专利名称：导线图案以及监控膜材贴附偏差的方法
技术领域：
本发明涉及一种接垫区的导线图案与一种监控膜材贴附偏差的方法，尤指一种可 用来当作监控膜材贴附偏差的参考基准的接垫区导线图案及其监控贴附偏差的方法。
背景技术：
一般液晶显示面板(liquid crystal display，LCD)的制程，是先分别制作一数组 基板与一彩色滤光片基板，其中该数组基板的制作方式是包括数道薄膜沉积、微影及蚀刻 等半导体制程，以制作出薄膜晶体管数组，而彩色滤光片基板则是在基板上制作出对应于 薄膜晶体管而呈数组排列的彩色滤光片。当数组基板与彩色滤光片基板分别制作完成后， 再进行相互贴合及切割裂片。请参考图1，图1为一习知IXD面板10的示意图，其包含一彩色滤光片基板12以 及一数组基板14，其中彩色滤光片基板12较小于数组基板14，因此彩色滤光片基板12会 暴露出部分的数组基板14，数组基板14没有被彩色滤光片基板12覆盖的部分通常称为非 显示区16。非显示区16内设置有复数个端子部(terminal)，用来将IXD面板10内部如扫 瞄线或讯号线的导线电连接于外部的控制电路。请参考图2，图2为习知IXD面板10的一 端子部20的部分示意图。一般而言，端子部20包含一开口部22与一引线部24，其中开口 部22的主要功能为传递外部控制讯号给LCD面板10的内部导线。因此，在完成LCD面板 10的制作后，通常会将如印刷电路板(printing wire board, PffB)的膜材贴附在非显示区 16上，利用膜材上的导线图案电连接于开口部22以传递外部讯号。如图3所示，当膜材(图 未示)被贴附于非显示区16时，膜材表面的传导图案26应对准覆盖于端子部20的中央部 分，使得传导图案26距离开口部22两侧的距离dl、d2皆相等。然而，在贴附膜材的过程中，难免会因为机台对位等因素而造成贴附位置上的偏 差，如图4所示，由于发生了膜材贴附偏差，因此膜材上的传导图案26向右偏移，使得传导 图案26与开口部22的左侧距离dl较大于传导图案26与开口部22的右侧距离d2。由上 可知，由于现行贴附膜材的技术无法有效避免贴附偏差的问题，所以在生产线上必须针对 膜材的贴附偏差进行监控量测。现行检测膜材贴附偏差的方法主要有三种，其一是使用包 含电荷耦合装置(charge coupled device，(XD)传感器的量测仪器来进行量测，检测员必 须利用C⑶传感器来搜寻非显示区16内是否发生膜材贴附偏差的问题，然后再透过C⑶传 感器本身的刻度尺计算膜材的偏移量。然而此种量测方式的缺点包括必须将LCD面板10 特别传送到具有量测仪器的机台上才能进行量测，且检测员必须使用CCD传感器来搜寻量 测标的的位置，有可能搜寻不到且耗费时间。再者，量测仪器也必须具有一定的规格要求， 例如需内建量测程序与具有量测刻度。此外，此种量测方式亦可能会有精确度的疑虑。第二种习知量测膜材贴附偏差的方法是检测员直接以量测工具量测端子部20与 贴附膜材后传导图案26的贴附偏差值，经由量测传导图案26与开口部22的左侧距离dl 与右侧距离d2可得知是否发生膜材贴附偏差、向右或向左偏差了多少距离。然而，此种量 测方式的缺点包括量测程序麻烦费时且精确度不足。
