专利名称：可二维微调的微型电动平移台的制作方法
技术领域：
本发明涉及光学器件调整技术领域，特别涉及一种可二维微调的微型电动平移台。
背景技术：
在各种光学检测设备、仪器仪表中，往往需要移动某个光学器件，这类需求对平移机构的体积要求往往也是非常苛刻的。同时在实际使用过程中，往往需要二维的角度微调， 使光学器件位于合适的位置与姿态。从目前的技术来看，要实现可二维微调和直线平移一般采用串联的形式，在一个传统电动平移台上，固定一个二维角度调整台，然后将光学器件固定在该二维角度调整台上。这类设计主要有以下不足1、电动平移台及二维角度调整台均采用标准件，系统集成简单，只适宜在实验平台上做原理性研究；2、总体结构复杂，体积较大，不利于产品开发；3、 平台本身的机械结构占据了光路空间，某些光路系统无法实现；4、质量较大，有些场合会大大增加设备负载。同时，现有常用的直线驱动器有以下技术方案
1、采用一个电机驱动螺轩，螺杆上装有一个螺帽。螺帽与一个套简组件连接。套筒从一个外壳伸出，此外壳防止套筒随螺帽一起转动，但允许套筒从套筒伸出或退回。螺杆的旋转对螺帽产生一作用力，该力的作用方向与螺轩轴线平行，以迫使螺帽沿螺杆直线运动，由此伸出或退回套筒。这类直线驱动器的一个例子可见于US4392390。这类设计，沿螺杆轴线方向的尺寸往往较大，结构较复杂，需要用到微型丝杆与螺母，微型套筒，控制时采用闭环控制，成本较高。2、采用音圈电机直接驱动实现直线位移，这种方式精度较高，体积也可以做到很小，但是这种设计需要昂贵的直线编码器和复杂的控制系统，装配复杂，成本往往很高。3、采用微型电磁铁实现，这种设计方式结构简单，但是其中的微型电磁铁往往需要用户定制，所以在设计时不是很方便，同时这种方式只能有一个固定位移的输出，而其动作时冲击很大。另外，CN92101069. 9中公开了一种小型直线驱动器，采用了类似于上述方案二的设计思路，结构复杂，体积大。CN02130363. 0公开了一种光机装置光学元件的移动机构，包括至少一个环绕光学元件的圆对称可弯曲件及使光学元件沿与可弯曲件垂直且通过所述至少一个可弯曲件中心的轴线发生移动的装置。一叠层可有许多可由件，彼此用隔离件隔开，光学元件装在管状构件内，管状构件由二个隔开的叠层支承。这种设计结构复杂，体积较大，直线位移很小。CN 201010273053. 2公开了一种微型光学器件平移机构，可实现对微小型光学器件的多工位平移功能，可应用于光学检测设备中的平面镜、分光镜等光学器件的多工位平移，然而该方案中的导轨采用简单的滑动导轨，精度不高，刚性较差，不能实现高精度重复定位。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种体积小、可靠性强、精度高、可进行二维微调的电动平移机构。根据本发明的一个方面，提供一种可二维微调的微型电动平移台包括基板(1)、 导轨组件(2)、滑板组件(3)及驱动组件(4)；所述基板(1)与所述导轨组件(2)固定连接； 所述驱动组件(4)与所述导轨组件(2)固定连接；所述滑板组件(3)串接于所述导轨组件 (2)构成移动副；所述驱动组件(4)与所述滑板组件(3)配合连接构成旋转副。进一步地，所述驱动组件(4)通过螺栓(4-5)固定于所述导轨组件(2)的框架 (2-1)上；所述滑板组件(3)的两个滑动轴承(3-2)穿接所述导轨组件(2)的两根光轴(2-2) 上，并与之配合构成移动副；所述驱动组件(4)中的连杆(4-3)的另一端与滑板组件(3)的连杆轴孔(3-3-1)配合连接，构成旋转副；所述导轨组件(2)的框架(2-1)的销钉孔(2-1-4) 和基板(1)的销钉孔中插接有定位销(2-5)；所述导轨组件(2)的框架(2-1)与基板(1)螺接。