紫外线照射装置及紫外线照射处理装置的制作方法

专利名称：紫外线照射装置及紫外线照射处理装置的制作方法
技术领域：
本发明是涉及紫外线照射处理装置，尤其是涉及在半导体基板或液晶 基板等的制造工序中，使用被利用在半导体基板或液晶基板的洗净等的准 分子灯的紫外线照射装置及紫外线照射处理装置。
背景技术：
在最近的半导体基板或是液晶基板等的制造工序中，作为除去附着于 半导体基板的硅片或液晶基板的玻璃基板的表面的有机化合物等的污垢的 方法，使用紫外线的干式洗净方法被广泛地利用。尤其是在使用从准分子 灯所放射的真空紫外光的臭氧或活性氧气的洗净方法中，提案有更有效率 且在短时间洗净的各种洗净装置，例如，公知有如专利文献l。
图13是表示公开在同文献的现有的紫外线照射处理装置的结构。根据 现有的紫外线照射处理装置，在开放灯罩A的顶部，例如在不锈钢板形成 多个3mm间距的直径2mm的孔，并成为开口率40。％的多孔气体扩散板B 配置成与开放灯罩A的开放面平行。在支撑板C，在由该气体扩散板B所 区划的空间形成有连续的气体供给口 CA，而在支撑板C上从上方设有气 体供给导管D来覆盖上述气体供给口 CA。在该气体供给导管D，连接有 未图示的氮气供给源，成为将清净的氮气(非活性气体)经气体供给导管D 及气体供给口 CA供给于气体扩散板B上方的空间，而这些结构构成了气 体供给单元E。在运送室F内，构成运送机构G的多根运送机轴H为向与 工件W的运送方向正交的方向设置成旋转自如的状态，工件W载放于设 在这些各运送机轴H的多个运送滚子而被运送。另外，在运送室F的底部， 设有相连在未图示的排气装置的排气导管I，并作成可排出在内部与向运送 室F内供给的氮气一起所产生的臭氧等。
如图13的箭号所示，依照上述构成的紫外线照射处理装置，氮气体从 设于灯罩A内的气体扩散板B的微细孔向下方被吐出。被吐出的氮气体，是首先相撞于准分子灯J的平坦面，在这里向横方向改变流动，从准分子 灯的两侧部向工件W表面笔直地流动掉落。所以，从准分子灯J的周围一 直到工件W的紫外线照射空间X，以氮气的流动充满着全体，而被维持在 几乎不存在氧气的非活性气体环境。因此，从准分子灯J所放射的紫外光
是几乎不会被氧气所吸收而到达至紫外线照射空间x，工件w表面的紫外
线强度是与现有情况相比较会长足地变高。
专利文献l:日本特开2005-197291号。
可是，根据上述的现有的紫外线照射处理装置，为了快速地进行工件 W的处理，成为必须从准分子灯J的周围一直到准分子灯J与工件W之间 的紫外线空间X用氮气快速地充满的情形。然而，如图13所示，在现有紫 外线照射处理装置中，互相地邻接的多个准分子灯J配置成隔着规定间隔， 因而不得不增大开放灯罩A的内容积。所以，从配置于开放灯罩A的内部 的多个准分子灯J的周围一直到工件W的紫外线照射空间X以非活性气体 的流动来充满，而成为必须经气体供给导管D及气体供给口 CA供给大量 的非活性气体，并存在成本变高的这样的问题。另外，用于将大量的非活 性气体经气体扩散板B的微细孔因将非活性气体充满于准分子灯J的周围 需要长时间，而不得不降低工件W的运送速度，存在降低生产量的这样的 问题。
由此，在本发明中，其目的是提供可将非活性气体快速地充满于准分 子灯的周围的紫外线照射装置及具备紫外线照射装置的紫外线照射处理装置。

发明内容