另一方面，第三种习知量测膜材贴附偏差的方法是利用偏移量测标记来量测膜材 发生多少距离的偏差。首先在数组基板14以曝光成像的方式形成偏移量测标记30，如图5 所示，偏移量测标记30包含三个次标记30a、30b、30c，分别为一顶角朝上的三角图案，并在 膜材上形成具有反三角图案的偏移量测标记32。当膜材被贴附在端子部20上而没有发生 偏差时(如图5左侧端子部20和传导图案26的相对关系)，则膜材上的偏移量测标记32下 方的顶角会刚好对正于偏移量测标记30的中心，亦即对准于中间的次标记30b的顶角。请 参考图6，图6则显示出当膜材发生贴附偏差时的情形，如图6左侧所示，所贴附的膜材向 右偏移了一些距离，此时膜材上的偏移量测标记32刚好对应到次标记30c的顶脚，因此可 知道膜材向右偏移了 3微米(micr0meter，Um)。然而，利用此种方式量测膜材偏移量的方法 仍有其缺点由于受限于曝光机台的成像能力，因此无法形成小于3微米的图案，而且三角 图案的尖角部分也无法完全的成像，可能会接近圆角图案，影响到量测偏移量的精确性。因此，如何以简单又有效率的方法判断是否发生膜材贴附偏差与量测膜材的贴附 偏差值，仍为IXD面板业界的一重要课题。
发明内容
本发明的主要目的，在于提供一种接垫区的特殊导线图案以及一种利用该导线图 案进行监控膜材贴附偏差的方法，以提高量测膜材偏贴偏差的效率与正确性，解决习知量 测膜材贴附偏差方法因程序耗时而造成效率较低且无法掌握精确度的问题。本发明是是这样实现的，一种导线图案，其包含复数个端子部，沿着一第一方向排 列且彼此并排于一接垫区内，各该端子部分别包含一开口部与一引线部。各开口部具有至 少一开口部侧边，而各引线部是连接相对应的开口部侧边。各引线部与相对应的开口部的 相对位置是随该端子部在接垫区内的配置位置而变化。本发明另揭露一种监控膜材贴附偏差的方法。首先提供一膜材，其表面具有复数 个传导图案，接着提供一表面欲贴附该膜材的标的区域，其包含复数个基准标记与复数个 位移标记。该等基准标记是沿着一第一方向排列且彼此并排于该标的区域内，且各基准标 记分别对应于一传导图案。每一位移标记是分别连接于一基准标记，其中各位移标记与相 对应的各该基准标记的相对位置是随该基准标记在标的区域内的配置位置而变化。然后， 将膜材贴附于该标的区域上，再观察该等传导图案与位移标记的相对位置以及其对应的基 准标记在该标的区域内的位置，以判断该膜材是否有贴附偏差。
图1为一习知IXD面板的示意图。图2为图1所示IXD面板的一端子部的部分示意图。图3为将膜材贴附于图2所示端子部的示意图。图4为膜材具有贴附偏差的示意图。图5至图6为习知使用量测偏移标记的监控膜材贴附偏差方法的示意图。图7为本发明接垫区的导线图案应用于一 IXD面板的示意图。图8为图7所示IXD面板的一接垫区内的导线图案的放大示意图。
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10 14 20 24
图9为图8所示的部分接垫区的放大示意图。 图10至图11为本发明监控膜材贴附偏差的方法的示意图< 图12为本发明监控膜材贴附偏差的方法的流程示意图。 附图中主要组件符号说明
LCD面板 数组基板 端子部 引线部 30、32偏移量测标记 50 LCD面板
彩色滤光片基板 接垫区 端子部
开口部侧边 接触洞结构 膜材
54 58 62 64a 68 72 100
12 16
22 26
30a、30b、30c 52 56
60
64
66
70
74
彩色滤光片基板 非显示区 开口部 传导图案 次标记
数组基板 非显示区 导线图案 开口部
引线部 基准线标记 传导图案
106,202 206本发明监控膜材贴附偏差方法的流禾!
