酸镁的量是作为镁离子为100质量ppm。接着，使用含有硫酸镁的水进行洗涤，其中硫酸镁的量是作为镁离子为100质量ppm，然后进一步使用纯水洗涤，再在100°C加热干燥1小时。接着，使用所述真空加压式层压机，在压力为0.5MPa、温度为80°C以及加压时间为30秒的条件下，将除去了保护膜(A31)的上部包覆层形成用感光性树脂膜CLF-I层叠在芯图案和下部包覆层上。照射2000mJ/cm2紫外线(波长365nm)，并除去支持膜(A1517)，然后通过在130°C下加热处理1小时，形成上部包覆层，得到带有玻璃环氧树脂基板的光波导。然后，使用切片机(株式会社DISC制造，商品名DAD-341)，切割波导长度为IOcm的光波导。实施例1020和比较例58除了使用所述芯部形成用感光性树脂膜C0F-1和C0F-4，包覆层形成用树脂膜CLV-I和CLV-4，并使用表4所示的碱性显影液和洗涤液作为碱性显影液和洗涤液外，使用和实施例9相同的方法，制作光波导。光波导制作中所用的芯部形成用感光性树脂膜和包覆层形成用感光性树脂膜的组合以及光波导的制造方法示于表4。[表4]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage24</formula>^Sj^^Il垵烛爷雄砩&-&^1%1寸IddTJ88辎沒氣^I^^^妫^雄-fs-Bs^O/。一寸-SQ寸-dou.^制^^Il樓妫^幕^谜洪ITsuIIJ89￥■社“^^Il—挺缝关盔鸾。/a^ISo-IfcooF_H_______K__Il__X^^^^筆f趣缺娑雄B^fM%^Tdnu寸—dou宕军螭械JE________.___^_^____^~一Ε眾孕‘^Il姨姨^埭-fB-Ss^m%一寸ιπυ寸-do。61^~...^^该妫^雄-f-y。一^lsu寸-ao。^^^I~%I寸—§寸-J8^S^长,53Γ-WIST^^挺妫关雄4。/。一寸Iπο./寸Ifcoo,9双I^#奮樓姨关雄^-y。一寸lPHqu寸-dou..■51螺桄心..^I02取VKf铤妫乂-ef磁博。/UVso7Jou2？蝎垅中^SKfI丨！挺勉^霊鸾。/二^~TsuTfcouP为I^葉--^羣-fITsuI—do。H每螭垅光^~^^丨丨^舊馆I^i^^oT-HVsuTfcouIl军螭垅的_____^__^__I_____^__；__—_m^審博MM^凑妫4-srn/oT—ITsuιιδυO二φ€秘定OnI___________^50202铤妫^蓐镏博％1Vsu-1Su^JI8_____^__^___的长—^----^ss_慰波_1-^----^----输以I用使_-__11_-__-_4U2244Oi22Oo______FLS-300-01-VCL)作为光源，以及光接收感应器(株式会社ADVANTEST制造，商品名Q82214)、入射纤维(GI-50/125多模纤维，NA=0.20)和出射纤维(SI-114/125，NA=0.22)，并通过截断法(cutback)(测定波导长度为10、5、3、2cm)测定实施例120和比较例18中所得的光波导(波导长度为IOcm)的光传输损耗，并根据以下基准进行评价。〇0.3dB/cm以下X大于0.3dB/cm[高温高湿试验]使用高温高湿试验机(ESPEC株式会社制造，商品名PL-2KT)，并在按照JPCA规格(JPCA-PE02-05-01S)的条件下，对实施例120和比较例18中所得的光波导(波导长度为IOcm)实施1000小时温度为85°C、湿度为85%的高温高湿放置试验。使用和所述相同的光源、光接收感应器、入射纤维和出射纤维，测定高温高湿试验实施后的光波导的光传输损耗，并根据以下基准进行评价。〇0.3dB/cm以下X大于0.3dB/cm[温度循环试验]使用温度循环试验机(楠本化成株式会社制造，商品名ETACWINTECHNT1010)，并在按照JPCA规格(JPCA-PE02-05-01S)的条件下，对实施例120和比较例18中所得的光波导(波导长度为IOcm)实施1000循环的温度为-55°C和125°C之间的温度循环试验。详细的温度循环试验条件示于表5。[表5]____温度('C)__时间(min)步骤1-5515ι个循环周期-—------__步骤Σ125_15使用和所述相同的光源、光接收感应器、入射纤维和出射纤维，测定温度循环试验实施后的光波导的光传输损耗，并根据以下基准进行评价。〇0.3dB/cm以下X大于0.3dB/cm[回流试验]使用回流试验机(古河电气工业公司制造，商品名salamanderXNA-645PC)，并在按照IPC/JEDECJ-STD-020B的条件下实施3次最高温度为265°C的回流试验。详细的回流条件示于表6，回流炉内的温度曲线示于图1。