本发明的紫外线照射装置，具有多个准分子灯，所述准分子灯在被 形成于放电容器内的密闭空间封入有放电气体，并且隔着该密闭空间在上 述放电容器的外表面形成有一对电极；灯罩，包围该多个准分子灯且垂直 方向的一个方向开口；及气体供给机构，用于将非活性气体供给给该灯罩 的内部，该紫外线照射装置其特征为在上述灯罩内，空间封闭体被配置 由上述准分子灯所占有的空间以外的空间。
另外，本发明的紫外线照射装置，其特征为是在互相邻接的上述准分子灯之间配置有上述空间封闭体，而该空间封闭体的基端部被固定于上 述灯罩的顶部。
本发明的紫外线照射装置，是在近年来，被要求对于大面积的被处理 体照射紫外线，因此，就必须增加被收容于灯罩内的准分子灯的发光长度。 例如， 一边运送被处理体一边对于被处理体照射紫外线时，准分子灯的发 光长度必须作成对于被处理体的运送方向正交的方向的全长度还要长。
增长准分子灯的发光长度，则必须增长构成发光管的合成石英玻璃管 的长度。要增长准分子灯1支的全长度，如下所述，存在合成石英玻璃管 的制造上的问题、或是准分子灯设置上的问题，因而较困难。
所谓合成石英玻璃管的制造上的问题，为将要制作全长度较长的合成 石英玻璃管，则会变形弯曲，而很难加工成特性稳定的灯。另外，随着合 成石英玻璃管的全长度变长，不易于运送(作业性)，而会伤及合成石英玻 璃管，会成为高成本的灯。
所谓准分子灯的设置上的问题，是指将全长度长的准分子灯设在灯罩 时，使得准分子灯翘曲而准分子灯的中心部接近于工件，会发生紫外线放 射的参差不齐而产生基板的处理参差不齐，或者进一步翘曲时，则准分子 灯接触于工件而摩擦工件表面而对于工件有带来机械性损坏的问题。
所以，如图4所示，准备其全长比被处理体的运送方向正交的方向的
全长度还要短的准分子灯1A、 1B，形成各个准分子灯1A、 1B的发光区域 SA、 SB重叠的区域Q，由此，通常来进行着增长发光长度。然而，如图4 所示，与全长较短的准分子灯相比较，则在各个准分子灯1A、 1B的中心 轴方向形成有多余的空间。
因此，为了减少形成于上述的准分子灯1A、 1B的中心轴方向的多余 空间，本发明的紫外线照射装置其特征为是上述空间封闭体配置在上述 准分子灯的中心轴上，而互相地邻接的上述准分子灯的各个发光区域，重 叠在对于上述准分子灯的中心轴正交的假想直线上。
另外，上述紫外线照射装置其特征为是具有用于将上述准分子灯固
定在上述灯罩内的支撑体，且对于该支撑体固定有上述准分子灯与上述空 间封闭体的双方。
另外，本发明的紫外线照射处理装置，其特征为具备上述紫外线照射装置，而且具有向上述准分子灯的中心轴正交的方向运送被处理体的运 送机构。
依照本发明的紫外线照射装置，在灯罩内，空间封闭体被配置于由准 分子灯所占有的空间以外的空间，因此准分子灯的周围空间的容积变少。 从而，即使不将多量非活性气体供给于灯罩内也可将准分子灯的周围作成 非活性气体气氛，而可减少供给非活性气体所必需的成本。另外，如上所 述，通过减小准分子灯的周围空间的容积，可将准分子灯的周围快速地作 成非活性气体气氛，因此可提升生产量。
另外，在本发明的紫外线照射装置中，在互相邻接的上述准分子灯之 间配置有上述空间封闭体，而该空间封闭体的基端部被固定于上述灯罩的 顶部，因此可将空间封闭体确实地固定在灯罩的内部。
另外，在本发明的紫外线照射装置中，上述空间封闭体被配置于上述 准分子灯的中心轴上，而互相地邻接的上述准分子灯的各个发光区域，重 叠在对于上述准分子灯的中心轴正交的假想直线上，因此在使用全长较短 的准分子灯时，由空间封闭体来封闭被形成于准分子灯的中心轴方向的空 间，在灯罩的内部可减小准分子灯的周围空间的容积，而且可将紫外线确 实地照射在大面积的被处理体。