进一步地，所述导轨组件(2)包括框架(2-1)、两根光轴(2-2)、限位块(2-3)、 弹性块(2-4)及调整螺钉(2-8)；其中，一所述光轴(2-2)设置在所述框架(2-1)的轴孔 (2-1-1)，另一所述光轴(2-2)设置在所述框架(2-1)的长轴孔(2-1-2)；所述限位块(2_3) 穿接于所述光轴(2-2)；所述弹性块(2-4)设置于所述框架(2-1)的长轴孔(2-1-2)内；所述调整螺钉(2-8 )与所述框架(2-1)的螺纹孔(2-1-5 )配合，旋紧所述调整螺钉(2-8 )便推动一所述光轴(2-2)在框架(2-1)的长轴孔(2-1-2)内向内侧移动；旋出调整螺钉(2-8)， 在所述弹性块(2-4)的弹力作用下，所述光轴(2-2)在长轴孔(2-1-2)内向外侧移动。进一步地，所述轴孔(2-1-1)及所述长轴孔(2-1-2)的孔径大于光轴(2_2)的轴径，且所述光轴(2-2)的长度与框架(2-1)的长度一致。进一步地，所述限位块(2-3)包括一个U形结构件和一个内六角螺钉；所述U形结构件中部有圆孔，开口处一侧是光孔，另一侧是螺纹孔；所述内六角螺钉穿过所述光孔与螺纹孔配合，旋合该内六角螺钉便可以改变U形结构件中部圆孔的大小。进一步地，所述限位块(2-3)和弹性块(2-4)是两个。进一步地，所述框架(2-1)是由左板(2-1-9)、右板(2-1-10)和底板(2-1-11)组成的“U”形的结构件。进一步地，所述左板(2-1-9)为类三角形板形结构，上部有一个所述轴孔 (2-1-1)，中部有三个螺纹孔(2-1-6)，下部有所述长轴孔(2-1-2)；所述右板(2_1_10)为类梯形板形结构，上部有一个所述轴孔(2-1-1)，中部有一个弧形螺栓孔(2-1-3)和一个销钉孔(2-1-4)，并且弧形螺栓孔(2-1-3)的圆心与销钉孔(2-1-4)的中心重合；所述右板(2-1-10)下部有长轴孔(2-1-2)，所述长轴孔(2-1-2)外侧有螺纹孔(2-1-5)；所述螺纹孔(2-1-5)与所述长轴孔(2-1-2)贯通；所述轴孔(2-1-1)上部有狭缝(2_1_8)，所述狭缝 (2-1-8)—侧有光孔(2-1-7)，另一侧有对应的螺纹孔。进一步地，所述滑板组件(3)包括滑板(3-1)、滑动轴承(3-2)、推拉块(3-3)、光具座(3-4)、挡块(3-5)、压条(3-6)、盖板(3-7)、轴(3-8)、平面镜(3-9)、止动螺钉(3-10)； 所述滑动轴承(3-2)以过盈配合压入所述滑板(3-1)的轴承孔(3-1-1)中；所述推拉块 (3-3)固定于所述滑板(3-1)的侧面；所述平面镜(3-9)放置于所述光具座(3-4)上；所述压条(3-6)压住所述平面镜(3-9)的两边，并通过螺钉固定；所述轴(3-8)穿过所述光具座(3-4)的轴孔(3-4-3)，并且所述轴(3-8)与所述轴孔(3-4-3)无间隙配合；所述光具座 (3-4)位于所述轴(3-8)的中部，所述轴(3-8)的长度大于所述光具座(3-4)的长度，两轴端在所述光具座(3-4)的外部；所述轴(3-8)的两个轴端过盈配合压入滑板(3-1)的轴槽 (3-1-2)中；所述挡块(3-5)置于滑板(3-1)的轴槽(3-1-2)中，在所述轴(3_8)轴端之上， 所述盖板(3-7)压住挡块(3-5)，并通过螺钉固定；所述平面镜(3-9)可随光具座(3-4) — 起绕轴(3-8 )进行手动旋转调节，调整完毕，所述止动螺钉(3-10 )穿过所述螺纹孔(3-1-4) 锁死所述光具座(3-4)。进一步地，所述滑板(3-1)为长方形结构，两边平行布置有两个圆形轴承孔 (3-1-1)，一侧面有两个螺纹孔(3-1-5)，中部有一个方形光具槽(3-1-6)。