具体实施例方式请参考图7，图7为本发明接垫区的导线图案应用于一IXD面板50的示意图。IXD 面板50包含一数组基板52与一彩色滤光片基板54，数组基板52未被彩色滤光片基板54 覆盖的区域是定义为非显示区56，非显示区56上设有复数个接垫区58 (图7中仅画出讯 号线侧的接垫区)，用来设置端子部，以与外部电路电连接而驱动IXD面板50。请参考图8，图8为本发明一接垫区58内的导线图案60的放大示意图。导线图 案60包含复数个端子部62彼此平行于图中所示的Y方向，且沿着图中所示X方向并排排 列。各端子部62分别包含一开口部64与一引线部66。开口部64是可用来传递讯号，电 连接于后续贴附至数组基板52表面的膜材的传导图案。引线部66则是在IXD面板50进 行磨边导角制程时，提供位置辨识的功能，此外，在磨边导角制程之前，引线部66亦可电连 接一静电消除装置，例如一环状短路结构(short ring)，以防止静电破坏。因此，包含开口 部64与引线部66的端子部62较佳包含如金属材料的导电材料，且在开口部64之内包含 复数个接触洞结构68，用来电连接数组基板52上不同导电材料层。此外，每一开口部64具 有相同的宽度Si，每一引线部66亦具有相同的宽度S2，且各开口部64皆包含一开口部侧 边64a，而各引线部66是分别与所对应的开口部64连接于其开口部侧边64a，然而，本发明 的各引线部66与相对应的开口部64的相对位置是随其端子部62在接垫区58内的配置位 置而变化。为进一步说明端子部62与开口部64的相对位置的变化，以下是以不同代号来表 示接垫区58内不同位置的引线部66。若在接垫区58定义出一基准线C平行于Y方向，其 中基准线C较佳为接垫区58的中心线，则位于基准线C左侧的端子部62的引线部66由基 准线C至外侧依序以代号Li、L2、L3、L4、L5、L6表示，而位于基准线C右侧的端子部62的引线部66由基准线(至外侧依序以代号1 1、1 2、1 3、1 4、1 5、1 6表示。由第8图可知，相对 于各开口部64，则由基准线C至接垫区58外侧的引线部Rl、R2、R3、R4、R5、R6是依序由基 准线C向右侧多偏移一单位长度。同样地，由基准线C至接垫区58外侧的引线部Li、L2、 L3、L4、L5、L6是较对应的开口部64依序向左侧多偏移一单位长度，直至开口部64的左侧 边缘。请参考图9，图9为部分接垫区58的放大示意图，其中第9图仅绘出基准线C右 侧的端子部62，且省略图8中的接触洞结构68。分别在各开口部64中定义出一开口部中 心线C。平行于图8所示的Y方向(图9中仅绘出引线部R2、R4所对应的开口部64的中心 线C。)，而开口部中心线C。与开口部侧边64a的交点即为各开口部侧边64a的中点0，另在 各引线部66内定义出一引线部中心线Q平行于图8的Y方向，则各引线部中心线Q与其 对应的开口部侧边64a的中点0皆具有一相对位置差值D，且在基准线C右侧的各引线部66 的相对位置差值Dn皆不相同，是由基准线C开始依序向接垫区58的外侧(即右侧)递增，其 中「η」表示基准线(右侧的第11条引线部66，亦即引线部1 1、1 2、1 3、1 4、1 5、1 6的相对位 置差值为01、02、03、04、05、06，其具有下列关系D1<D2<D3<D4<D5<D6。换句 话说，若本实施例以1微米当作一单位长度，则引线部Rl是较开口部侧边64a的中点0向 右偏移1微米，引线部R2是较开口部侧边64a的中点0向右偏移2微米，引线部R3是较开 口部侧边64a的中点0向右偏移3微米，直到引线部R6的右侧侧边到达开口部64的右侧 边缘。同样地，在基准线C左侧的各引线部66与开口部64之间亦具有一相对位置差值，由 基准线C开始向左侧递增，不再赘述。因此，在接垫区58内的引线部66是以基准线C为对 称中心线而左右对称排列。然而，在其它实施例中，各引线部66与开口部64之间的相对位 置差值亦可设计为由基准线C开始向外侧递减。因此，在接垫区58之内，基准线C任一侧 的任二相邻端子部62皆具有不同的相对位置差值。请参考图10，图10显示出将具有传导图案的膜材贴附在接垫区58上没有发生贴 附偏差时的示意图。