另外，根据本发明的紫外线照射装置，具备用以将上述准分子灯固定 在上述灯罩的支撑体，且对于该支撑体固定有上述准分子灯与上述空间封 闭体的双方，因此对于其运送方向的宽度不相同的多种被处理体使用共同 的灯罩来进行紫外线照射处理时，可减低供给非活性气体所必需的成本， 而且可将准分子灯的周围快速地作成非活性气体气氛。
另外，根据本发明的紫外线照射处理装置，具备对准分子灯的中心轴 朝正交的方向运送被处理体的运送机构，因此可减少被处理体的紫外线照 射处理上所必需的准分子灯的支数。


图1是表示本发明的紫外线照射装置的结构的截面图。
图2(a)及图2(b)是表示准分子灯的结构的截面图。 图3是表示从垂直方向观看紫外线照射装置时的图。图4是概念地表示准分子灯，空间封闭体及被处理体的配置的图。
图5是表示空间封闭体的结构的图。
图6是概念地表示比较例的紫外线照射装置的图。
图7是表示本发明的紫外线照射装置的第2实施方式的结构的截面图。
图8是表示从垂直方向观看在图7示出的紫外线照射装置时的图。
图9是表示本发明的紫外线照射装置的第3实施方式的结构的截面图。
图10是表示从斜上方观看紫外线照射装置的一部分时的立体图。
图11是用于说明准分子灯的支撑体的结构的图。
图12是用于说明间点亮灯的立体图。
图13是表示现有的紫外线照射处理装置的结构的截面图。
主要元件符号说明 1:准分子灯
2:空间封闭体
3-气体供给机构 5:灯罩
6:运送机构
7:支撑体
20:空间封闭体
W:被处理体
1B:准分子灯
1D:准分子灯
2A、 2C:空间封闭体
3B、 3D、 3F、 3H:气体供给机构
5:灯罩
6:运送机构
31B、 31D、 31F、 31H:开口
51:开口 52:顶部 61:多个滚子100:紫外线照射装置
具体实施方式
(第1实施方式)
以下，针对于本发明的紫外线照射装置的第1实施方式使用图1至图5
进行说明。图1是表示本发明的紫外线照射装置的结构的截面图。图2是 表示准分子灯的结构的截面图。图2(a)表示向中心轴方向切断准分子灯的 截面图。图2(b)是表示向与中心轴正交的方向切断准分子灯的截面图。图3 是表示从垂直方向观看本发明的紫外线照射装置时的图。图4是概念性地 表示准分子灯，空间封闭体及被处理体的配置的图。图5是表示空间封闭 体的结构的图。
紫外线照射装置100是在垂直方向的下方侧具有开口 51的金属制筐体 构成的灯罩5的内部，互相地隔着平行地配置有多个准分子灯1，并且在灯 罩5的顶部52设有用于供给氮气等的非活性气体的气体供给管3，如下所 述地配置有互相地邻接的准分子灯I(IB， 1D)与块状的空间封闭体2(2A， 2C)，各个的准分子灯1为了将与被处理体W的距离作成均等，使各个光 出射面配置于同一平面上。在紫外线照射装置100垂直方向的下方，设有 具有用于将液晶基板、半导体基板等的被处理体W朝向图1中的箭号方向 运送的多个滚子61的运送机构6。另外，在下面将具有紫外线照射装置与 运送机构的两者作为紫外线照射处理装置。
如图2所示，准分子灯1是由介质材料的硅玻璃构成，具有在四角部 圆的扁平的方筒形状的放电容器10。在形成于放电容器10的内部的密闭空 间S，例如氙气等的稀有气体，或是将氯气等的卤素气体混合于稀有气体 作为放电气体来充填。根据放电气体的种类而产生不相同波长的准分子光。 放电气体一般是以约10 100KPa的压力被填充。