进一步地，所述光具槽(3-1-6)两侧有轴槽(3-1-2),所述轴槽(3-1-2)两边有螺纹孔(3-1-3);所述光具槽(3-1-6)下部凸缘处有两个螺纹孔(3-1-4);所述螺纹孔(3-1-4) 与所述光具槽(3-1-6)贯穿。进一步地，所述推拉块(3-3)下部有两个用于固定的螺钉孔，顶部有连杆轴孔 (3-3-1)。进一步地，所述光具座(3-4)为长方形板型结构；所述光具座(3-4)的长度小于滑板(3-1)的光具槽(3-1-6)长度；所述光具座(3-4)中部有一个光具台(3-4-1)；所述光具台(3-4-1)表面平整；所述光具座(3-4)的四角处设有螺纹孔(3-4-2)；所述光具座(3_4) 中部有个贯穿的轴孔(3-4-3)。进一步地，所述驱动组件(4 )包括电机(4-1)、摇臂(4-2 )、连杆(4-3 )、螺钉 (4-6)；所述摇臂(4-2) —端与所述电机(4-1)的花键轴配合，并通过螺钉(4-6)固定，所述摇臂(4-2)另一端设有连杆轴孔(4-2-2)；所述连杆(4-3)与所述连杆轴孔(4_2_2)配合构成旋转副；
进一步地，所述驱动组件(4)还包括电机固定架(4-4)、螺栓(4-5)； 所述电机固定架(4-4)为U形结构，所述电机(4-1)可卡于U形结构内部，所述电机固定架(4-4)侧面设置有用于螺栓(4-5)固定的孔。本发明体积小巧，运动链简洁，控制方式简单，可实现对微小型光学器件的单一位置精确平移定位以及多工位平移功能，同时可以对该光学器件进行二维的角度的手动微调，可应用于光学检测设备中的平面镜、分光镜等光学器件的平移，方便产品集成开发。
图1为本发明实施例提供的一种微型光学三维调整装置的立体结构示意图； 图2为本发明实施例提供的一种微型光学三维调整装置的立体结构爆炸示意图； 图3为本发明实施例中导轨组件的立体结构示意图4为本发明实施例中滑板组件的立体结构示意图； 图5为本发明实施例中驱动组件的立体结构示意图； 图6为本发明实施例中框架的立体结构示意图； 图7为本发明实施例中滑板的结构示意图； 图8为本发明实施例中光具座的结构示意图；图9本发明实施例中摇臂的结构示意图； 图10-图11为本发明实施例处于不同位形时的示意图； 其中
1-基板，2-导轨组件，3-滑板组件，4-驱动组件，2-1-框架，2-2-光轴，2-3-限位块，2-4-弹性块，2-5-定位销，2-6-固定螺栓，2-7-锁紧螺钉，2-8-调整螺钉，3-1-滑板，3-2-滑动轴承，3-3-推拉块，3-4-光具座，3-5-挡块，3-6-压条，3-7-盖板，3-8-轴， 3-9-平面镜，3-10-止动螺钉，4-1-电机，4-2-摇臂，4_3_连杆，4_4_电机固定架，4_5_螺栓，4-6-螺钉，2-1-1-轴孔-2-1-2-长轴孔，2-1-3-螺栓孔，2_1_4_销钉孔，2_1_5_螺纹孔，2-1-6-螺纹孔，2-1-7-光孔，2-1-8-狭缝，2-1-9-左板，2-1-10-右板，2-1-11-底板，
3-1-1-轴承孔，3-1-2-轴槽，3-1-3-螺纹孔，3-1-4-螺纹孔，3-1-5-螺纹孔，3-1-6-光具槽，3-3-1-连杆轴孔，3-4-1-光具台，3-4-2-螺纹孔，3-4-3-轴孔，4-2-1-花键孔，
4-2-2-连杆轴孔。