如图所示，提供一包含复数个传导图案74的膜材72，将其贴附在图8所 示的接垫区58上，其中膜材72可为一印刷电路板，其上设置有利用卷带式承载封装(tape carrier package, TCP)的驱动芯片(图未示)，藉由传导图案74可使驱动芯片与端子部62 电连接。在贴附好膜材72之后，其表面上的传导图案74会分别对应一端子部62，在没有发 生贴附偏差的情况下，各引线部66并不会落在对应的传导图案74的中央而左右平分传导 图案74，反而会偏向传导图案74的一侧，例如设置在基准线C右侧的引线部Rl会偏向传导 图案74的右侧。此外，位于越外侧的引线部66是偏离传导图案74的中央越多的距离。另一方面，若膜材72具有贴附偏差时，则接垫区58内必会有一引线部66接近或 刚好落在传导图案74的中央。请参考图11，图11显示出膜材72发生贴附偏差的情形。 如图所示，在贴附完膜材72之后，引线部R2刚好落在其对应的传导图案74的中央而平分 传导图案74，不同于图10所示的位置，因此可以判定膜材72具有一贴附偏差。再者，由于 是引线部R2落在对应的传导图案74的中央，且引线部R2是相较于开口部64向右偏移了 2 微米或2个单位长度，因此可以知道所贴附的膜材72向右偏差了 2微米。亦即，当检测员 发现一引线部Rn或Ln刚好落在传导图案74的中央时，则可以轻易地判断出来膜材72向 右或向左偏移了 η微米或η个单位长度。再者，为了使检测员能迅速计算出落在传导图案 74中央的引线部66是在接垫区58的左侧或右侧的第几根引线部66，亦即找出η值，因此接垫区58内的导线图案60可另包含一基准线标记70，标示出基准线C的位置，因此检测员 可从基准线标记70判断出η值，以及该引线部66是在基准线C的右侧或左侧，进而轻易计 算出膜材72是向何方向侧偏移了多少单位长度。由上述可知，本发明除了提供一种接垫区的导线图案的特殊设计，亦提供了一种 利用此种导线图案而可有效监控膜材是否发生偏移以及判断出偏移量的方法，其判断的精 神是分别以开口部和引线部作为基准标记与位移标记，且位移标记与基准标记的相对位置 是随着该基准标记在接垫区内的不同位置而变化，再藉由位移标记与贴附的传导图案的相 对位置关系而判断出膜材是否具有贴附偏差的问题。本发明监控膜材贴附偏差的方法步骤 是简述如下
步骤100 提供一表面具有复数个传导图案的膜材；
步骤102 提供一表面欲贴附该膜材的标的区域，亦即前述的接垫区，其中接垫区内包 含复数个端子部互相平行并排，各端子部分别包含一当作基准标记的开口部与当作位移标 记的引线部，每一基准标记是对应于一位移标记，且各位移标记与相对应的基准标记的相 对位置是随基准标记在接垫区内的配置位置而变化； 步骤104 将膜材贴附于标的区域上；以及
步骤106 观察膜材上的传导图案与位移标记的相对位置以及其对应的基准标记在标 的区域内的位置，以判断出膜材是否有贴附偏差。此外，步骤106中所述判断膜材是否发生贴附偏差的方法则包含
步骤202 观察传导图案与位移标记的相对位置，若任一位移标记(如图11中所示的引 线部R2)刚好位于相对应的传导图案的中央而平分该传导图案，则判断该膜材具有一贴附
偏差；
步骤204 观察步骤202所述的该位移标记(如图11所示的引线部R2)是位于标的区 域的中心线或一基准线的右侧或左侧的第η个位移标记；以及 步骤206 判断该膜材是向右侧或向左侧偏移了 η个单位长度。由上述可知，根据本发明监控膜材是否发生贴附偏差的方法，检测员若需监控膜 材是否发生贴附偏差，仅需从光学显微镜(optical microscope，0M)中观察接垫区，进行上 述本发明监控膜材贴附偏差的方法步骤，便可轻易地判断出膜材是否发生贴附偏差以及膜 材是向左侧或右侧偏差了多少距离。相较于习知技术，本发明不需像习知技术必须使用内 建有量测程序与刻度的CCD等量测仪器，并且不会受限于曝光尺寸的大小，亦不需要花费 时间搜寻可能发生偏移的量测标的，亦可避免量测精确度不足的问题。根据本发明的精神， 检测员仅需利用光学显微镜观察端子部与膜材上传导图案的相对位置，便可方便且快速地 判断出贴附的膜材偏差了多少距离。此外，利用本发明精神制作出的接垫区的导线图案不 需增加额外的成本，仅需稍微修改原来导线图案中开口部与引线部相对位置的设计，即可 当作本发明监控方法中的基准标记与位移标记使用。值得注意的是，本发明的接垫区导线 图案设计与监控膜材贴附偏差的方法并不限于LCD面板上的导线图案设计与膜材贴附误 差的监控，亦可应用于其它需要监控重叠图案是否发生位移或偏差的情形。以上所述仅为本发明的较佳实施例，凡依本发明申请专利范围所做的均等变化与 修饰，皆应属本发明的涵盖范围。