[表6]<table>tableseeoriginaldocumentpage26</column></row><table>使用和所述相同的光源、光接收感应器、入射纤维和出射纤维，测定回流试验实施后的光波导的光传输损耗，并根据以下基准进行评价。〇0.3dB/cm以下X大于0.3dB/cm以上的光传输损耗的测定结果示于表7。<table>tableseeoriginaldocumentpage27</column></row><table>中和/或显影后未使用2价以上的金属离子处理而形成光波导，或者在显影后未进行酸洗涤所形成的光波导，其透明性和可靠性差。工业实用性通过使用本发明的制造方法，可以有效地将芯图案内残存的不稳定1价盐转变为稳定的2价以上的盐，或者可以有效地将其转变回酸性官能基，因此能够以高生产率得到透明性和可靠性优异的光波导。权利要求一种光波导的制造方法，其具有以下工序在基材上形成由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂层的工序，曝光所希望图案的工序，以及使用含有2价以上金属离子的碱性显影液进行显影的工序。2.一种光波导的制造方法，其具有以下工序在基材上形成由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂层的工序，曝光所希望图案的工序，使用碱性显影液进行显影的工序，以及使用含有2价以上金属离子的洗涤液或酸性水溶液进行洗涤的工序。3.如权利要求2所述的光波导的制造方法，其中，在所述显影工序的碱性显影液中含有2价以上的金属离子。4.如权利要求13任一项所述的光波导的制造方法，其中，所述2价以上的金属离子是镁离子和/或钙离子。5.如权利要求2所述的光波导的制造方法，其中，所述酸性水溶液是含有硫酸的水溶液。6.如权利要求2或5所述的光波导的制造方法，其中，所述酸性水溶液的pH为大于O且小于等于5。7.如权利要求16任一项所述的光波导的制造方法，其中，所述碱性显影液是碱性水溶液。8.如权利要求16任一项所述的光波导的制造方法，其中，所述碱性显影液是由碱性水溶液和1种以上的有机溶剂所形成的碱性准水系显影液。9.如权利要求18任一项所述的光波导的制造方法，其中，所述感光性树脂层是通过涂布感光性树脂组合物而形成的。10.如权利要求18任一项所述的光波导的制造方法，其中，所述感光性树脂层是层叠由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂膜而形成的。11.如权利要求110任一项所述的光波导的制造方法，其中，所述感光性树脂组合物是含有具有羧基和酚性羟基中至少一种基团的化合物的树脂组合物。12.如权利要求111任一项所述的光波导的制造方法，其中，所述感光性树脂组合物是含有(A)含羧基的碱可溶性聚合物、(B)聚合性化合物和(C)光聚合引发剂的树脂组合物。13.如权利要求12所述的光波导的制造方法，其中，(A)含羧基的碱可溶性聚合物是含羧基的碱可溶性(甲基)丙烯酸聚合物。14.由权利要求113任一项所述的制造方法所得到的光波导。15.如权利要求14所述的光波导，其光传输损耗为0.3dB/cm以下。16.如权利要求14或15所述的光波导，其在温度为85°C、湿度为85%的高温高湿放置试验实施1000小时后的光传输损耗为0.3dB/cm以下。17.如权利要求1416任一项所述的光波导，其在温度为-55°C和125°C之间的温度循环试验实施1000个循环后的光传输损耗为0.3dB/cm以下。18.如权利要求1417任一项所述的光波导，其在最高温度为265°C的回流试验实施3次后的光传输损耗为0.3dB/cm以下。全文摘要本发明提供一种光波导的制造方法，其具有以下工序在基材上形成由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂层的工序，曝光所希望图案的工序，以及使用含有2价以上金属离子的碱性显影液进行显影的工序；本发明还提供光波导的制造方法，其具有以下工序在基材上形成由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂层的工序，曝光所希望图案的工序，使用碱性显影液进行显影的工序，以及使用含有2价以上金属离子的洗涤液或酸性水溶液进行洗涤的工序。本发明还提供一种透明性和可靠性优异的光波导的制造方法以及通过该制造方法所制造的光波导。文档编号G02B6/12GK101802667SQ20088010730公开日2010年8月11日申请日期2008年9月18日优先权日2007年9月19日发明者山口正利,牧野龙也,高桥敦之申请人:日立化成工业株式会社