如图2所示，放电容器10，位于纸面的上方侧的平坦壁11与位于纸面 的下方侧的平坦壁12为互相地隔开而平行地伸展，而且位于纸面的左边的 平坦壁13与位于纸面的右边的平坦壁14为互相地隔开而平行地伸展，这 些平坦壁11至14的各个端部由弯曲部15而连结。此种放电容器10是位 于纸面上下的平坦壁11、 12的任一个形成向被处理体W出射紫外线所用的光出射面，例如在将被处理体W配置于放电容器10下方时，平坦壁12 成为光出射面。
在平坦壁ll、 12，分别配置有电极17、 18。电极17、 18例如是将金、 银、铜、镍、铬等的耐蚀性金属通过进行印刷或蒸镀在平坦壁ll， 12上， 例如厚度形成成为0.1um 数10nm，覆盖着平坦壁11， 12的宽度方向 的大约全区域。位于下方的电极18，在平坦壁12成为光出射面时，将上述 金属通过进行印刷或蒸镀成为格子状并形成具有透光性。发光区域SA是 如图2(a)中以虚线所示，放电容器10内的密闭空间S中以电极17、 18所 夹着的区域。
如图l、 2所示，在对于被处理体W较远一边的平坦壁ll的内面lla， 形成有例如硅(silica)粒子与氧化铝粒子所成的紫外线反射膜16。在图2 所示的例子中，紫外线反射膜16延伸至连续于平坦壁11的两端的弯曲部 15及平坦壁12 14的内面。紫外线反射膜16是硅粒子的质量含有比率为 30 99%，而优选氧化铝粒子的质量含有比率为1 70%。
使用图3，针对于本发明的紫外线照射装置进行详细地说明。
在灯罩5内，多个(图3所示的例子为4个)的准分子灯1A 1D，及与 准分子灯1A 1D相同个数的空间封闭体2A 2D为各个空间封闭体2A 2D位于各个准分子灯1A 1D的中心轴X上，并且在与准分子灯1A 1D 的中心轴X正交方向上准分子灯1A 1D与空间封闭体2A 2D具体如下 地配置成交互地排列。
准分子灯1A与1B配置为位于灯罩5的侧壁附近的准分子灯1A的 一端是超过延伸邻接于该准分子灯1A的准分子灯1B的另一端延伸，而未 超过准分子灯1B的一端。准分子灯1A的发光区域SA与准分子灯1B的 发光区域SB互相重叠在图3中以Q所示的区域。在准分子灯1A的一端侧， 形成有由该准分子灯1A未占有的空间，而在该空间配置有空间封闭体2A。
准分子灯1B与1C配置为准分子灯1B的另一端超过延伸邻接于该 准分子灯1B的准分子灯1C的一端，而未超过准分子灯1C的另一端。准 分子灯1B的发光区域SB与准分子灯1C的发光区域SC重叠在图3中以Q 所示的区域。在准分子灯1B的另一端侧，形成有由该准分子灯1B未占有 的空间，而在该空间配置有空间封闭体2B。准分子灯1C与ID配置为准分子灯1C的一端超过延伸邻接于该准
分子灯1C的准分子灯ID的另一端，而未超过准分子灯ID的一端。准分 子灯1C的发光区域SC与准分子灯ID的发光区域SD互相重叠在图3中 以Q所示的区域。在准分子灯1C的一端侧，形成有由该准分子灯1C未占 有的空间，而在该空间配置有空间封闭体2C。在位于灯罩5的侧壁附近的 准分子灯1D的另一端侧，形成有由该准分子灯1D未占有的空间，而在该 空间配置有空间封闭体2D。