权利要求
一种监控膜材贴附偏差的方法，其特征在于，包含提供一膜材，其表面具有复数个传导图案；提供一表面欲贴附该膜材的标的区域，其包含复数个基准标记，分别对应于一该传导图案，该等基准标记沿着一第一方向排列且彼此并排于该标的区域内；以及复数个位移标记，分别连接于一该基准标记，其中各该位移标记与相对应的该基准标记的相对位置是随该基准标记在该标的区域内的配置位置而变化；将该膜材贴附于该标的区域上；以及观察该等传导图案与该等位移标记的相对位置以及其对应的该等基准标记在该标的区域内的位置，以判断该膜材是否有贴附偏差。
2.根据权利要求1所述的监控膜材贴附偏差的方法，其特征在于所述的标的区域包 含一基准线，在该基准线任一侧的标的区域内的该等位移标记与相对应的该基准标记的相 对位置皆不相同。
3.根据权利要求2所述的监控膜材贴附偏差的方法，其特征在于其中各该位移标记 是相对各该基准标记，由该基准线为中心而依序向外侧多偏移一单位长度。
4.根据权利要求3所述的监控膜材贴附偏差的方法，其特征在于其中该判断该膜材 是否发生贴附偏差的方法，包含观察该等传导图案与该等位移标记的相对位置，若任一该 位移标记刚好位于相对应的该传导图案的中央而平分该传导图案，则判断该膜材具有一贴 附偏差。
5.根据权利要求4所述的监控膜材贴附偏差的方法，其特征在于其中该判断该膜材 是否发生贴附偏差的方法，另包含当观察到该位移标记刚好位于相对应的该传导图案的中央而平分该传导图案后，观察 得到该位移标记是位于该基准线的右侧或左侧；观察得到该位移标记是由该基准线向外侧的第η个位移标记；以及判断该膜材的贴附偏差是为向右或向左偏差了 η个单位长度。
6.根据权利要求2所述的监控膜材贴附偏差的方法，其特征在于所述的准线是为该 标的区域的一中心线；所述的位移标记与该等基准标记是以该中心线为对称中心线，左右对称排列。
7.根据权利要求2所述的监控膜材贴附偏差的方法，其特征在于所述的标的区域内 另包含一基准线标记，标示出该基准线的位置。
8.根据权利要求1所述的监控膜材贴附偏差的方法，其特征在于其中各该位移标记 与各该基准标记分别具有一中心线平行于该第一方向，且各该位移标记的该中心线与相对 应的该基准标记的中心线具有一相对位置差值，于该标的区域内，该基准线一侧的任二相 邻的该等位移标记的各该相对位置差值是不相同；所述的相对位置差值是沿着该标的区域的一中心线而向外侧递增或递减。
9.根据权利要求1所述的监控膜材贴附偏差的方法，其特征在于所述的标的区域是 为一显示面板的一接垫区，且该标的区域包含复数个端子部用来传送讯号，各该端子部包 含一该基准标记与一该位移标记；其中各该端子部中的该基准标记与该位移标记分别为该端子部的一开口部与一引线部；其中该等基准标记与该等位移标记包含金属材料。
全文摘要
本发明提供一种接垫区内的导线图案，其包含复数个端子部，彼此并排于一接垫区内，各端子部分别包含一开口部与一引线部，其中各端子部具有至少一开口部侧边，而各引线部是对应连接于一开口部侧边。各引线部与相对应的开口部的相对位置是随该端子部在接垫区内的配置位置而变化。本发明还揭露了监控膜材贴附偏差的方法，其包含提供一膜材，其表面具有复数个传导图案；提供一表面欲贴附该膜材的标的区域。本发明提高了量测膜材偏贴偏差的效率与正确性，解决习知量测膜材贴附偏差方法因程序耗时而造成效率较低且无法掌握精确度的问题。
文档编号G02F1/1345GK101980071SQ20101029660
公开日2011年2月23日 申请日期2009年3月10日 优先权日2009年3月10日
发明者许汉东, 邓印翔 申请人:华映光电股份有限公司;中华映管股份有限公司