具体实施例方式参见图1-9，本发明实施例提供的一种可二维微调的微型电动平移台包括基板1、 导轨组件2、滑板组件3及驱动组件4。基板1与导轨组件2固定连接。驱动组件4与导轨组件2固定连接。滑板组件3串接于导轨组件2构成移动副。驱动组件4与滑板组件3配合连接构成旋转副。例如驱动组件4通过一螺栓4-5固定于导轨组件2的框架2-1上；滑板组件3的两个滑动轴承3-2穿接导轨组件2的两根光轴2-2上，并与之配合构成移动副； 驱动组件4中的连杆4-3的另一端与滑板组件3的连杆轴孔3-3-1配合连接，构成旋转副； 导轨组件2的框架2-1的销钉孔2-1-4和基板1的销钉孔中插接有定位销2-5 ；导轨组件 2的框架2-1与基板1螺接。下面结合图1-9对二维微调的微型电动平移台的各个组成部分及其结构进行详细的说明。如图1、图2所示，基板1为板型结构，其上有一个螺纹孔和一个销钉孔。如图3所示，导轨组件2由框架2-1、光轴2-2、限位块2_3、弹性块2_4、定位销2_5、 固定螺栓2-6、锁紧螺钉2-7、调整螺钉2-8组成。如图6所示，框架2-1由左板2-1-9、右板2-1-10和底板2-1-11组成的“U”形整体结构件。左板2-1-9为类三角形板形结构，上部有一个轴孔2-1-1，中部有三个螺纹孔2-1-6，下部有长轴孔2-1-2 ；右板2-1-10为类梯形板形结构，上部有一个轴孔2_1_1，中部有一个弧形螺栓孔2-1-3和一个销钉孔2-1-4，并且弧形螺栓孔2-1-3的圆心与销钉孔 2-1-4的中心重合，右板2-1-10下部有长轴孔2-1-2，长轴孔2_1_2外侧有螺纹孔2_1_5， 螺纹孔2-1-5与长轴孔2-1-2贯通；轴孔2-1-1上部有狭缝2_1_8，狭缝2_1_8 —侧有光孔 2-1-7，另一侧有对应的螺纹孔；光轴2-2有两根，为圆柱形光轴。限位块2-3由一个U形结构件和一个内六角螺钉组成，该U形结构件中部有圆孔，开口处一侧是光孔，一侧是螺纹孔，该内六角螺钉穿过光孔与螺纹孔配合，旋合该内六角螺钉便可以改变U形结构件中部圆孔的大小；限位块2-3有两个。弹性块2-4为弹性橡胶块，有两个。如图3、图1所示，两个限位块2-3中部圆孔的分别穿在两根光轴2-2上；其中，一根光轴2-2的两端安装于框架2-1的轴孔2-1-1，轴孔2-1-1的孔径略大于光轴2_2的轴径， 并且光轴2-2的长度与框架2-1的长度一致；锁紧螺钉2-7穿过光孔2-1-7、狭缝2_1_8，与狭缝2-1-8另一侧的螺纹孔配合，旋合锁紧螺钉2-7便可将光轴2-2固定于轴孔2-1-1中； 弹性块2-4安装于长轴孔2-1-2内，另一根光轴2-2的两端分别位于长轴孔2-1-2中，长轴孔2-1-2的孔径略大于光轴2-2的轴径，在弹性块2-4的作用下，将光轴2-2向外侧挤压； 两个调整螺钉2-8分别与两个螺纹孔2-1-5配合，旋紧调整螺钉2-8便可推动光轴2-2在长轴孔2-1-2内向内侧移动，旋出调整螺钉2-8，在弹性块2-4的弹力作用下，光轴2-2在长轴孔2-1-2内向外侧移动。 如图4所示，滑板组件3由滑板3-1、滑动轴承3-2、推拉块3_3、光具座3_4、挡块 3-5、压条3-6、盖板3-7、轴3-8、平面镜3_9、止动螺钉3_10组成。
如图7所示，滑板3-1为长方形结构，两边平行布置有两个圆形轴承孔3-1-1，一侧面有两个螺纹孔3-1-5，中部有一个方形光具槽3-1-6 ；光具槽3-1-6两侧有轴槽3_1_2，轴槽3-1-2两边有螺纹孔3-1-3，光具槽3-1-6下部凸缘处有两个螺纹孔3_1_4，螺纹孔3_1_4 与光具槽3-1-6贯穿。滑动轴承3-2为低摩擦工程塑料滑动轴承。推拉块3-3下部有两个用于固定的螺钉孔，顶部有连杆轴孔3-3-1。如图8所示，光具座3-4为长方形板型结构，光具座3-4的长度略小于滑板3_1的光具槽3-1-6长度，光具座3-4中部有一个光具台3-4-1，光具台3_4_1表面平整，用于安置光学器件，光具座3-4的四角处设有螺纹孔3-4-2，光具座3-4中部有个贯穿的轴孔3-4-3。