如此地，如图3、图4所示，在紫外线照射装置100中，各个准分子灯 1A 1D，是各个中心轴X排列于与被处理体W的运送方向正交的方向， 并且互相地邻接的准分子灯1A 1D的各个发光区域SA SD，重叠在对于 准分子灯1A 1D的各个中心轴正交的假想直线K上来进行配置。由此， 如第4图所示，即使对于被处理体W的运送方向正交的方向的全长度与各 个准分子灯1A 1D的全长度相比较还长，也由从准分子灯1A 1D所放 射的紫外线被照射在对于被处理体W的运送方向正交的方向整个全长度， 可确实地进行被处理体W的表面处理，而且对应于被处理体W全长度不 必制作全长度较长的准分子灯，因而具有将准分子制造灯变得简单这样的 优点。
如图1、图3所示，在各个准分子灯1A 1D的垂直方向的上方，配置 有用以将非活性气体供给于该准分子灯1A 1D的周围的气体供给机构 3A 3H。各个气体供给机构3A 3H，是由截面呈方筒的管状构件所构成 而用于吹出非活性气体的多个开口 31A 31H，互相地隔开而依次排列形成 于气体供给机构3A 3H的长度方向，而可从各个开口 31A 31H均等地 吹出非活性气体。非活性气体是为了避免由存在于灯罩5内的氧气吸收从 准分子灯1A 1D所放射的紫外光而供给的，例如优选使用氮气等。
针对于空间封闭体2A 2D的构成说明如下。为了方便，仅对空间封 闭体2A的结构进行说明，但对于空间封闭体2B 2D也是与空间封闭体 2A相同的结构。
如图5所示，空间封闭体2A是由被安装于灯罩5的顶部52的棒状 体21A、覆盖该棒状体周围的有底筒状体22A、及固定该棒状体21A与该 有底筒状体22A的固定构件23A所构成。棒状体21A是基端侧被固定于灯罩5的顶部52，而在位于靠近被处理体W的前端侧形成有有底螺孔211A。 有底筒状体22A是抵接于顶部52的基端侧被开放，并且在底板部221A的 中央形成有用以插通固定构件23A的开口 222A。固定构件23A是由被螺 合于棒状体21A的螺孔211A的棒状螺旋部231A，及连续于该螺旋部231A 而领环状地扩展的凸缘部232A来构成。
空间封闭体2A 2D，是如下地来制作。由有底筒状体22A覆盖棒状 体21A的周围，而且将有底筒状体22A的基端部抵接于灯罩5的内面来进 行配置，从有底筒状体22A的开口 222A插通着固定构件23A的螺旋部 231A， 一直到固定构件23A的凸缘部232A抵接于有底筒状体22A的前端 部为止，对于棒状体21A的螺旋孔211A通过螺合螺旋部231A来形成。另 外，空间封闭体2A的形状是并未特别加以限制，但在灯罩5内部，为了减 少准分子灯未占有的区域的容积，优选具有长方体形状。另外，有底筒状 体及固定构件是露出于灯罩5内的空间，因而优选利用耐紫外光，耐臭氧 性上优异的物质来构成，例如SUS，在铝板施以防蚀铝处理，由陶瓷等来 构成。
在本发明的紫外线照射装置中，优选各个空间封闭体2A 2D的前端 面(有底筒状体的前端面)，配置于比包含各个准分子灯1A 1D的光出射面 的平面还要靠近被处理体W，且比位于灯罩5的垂直方向的下方侧的前端 面的平面还要靠近垂直方向的上方。由此，在灯罩5的内部空间，可减小 由各个准分子灯1A 1D所占有的空间以外的空间的容积，而且，对于各 个空间封闭体2A 2D不会有被处理体W相撞的顾虑。
依照如上的本发明的紫外线照射装置，如图1、图3所示，在灯罩5 的内部由准分子灯1A 1D所占有的空间以外的空间配置有空间封闭体， 因而在灯罩5内的多余的空间的容积变小。因此，通过供给少量的非活性 气体就可将灯罩5的内部空间作成非活性气体气氛，因而可削减供给非活 性气体所需的成本，而且对于灯罩5的内部空间可快速地充满非活性气体。
