专利名称：一种背向点针显微镜系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种微光显微镜(PEM)系统，特别是涉及一种用于指示PEM机台背向点针位置的显微镜系统。
背景技术：
在微电子技术领域，出于缩减产品成本的需要和高端产品的高度集成化需求，芯片的尺寸不断减小，导致芯片焊垫(pad)的尺寸和间距也在不断减小。微光显微镜(PEM)系统是应用于微电子器件定位和分析的有效工具。目前在PEM机台背向定位点针过程中，使用一套折返式背向点针显微镜系统区分探针和焊垫的位置。该显微镜系统原理如图I所示，在该系统中，光源为机台自带光源，经由光路末端的折射镜折射后照射在芯片表面，返回的光线经由原路返回且被光路末端的影像传感器收集成像。实际使用时，该系统显示效果较差，特别是在应用于小尺寸的芯片时很难区分焊垫位置和探针位置，不能满足背向定位点针的需求。
实用新型内容针对现有技术的缺陷，本实用新型的目的在于提高背向点针显示效果，使操作人员能在背向点针时更清晰地分辨焊垫分布和探针位置。为了实现上述目的，本实用新型提出一种背向点针显微镜系统，包括机台自带光源、设置在光路末端的折射镜、设置在另一光路末端的影像传感器、加装在载物台下方的附加光源。进一步地，在上述背向点针显微镜系统中，所述附加光源与折射镜、影像传感器形成暗场显微镜效果。进一步地，在上述背向点针显微镜系统中，所述附加光源照射角度、位置以及光强均可调整。进一步地，在上述背向点针显微镜系统中，所述附加光源位于芯片下方侧向位置。在上述系统中，机台自带光源发出的光线经由光路末端的折射镜折射后照射在芯片表面，返回的光线经由原路返回且被另一光路末端的影像传感器收集成像，形成明场显微效果。同时，加装在载物台下方的侧向附加光源的照射角度、位置以及光强均可调整，经调整后其发出的光线直接照射在芯片表面，经芯片表面折射后照射在折射镜上，经折射镜再次折射被另一光路末端的影像传感器同时收集成像，形成暗场显微效果。与现有技术相比，附加光源的光线经芯片和反射镜反射形成的暗场显微镜效果能与机台自带光源形成的明场显微镜效果共同发生作用，提高背向点针显示效果，使工作人员有效区分焊垫分布以及探针位置，顺利完成后续点针步骤。上述光发射显微镜系统的附加光源最好位于芯片下方侧向位置，与芯片表面成一定角度，以获得明显的暗场显微镜效果。
图I为现有技术中背向点针显微镜系统工作原理图；图2为本实用新型的工作原理图；图3为使用本实用新型前后效果对比图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，
以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。如图2所示，本实用新型提供一种背向点针显微镜系统，包括机台自带光源I、设置于光路末端的反射镜2、设置于另一光路末端的影像传感器4、加装于载物台下方与芯片3成一定角度的侧向附加光源5。工作人员在背向点针时，开启机台自带光源及侧向附加光源。机台自带光源I发出的光线经由光路末端的折射镜2折射后照射在芯片3的表面，返回的光线经由原路返回且被另一光路末端的影像传感器4收集成像，形成明场显微镜效果。同时，工作人员调节侧向附加光源5的角度、位置及光强，使侧向附加光源5发出的光线射向芯片表面，经芯片3表面折射后照射在折射镜2上，经折射镜2再次折射被另一光路末端的影像传感器4同时收集成像，形成暗场显微镜效果。本实用新型特别适用于在PEM机台上的背向点针操作过程。因芯片焊盘边缘存在高低落差，探针和芯片表面也存在高低差别，使用本实用新型提供的背向点针显微镜系统，在明场显微镜效果和暗场显微镜效果的共同作用下，能清晰地显示焊盘分布和探针位置，从而可以顺利完成后续的点针等步骤。以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围；如果不脱离本实用新型的精神和范围，对本实用新型进行修改或者等同替换，均应涵盖在本实用新型权利要求的保护范围当中。
权利要求1.一种背向点针显微镜系统，包括机台自带光源，设置在光路末端的折射镜，设置在另一光路末端的影像传感器，加装在载物台下方的附加光源。
2.根据权利要求I所述的背向点针显微镜系统，其特征在于附加光源与折射镜、影像传感器形成暗场显微镜效果。
3.根据权利要求I或2所述的背向点针显微镜系统，其特征在于附加光源照射角度、位置以及光强均可调整。
4.根据权利要求3所述的背向点针显微镜系统，其特征在于附加光源位于芯片下方侧向位置。
专利摘要本实用新型公开了一种利用暗场显微作用提高背向点针显示效果的背向点针显微镜系统，包括机台自带光源、设置在光路末端的折射镜、设置在另一光路末端的影像传感器、加装在载物台下方的附加光源。采用本实用新型，能有效提高背向点针显示效果，使操作人员更准确高效地完成后续点针步骤。
文档编号G02B21/12GK202794691SQ20122023536
公开日2013年3月13日 申请日期2012年5月24日 优先权日2012年5月24日
发明者刘永祥, 宋朝刚, 孔亮 申请人:和舰科技(苏州)有限公司