如图4所示，滑动轴承3-2以过盈配合压入轴承孔3-1-1中；推拉块3_3通过螺钉固定于滑板3-1的侧面；平面镜3-9放置于光具座3-4的光具台3-4-1上，压条3_6压住平面镜3-9的两边，并通过螺钉固定；轴3-8穿过光具座3-4的轴孔3-4-3，并且轴3_8与轴孔 3-4-3无间隙配合，光具座3-4位于轴3-8的中部，轴3_8的长度大于光具座3_4的长度，两轴端在光具座3-4的外部；轴3-8的两个轴端过盈配合压入滑板3-1的轴槽3-1-2中，挡块 3-5置于轴槽3-1-2中，在轴3-8轴端之上，盖板3-7压住挡块3_5，并通过螺钉固定。平面镜3-9便可随光具座3-4 —起绕轴3-8进行手动旋转调节，调整完毕，止动螺钉3-10穿过螺纹孔3-1-4锁死光具座3-4。如图5所示，驱动组件4由电机4-1、摇臂4-2、连杆4_3、电机固定架4_4、螺栓4_5、 螺钉4-6组成。电机4-1为微型伺服电机，内部带减速齿轮箱，电机输出轴为花键轴。如图 9所示，摇臂4-2为杆状结构，一端有花键孔4-2-1，与电机4-1的花键轴配合，顶部通过螺钉4-6固定，摇臂4-2另一端设有连杆轴孔4-2-2。连杆4_3为钢质Z形结构件，具有一定弹性，其一端与连杆轴孔4-2-2配合，构成旋转副。电机固定架4-4为U形结构，电机4-1 可卡于U形结构内部，电机固定架4-4侧面有孔，可用于螺栓4-5的固定。如图2、图1所示，驱动组件4通过螺栓4-5固定于导轨组件2的框架2_1上；滑板组件3的两个滑动轴承3-2穿在导轨组件2的两根光轴2-2上，并与之配合构成移动副；驱动组件4中的连杆4-3的另一端与推拉块3-3的连杆轴孔3-3-1配合连接，构成旋转副；定位销2-5 —端插于框架2-1的销钉孔2-1-4中，另一端插在基板1的销钉孔，固定螺栓2-6 穿过螺栓孔2-1-3与基板1上的螺纹孔配合，将框架2-1与基板1贴合固定。这样驱动组件4、滑板组件3、导轨组件2便构成了一个曲柄滑块机构。安装完毕后，将两个锁紧螺钉2-7锁紧，微调两个调整螺钉2-8，使滑板组件3能够在两根光轴2-2上自由无间隙滑动。根据需要，调整两个限位块2-3的位置，使它们同时跟滑板组件3的滑板3-1接触，并锁紧限位块。如图1、图4所示，松开止动螺钉3-10，便可
9手动调整平面镜3-9绕轴3-8的角度位置，调整完毕，锁紧止动螺钉3-10。如图1、图2所示，松开固定螺栓2-6，便可手动调整平面镜3-9绕定位销2-5的角度位置，调整完毕，锁紧固定螺栓2-6。控制电机4-1的输出角度，便可驱动平面镜3-9来回做直线运动。由于连杆4-3具有一定弹性，可控制电机4-1使滑板3-1与限位块2-3紧密接触，在该位置下，平面镜3-9可重复精确定位。如图10所示，为滑板3-1与限位块2-3紧密接触的位置示意图，即平面镜3_9精确定位的位置；如图11所示，为平面镜3-9缩回的位形示意图。上述方案中，安装完毕后，将两个锁紧螺钉锁紧，微调调整螺钉，使滑板组件能够在两根光轴上自由无间隙滑动。根据需要，调整两个限位块的位置，使它们同时跟滑板组件的滑板接触，并锁紧限位块。松开止动螺钉，便可手动调整光学器件绕轴的角度位置，调整完毕，锁紧止动螺钉。松开固定螺栓，便可手动调整平面镜绕定位销的角度位置，调整完毕， 锁紧固定螺栓。控制电机的输出角度，便可驱动平面镜来回做直线运动。控制电机可使滑板与限位块紧密接触，在该位置下，平面镜可重复精确定位。以上的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
权利要求
1.一种可二维微调的微型电动平移台，其特征于，包括 基板(1)、导轨组件(2 )、滑板组件(3 )及驱动组件(4 )；所述基板(1)与所述导轨组件(2)固定连接；所述驱动组件(4)与所述导轨组件(2)固定连接；所述滑板组件(3)串接于所述导轨组件(2)构成移动副；所述驱动组件(4)与所述滑板组件(3)配合连接构成旋转副。