尤其是，如图1所示，在具备运送机构的紫外线照射处理装置中，为 了提升生产量，考虑运送完成处理的被处理体W之后把灯罩5内的气氛成 为空气气氛，而被处理体位于灯罩5的开口 51的正下方时，必须将灯罩5 内的气氛快速地作成非活性气体气氛。因此，如本发明，在灯罩5的内部，减小由准分子灯l所占有的空间以外的空间，由此，当被处理体w位于灯 罩5的开口 51的正下方时，可将非活性气体快速地充满于灯罩5内，因而 与比较例涉及的紫外线照射装置相比较生产量会显著地提高。
对此，在如图6所示的比较例的紫外线照射装置中，在灯罩5的内部， 由准分子灯1A 1D所占有的空间以外的空间TA TD未配置空间封闭体， 因而若未将多量的非活性气体供给于灯罩5内的空间，则无法将灯罩5内 的空间作成非活性气体气氛，并会把成本变高，另外，将非活性气体充满 在灯罩5内的空间需要较久时间，因而会降低生产量。
(第2实施方式)
以下，对于紫外线照射装置的第2实施方式使用图7至图8进行说明。 该实施方式是优选适用于对于被处理体的运送方向正交的方向的全长度较 短的情形。图7是表示本发明的紫外线照射装置的第2实施方式的结构的 截面图。图8是表示从垂直方向观看图7所示的紫外线照射装置时的图。 在图7、图8中，在与图1至图5相同的部位给予与图1至图5相同的符号。
紫外线照射装置200,在垂直方向的下方侧具有开口的金属制筐体所成 的灯罩5的内部，互相隔离而平行地配置有多个准分子灯1A 1C，而且在 灯罩5的顶部52设有用以供给氮气等非活性气体的气体供给管3A 3F， 而在互相邻接的准分子灯之间配置有块状的空间封闭体2A， 2B。各个准分 子灯1A 1C为了使与被处理体的距离作成均等，而将各个光出射面配置 在同一平面上。
空间封闭体2A 2B是作成与图5相同，被固定在灯罩5的顶部52， 而优选各个空间封闭体2A 2B的前端面(有底筒状体的前端面)，为比包含 各个准分子灯1A 1C的光出射面的平面还靠近被处理体，且配置于比包 含位于灯罩5的垂直方向的下方侧的前端面的平面还要靠近垂直方向的上 方。
如图8所示，在本发明的紫外线照射装置中，多个准分子灯1A 1C 以等间隔互相地隔开并使各个中心轴平行地排列来进行配置。在各个准分 子灯1A 1C的垂直方向的上方，配置有用于向该准分子灯1A 1C的周 围供给非活性气体的气体供给机构3A 3F。如图7、图8所示，空间封闭体2A 2B是被配置于不可避免地存在于 互相地邻接的准分子灯1A 1C之间的、由准分子灯1A 1C所占有的空 间以外的空间。如此，在本发明的紫外线照射装置的第2实施方式中，在 与各个准分子灯1A 1C的中心轴正交的方向，各个准分子灯1A 1C与 各个空间封闭体2A 2B被交互地排列配置。
艮P，在紫外线照射装置200中，无法确保与馈电侧电极的绝缘距离， 因而无法极端地接近各个准分子灯1A 1C，而在互相地邻接的各个准分子 灯1A 1C之间不可避免地形成有空间。这样，通过将空间封闭体2A 2B 配置于不可避免地形成于互相地邻接的准分子灯1A 1C之间的空间，与 上述的本发明的紫外线照射装置的第1实施方式相同，可减小在灯罩5内 部中由准分子灯1A 1C所占有的空间以外的空间的容积，从而，通过供 给少量的非活性气体，就可将灯罩5的内部空间作成非活性气体气氛，因 而可削减供给非活性气体所需的成本，并且可对于灯罩5的内部空间快速 地充满非活性气体。
(第3实施方式)
