专利名称：集成光子应用的具有电感负载的传输线的制作方法
技术领域：
本发明一般地涉及用于集成光子应用的传输线。
背景技术：
超高速光学调制器(例如，大于20千兆字节/秒)经常被实施为行进波(Traveling Wave，TW)结构。TW配置试图分散长调制器的电容，以便其将合理的特征阻抗(而非庞大的集总电容)提供给驱动器电路。TW配置试图使沿着电极行进的微波调制信号的速度匹配同样沿着所述电极行进的被调制的光波。理想的无损耗传输线被设计成具有特征阻抗(Zciu)及微波速度(Vpu)，两者皆高于传输线无负载时的最终有负载设计目标(Zcilj, Vpl)。本文中,无负载意味着传输线并未接触包含光学信号的波导。无负载条件的理想无损耗传输线公式包括
权利要求
1.一种传输线,包括 多个区段，其形成一电路径； 连续光学路径，其通过所述区段；以及 分离电感器，所述分离电感器被形成在相邻区段之间并连接所述相邻区段，所述电感器被形成在集成电路的多个金属层中，用以平衡包含所述传输线的光学调制器的电容，以便获得所述传输线的特征阻抗。
2.如权利要求I中所述的传输线,其中所述集成电路包括衬底,所述衬底包括半导体材料和聚合材料中的至少一个。
3.如权利要求I或2中所述的传输线，其中所述多个区段包含用于保持物理尺寸在所述传输线中行进的电信号的波长以下的区段数。
4.如任一上述权利要求中所述的传输线，其中电感线圈包括在大约I皮亨与10纳亨之间的电感。
5.如任一上述权利要求中所述的传输线，其中电感线圈包括小于50欧姆的串联电阻。
6.如任一上述权利要求中所述的传输线，其中所述传输线包括至少I千兆字节/秒的带宽。
7.如任一上述权利要求中所述的传输线，还包括延迟机构，其被配置为匹配在所述电路径上行进的电信号与在所述光学路径上行进的光学信号之间的相位。
8.如权利要求7中所述的传输线，其中所述延迟机构包括插入所述光学路径中的光学延迟线。
9.如权利要求7中所述的传输线，其中所述延迟机构包括用于比较所述电信号和所述光学信号的相位的延迟锁定回路。
10.如权利要求9中所述的传输线，还包括耦合到区段电容的变容器，其中由所述延迟锁定回路控制所述变容器。
11.一种用于实施宽带传输线的方法，所述方法包括 通过在宽带传输线的相邻区段之间连接分离电感器来平衡所述传输线的光学调制器的电容，以获得所述传输线的特征阻抗；以及 调谐控制电路以匹配在所述传输线中行进的电信号与光学信号之间的速度。
12.如权利要求11中所述的方法，还包括在集成电路的多个金属层中形成所述电感器以便减小串联电阻并增大电感。
13.如权利要求11或12中所述的方法，其中调谐包括在所述光学路径中插入光学延迟线。
14.如权利要求11或12中所述的方法，其中调谐包括使用延迟锁定回路来比较所述电信号与所述光学信号的相位。
15.如权利要求11或12中所述的方法，其中调谐包括调整耦合到区段电容的变容器。
16.如权利要求11中所述的方法，还包括使用光学分接电路监视所述光学路径中的光学信号。
全文摘要
一种传输线(304)，包括形成电路径(203)的多个区段以及通过所述区段的连续光学波导(205)。多个分离电感器(102)被形成在相邻区段之间并连接所述相邻区段。所述电感器(102)被形成在集成电路的多个金属层中，以便平衡包含在所述光学波导(205)上形成的所述传输线(304)的光学调制器的电容，由此获得所述传输线的预定特征阻抗。使用延迟锁定回路(305)控制变容器(302)以匹配光学信号和电信号的延迟。可以使用光学波导区段(210)来匹配所述延迟。
文档编号G02F1/025GK102906632SQ201180024639
公开日2013年1月30日 申请日期2011年5月24日 优先权日2010年6月8日
发明者A·雷利亚科夫, C·L·朔, W·M·格林, Y·弗拉索夫 申请人:国际商业机器公司