2.根据权利要求1所述的微型电动平移台，其特征在于所述驱动组件(4)通过螺栓(4-5)固定于所述导轨组件(2)的框架(2-1)上；所述滑板组件(3)的两个滑动轴承(3-2)穿接所述导轨组件(2)的两根光轴(2-2)上，并与之配合构成移动副；所述驱动组件(4)中的连杆(4-3)的一端与滑板组件(3)的连杆轴孔(3-3-1)配合连接，构成旋转副；所述导轨组件(2)的框架(2-1)的销钉孔(2-1-4)和基板(1)的销钉孔中插接有定位销(2-5)；所述导轨组件(2)的框架(2-1)与基板(1)螺接。
3.根据权利要求2所述的微型电动平移台，其特征在于，所述导轨组件(2)包括 框架(2-1)、两根光轴(2-2 )、限位块(2-3 )、弹性块(2-4 )及调整螺钉(2_8 )；其中，一所述光轴(2-2)设置在所述框架(2-1)的轴孔(2-1-1)，另一所述光轴(2-2)设置在所述框架(2-1)的长轴孔(2-1-2)；所述限位块(2-3)穿接于所述光轴(2-2)； 所述弹性块(2-4)设置于所述框架(2-1)的长轴孔(2-1-2)内； 所述调整螺钉(2-8)与所述框架(2-1)的螺纹孔(2-1-5)配合，旋紧所述调整螺钉 (2-8)便推动一所述光轴(2-2)在框架(2-1)的长轴孔(2-1-2)内向内侧移动；旋出调整螺钉(2-8)，在所述弹性块(2-4)的弹力作用下，所述光轴(2-2)在长轴孔(2-1-2)内向外侧移动。
4.根据权利要求3所述的微型电动平移台，其特征在于所述轴孔(2-1-1)及所述长轴孔(2-1-2)的孔径大于光轴(2-2)的轴径，且所述光轴 (2-2)的长度与所述框架(2-1)的长度一致。
5.根据权利要求3所述的微型电动平移台，其特征在于所述限位块(2-3)包括一个U形结构件和一个内六角螺钉；所述U形结构件中部有圆孔，开口处一侧是光孔，另一侧是螺纹孔；所述内六角螺钉穿过所述光孔与螺纹孔配合，旋合该内六角螺钉便可以改变U形结构件中部圆孔的大小。
6.根据权利要求5所述的微型电动平移台，其特征在于 所述限位块(2-3)和弹性块(2-4)是两个。
7.根据权利要求3所述的微型电动平移台，其特征在于所述框架(2-1)是由左板(2-1-9)、右板(2-1-10)和底板(2-1-11)组成的“U”形的结构件。
8.根据权利要求7所述的微型电动平移台，其特征在于所述左板(2-1-9)为类三角形板形结构，上部有一个所述轴孔(2-1-1)，中部有三个螺纹孔(2-1-6)，下部有所述长轴孔(2-1-2)；所述右板(2-1-10)为类梯形板形结构，上部有一个所述轴孔(2-1-1)，中部有一个弧形螺栓孔(2-1-3)和一个销钉孔(2-1-4)，并且弧形螺栓孔(2-1-3)的圆心与销钉孔 (2-1-4)的中心重合；所述右板(2-1-10)下部有长轴孔(2-1-2)，所述长轴孔(2-1-2)外侧有螺纹孔 (2-1-5)；所述螺纹孔(2-1-5)与所述长轴孔(2-1-2)贯通；所述轴孔(2_1_1)上部有狭缝 (2-1-8)，所述狭缝(2-1-8)—侧有光孔(2-1-7)，另一侧有对应的螺纹孔。