以下，针对于本发明的紫外线照射装置的第3实施方式使用图9至图 11进行说明。图9是表示紫外线照射装置的截面图。图10是表示从斜上方 观看紫外线照射装置的一部分时的立体图。图9、图10中，在与图l至图 5共同的部位给予与图1至图5同一符号。图11是用于对准分子灯的支撑 体的结构进行说明的图。图12是表示用于对间点亮灯进行说明的立体图。
在紫外线照射装置300中，灯罩5的规格被统一成多种，不管被处理 体W的大小，当处理多种的被处理体W时， 一般进行共同使用灯罩5，灯 罩5的大小及在该灯罩5内容纳的准分子灯1的个数，是多种的被处理体 W中对应于运送方向的宽度最大的来决定。因此，被处理体W的运送方向 的宽度与该方向的灯罩的宽度相比较还要小时，则从支撑体7拆下几个准 分子灯l，来进行所谓的间点亮灯(間引含点灯)。
如图12所示，间点亮灯是在位于准分子灯1C的右方侧的支撑体7D、 7E作成准分子灯1未被支撑的状态，并且如图10所示，通过将具有与各 准分子灯1大约相同体积的空间封闭体20A、 20B分别固定在支撑体7D、7E来进行。本发明的紫外线照射装置的第3实施方式，是在进行这样的间 点亮灯时特别有效。
在图9、图IO所示的紫外线照射装置，是在垂直方向的下方侧具有开 口 51的金属制筐体构成的灯罩5内部，多个准分子灯1A 1C互相地隔离 成为平行而分别固定于支撑体7A 7C，并且在灯罩5的顶部52设有用以 供给氮气等的非活性气体的气体供给管3A 3F。在图10的纸面位于准分 子灯1C的右边侧，块状空间封闭体20A， 20B与准分子灯1A 1C平行来 分别固定在支撑体7D， 7E。各个准分子灯1A 1C，是为了将与被处理体 W的距离作成均等，而使各个光出射面被配置于同一平面上。
空间封闭体20A， 20B是具有与准分子灯l相同体积，例如是金属、木 材等构成的棒状构件。如图10所示，准分子灯1A 1C与空间封闭体20A、 20B不必分别配置于不相同的区域。例如，准分子灯1A 1C与空间封闭 体20A， 20B也可以在图10的纸面中从左边开始以准分子灯1A、空间封 闭体20A、准分子灯1B、空间封闭体20B、准分子灯1C的顺序配置。
如图11所示，支撑体7A是具有第1保持构件71A，被安装在准分 子灯1A的一端部10A;及第2保持构件72A，被安装在准分子灯1A的另 一端部IOB。第1保持构件71A是通过具备与准分子灯1A的管轴平行地 延伸的固定部711A，及连续于固定部711A而朝向于固定部711A正交的 方向延伸的突出部712A，而使得断面形成L形状，而在固定部711A的前 端面713A，形成有用于插入准分子灯1A的一端部的有底孔714A。
第2保持构件72A是由柱部722A， 723A， 724A而连续形成为断面-形，而由围绕准分子灯1A的另一端部来配置的框体部721A，及以柱部724A 作为中心而成为旋转自如地被连结于框体部721A的推压部725A所构成。 推压部725A是由被连结于柱部724A的端部的基体部726A，及连续于该 基体部726A的垂直方向所延伸的突出部727A所形成，而断面形成C形状 的板簧728A被固定于突出部727A。