9.根据权利要求1所述的微型电动平移台，其特征在于，所述滑板组件(3)包括 滑板(3-1)、滑动轴承(3-2)、推拉块(3-3)、光具座(3-4)、挡块(3-5)、压条(3-6)、盖板(3-7 )、轴(3-8 )、平面镜(3-9 )及止动螺钉(3-10 )；所述滑动轴承(3-2)以过盈配合压入所述滑板(3-1)的轴承孔(3-1-1)中；所述推拉块 (3-3)固定于所述滑板(3-1)的侧面；所述平面镜(3-9 )放置于所述光具座(3-4 )上；所述压条(3-6 )压住所述平面镜(3-9 ) 的两边，并通过螺钉固定；所述轴(3-8)穿过所述光具座(3-4)的轴孔(3-4-3)，并且所述轴(3-8)与所述轴孔 (3-4-3)无间隙配合；所述光具座(3-4)位于所述轴(3-8)的中部，所述轴(3_8)的长度大于所述光具座(3-4)的长度，两轴端在所述光具座(3-4)的外部；所述轴(3-8)的两个轴端过盈配合压入滑板(3-1)的轴槽(3-1-2)中；所述挡块(3-5)置于滑板(3-1)的轴槽(3-1-2)中，在所述轴(3-8)轴端之上，所述盖板(3-7)压住挡块(3-5)，并通过螺钉固定；所述平面镜(3-9)可随光具座(3-4) —起绕轴(3-8)进行手动旋转调节，调整完毕，所述止动螺钉(3-10)穿过所述螺纹孔(3-1-4)锁死所述光具座(3-4)。
10.根据权利要求9所述的微型电动平移台，其特征在于所述滑板(3-1)为长方形结构，两边平行布置有两个圆形轴承孔(3-1-1), 一侧面有两个螺纹孔(3-1-5)，中部有一个方形光具槽(3-1-6)。
11.根据权利要求10所述的微型电动平移台，其特征在于所述光具槽(3-1-6)两侧有轴槽(3-1-2)，所述轴槽(3-1-2)两边有螺纹孔(3_1_3)； 所述光具槽(3-1-6)下部凸缘处有两个螺纹孔(3-1-4);所述螺纹孔(3-1-4)与所述光具槽 (3-1-6)贯穿。
12.根据权利要求9所述的微型电动平移台，其特征在于所述推拉块(3-3 )下部有两个用于固定的螺钉孔，顶部有连杆轴孔(3-3-1)。
13.根据权利要求10所述的微型电动平移台，其特征在于所述光具座(3-4)为长方形板型结构；所述光具座(3-4)的长度小于滑板(3-1)的光具槽(3-1-6)长度；所述光具座(3-4)中部有一个光具台(3-4-1)；所述光具台(3_4_1)表面平整；所述光具座(3-4)的四角处设有螺纹孔(3-4-2)；所述光具座(3-4)中部有个贯穿的轴孔(3-4-3)。
14.根据权利要求1所述的微型电动平移台，其特征在于，所述驱动组件(4)包括 电机(4-1)、摇臂(4-2)、连杆(4-3)、螺钉(4-6)；所述摇臂(4-2) —端与所述电机(4-1)的花键轴配合，并通过螺钉(4-6)固定，所述摇臂(4-2)另一端设有连杆轴孔(4-2-2)；所述连杆(4-3)与所述连杆轴孔(4-2-2)配合构成旋转副。
15.根据权利要求14所述的微型电动平移台，其特征在于，所述驱动组件(4)还包括 电机固定架(4-4)、螺栓(4-5)；所述电机固定架(4-4)为U形结构，所述电机(4-1)可卡于U形结构内部，所述电机固定架(4-4)侧面设置有用于螺栓(4-5)固定的孔。
全文摘要
公开了一种可二维微调的微型电动平移台包括基板(1)、导轨组件(2)、滑板组件(3)、驱动组件(4)；所述基板(1)与所述导轨组件(2)固定连接；所述驱动组件(4)与所述导轨组件(2)固定连接；所述滑板组件(3)串接于所述导轨组件(2)构成移动副；所述驱动组件(4)与所述滑板组件(3)配合连接构成旋转副。本发明体积小巧，运动链简洁，控制方式简单，可实现对微小型光学器件的单一位置精确平移定位以及多工位平移功能，同时可以对该光学器件进行二维的角度的手动微调，可应用于光学检测设备中的平面镜、分光镜等光学器件的平移，方便产品集成开发。
文档编号G02B7/00GK102243357SQ20111019538
公开日2011年11月16日 申请日期2011年7月12日 优先权日2011年7月12日
发明者吴文镜, 夏洋, 李国光, 艾迪格·基尼欧, 马铁中 申请人:中国科学院微电子研究所, 北京智朗芯光科技有限公司