准分子灯1A是对于上述的支撑体7，被如下地固定。将准分子灯1A 的一端部IOA，插入于被设置在第1保持构件71A的有底孔714A之后， 由框体部721A围绕准分子灯1A的另一端部10B的周围来配置第2保持构 件72A,并且向柱部724A的周方向旋转推压部725A并由板簧728A来推压准分子灯1A的另一端部10B的端面。推压部725A是通过将在柱部722A 的端部形成的突起部(未图示)卡合于设在基体部726A的切除部(未图示)， 被控制着向周方向的旋转，并固定在框体部721A。准分子灯1A是由板簧 728A所发生的相斥力而被推向有底孔714A的底部，进而，有底孔714A 及框体部721A的宽度与准分子1A的宽度大致相等，由此，可靠地控制着 向管轴方向及管轴正交方向移动。
另外，支撑体7B 7E是具有与上述的支撑体7A相同的结构，如上所 述，分别固定有准分子灯1B、 1C，以及空间封闭体20A、 20B。
紫外线照射装置中，有在支撑体7A 7E全部分别固定有准分子灯1A 1E的状态下对被处理体W照射紫外线而实施被处理体W的处理的情形， 及从支撑体7A 7E中的任一个拆下准分子灯1A 1E的任一个的状态下对 被处理体W照射紫外线来实施被处理体W的处理的情形。在后者的情形， 如图10所示，根据本发明的紫外线照射装置300，对于未设置有准分子灯 1的支撑体7D、 7E固定有空间封闭体20A、 20B，因此可减少灯罩5内部 的多余空间。从而，根据紫外线照射装置300，能够与上述的第1实施方式 的紫外线照射装置100、 200相同，以少量的非活性气体就可将灯罩5的内 部空间作成非活性气体气氛，因此可削减供给非活性气体所需要的成本。
权利要求
1.一种紫外线照射装置，其具有多个准分子灯，所述准分子灯是在放电容器内形成的密闭空间中封入放电气体，并且隔着该密闭空间在上述放电容器的外表面形成有一对电极；灯罩，包围该多个准分子灯并在垂直方向的一个方向开口；及气体供给机构，用于将非活性气体供给该灯罩的内部，该紫外线照射装置其特征为在上述灯罩内，空间封闭体被配置于由上述准分子灯所占有的空间以外的空间。
2. 如权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于，在互相邻接的上述准分子灯之间配置有上述空间封闭体，而该空间封 闭体的基端部被固定于上述灯罩的顶部。
3. 如权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于， 上述空间封闭体被配置于上述准分子灯的中心轴上，而互相地邻接的上述准分子灯的各个发光区域，重叠在与上述准分子灯的中心轴正交的假 想直线上。
4. 如权利要求1所述的紫外线照射装置，其特征在于， 上述紫外线照射装置是具有用于将上述准分子灯固定在上述灯罩内的支撑体，并对于该支撑体固定有上述准分子灯与上述空间封闭体的两者。
5. —种紫外线照射处理装置，其特征在于，具有如权利要求1至4中任一项所述的紫外线照射装置，并且具有向 与上述准分子灯的中心轴正交的方向运送被处理体的运送机构。
全文摘要
本发明的目的是提供可将非活性气体快速地充满于准分子灯的周围的紫外线照射装置。本发明的紫外线照射装置，具有多个准分子灯，所述准分子灯在放电容器内形成的密闭空间中封入有放电气体，并且隔着该密闭空间在上述放电容器的外表面形成有一对电极；灯罩，包围该多个准分子灯且垂直方向的一个方向被开口，及气体供给机构，用来将非活性气体供给给该灯罩的内部。其特征为在上述灯罩内，空间封闭体被配置于由上述准分子灯所占有的空间以外的空间。
文档编号G03F1/82GK101527255SQ200910004700
公开日2009年9月9日 申请日期2009年3月6日 优先权日2008年3月6日
发明者石原肇, 菅敏幸, 远藤真一 申请人:优志旺电机株式会社