感光性组合物与光刻胶的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种感光性组合物与光刻胶。光刻胶由一感光性组合物经配制而形成。感光性组合物包括一粘合剂(binder agent)、一第一光反应单体(photomonomer)以及一光引发剂。粘合剂的化学结构具有表示如下的重复单元(repeating unit)I：其中R1为H或CH3，R2为C2～C4的烷基，n为2～40的整数，A为H或第一光反应单体(photomonomer)具有至少一乳酸寡聚物(lactic oligomer)及2个以上的不饱和丙烯酸酯系官能基，以粘合剂的固含量为100重量份为基准，第一光反应单体约为25～95重量份。光引发剂以粘合剂的固含量为100重量份为基准，光引发剂约为0.5～15重量份。
【专利说明】感光性组合物与光刻胶
【技术领域】
[0001] 本发明涉及感光性组合物及光刻胶（photoresist)，特别是有关于由生质材料形 成的感光性组合物及光刻胶。
【背景技术】
[0002] 电子产业的光刻（lithogra地y)工艺例如印刷电路板工艺会使用大量的光刻胶。 一般的光刻胶，比方说负型光刻胶（negative type photoresist),主要全是由石油化学品 例如丙帰酸醋（压克力，acrylate)系列原料所形成。当光刻胶在光刻程序例如显影、剥膜 步骤等后，会成为无法回收使用的废弃物。该种废弃物每年有数千吨的产生量，且多是W掩 埋或焚化等的方式处理。因此，光刻胶不但非常耗费石油材料，并且对自然环境有不良的影 响。
【发明内容】
[0003] 本发明涉及一种感光性组合物。感光性组合物与光刻胶主要是采用具有可生物分 解性的生质材料形成，因此可再生使用，且不会对自然环境造成负荷。
[0004] 根据本发明的一实施例，提出一种感光性组合物。感光性组合物包括一丙帰酸醋 系粘合剂（ac巧lie binder agent)、一第一光反应单体（photomonomer) W及一光引发剂。 第一光反应单体具有至少一乳酸寡聚物及2个W上的不饱和丙帰酸醋系官能基，W粘合剂 的固含量为100重量份为基准，第一光反应单体约为25?95重量份。W粘合剂的固含量 为100重量份为基准，光引发剂约为0. 5?15重量份
[0005] 根据本发明的另一实施例，提出一种感光性组合物。感光性组合物包括一粘合剂 化inder agent)、一第一光反应单体W及一光引发剂。粘合剂的化学结构具有表示如下的 重复单元（repeating unit) I :
[0006]
【权利要求】
1. 一种感光性组合物，包括： 一丙帰酸醋系粘合剂； 一第一光反应单体，具有至少一乳酸寡聚物及2个W上的不饱和丙帰酸醋系官能基， W所述粘合剂的固含量为100重量份为基准，所述第一光反应单体约为25?95重量份；W 及 一光引发剂，W所述粘合剂的固含量为100重量份为基准，所述光引发剂约为0. 5?15 重量份。
2. -种感光性组合物，包括： 一粘合剂，所述粘合剂的化学结构具有表示如下的重复单元I :
-C-Rq 其中Ri为H或CH3，R2为C2?C4的焼基，n为2?40的整数，A为H或 & . 一第一光反应单体，具有至少一乳酸寡聚物及2个W上的不饱和丙帰酸醋系官能基， W所述粘合剂的固含量为100重量份为基准，所述第一光反应单体约为25?95重量份；W 及 一光引发剂，W所述粘合剂的固含量为100重量份为基准，所述光引发剂约为0. 5?15 重量份。
3. 权利要求2所述的感光性组合物，其中所述第一光反应单体的化学结构W化学式表 示女口下：
其中Ri为H或CHs，n为2?40的整数，m为2?6的整数，B为多官能基主体。
4. 权利要求3所述的感光性组合物，其中所述第一光反应单体的化学结构W化学式表 示如下：
其中n为2?40的整数。
5. 权利要求2所述的感光性组合物，其中所述光引发剂包括2, 2-二甲氧基-2-苯基苯 己丽、2, 4-二己基硫杂意丽、异丙基硫杂意丽、2-甲基-1-[4-(甲基-硫代）苯]-2-吗晰 基-1-丙丽或二苯甲丽。
6. 权利要求5所述的感光性组合物，还包括一增感剂，所述增感剂包括苯甲酸-2-二甲 胺己醋、对二甲胺苯甲酸己醋或4, 4'-双（二甲氨基）二苯丽，且W所述粘合剂的固含量为 100重量份为基准，所述增感剂约为0. 1?5重量份。
7. 权利要求2所述的感光性组合物，其中所述粘合剂由一粘合组合物经聚合反应而形 成，所述粘合组合物包括一乳酸寡聚物，所述粘合组合物的乳酸寡聚物占所述粘合剂的固 含量约为10?90重量百分比。
8. 权利要求2所述的感光性组合物，还包括一第二光反应单体，其中所述第二光反应 单体包括五丙帰酸轻基双异戊五醋、六丙帰酸双异戊六醋、六丙帰酸芳氨基甲酸己醋、H丙 帰酸H甲醋丙焼、己氧化H丙帰酸H甲醋丙焼、H甲基丙帰酸H甲醋丙焼、己氧化H甲基丙 帰酸H甲醋丙焼、H丙帰酸轻基异戊H醋、H甲基丙帰酸轻基异戊H醋、四丙帰酸异戊四醋 或四甲基丙帰酸异戊四醋。
9. 权利要求2所述的感光性组合物，其中所述粘合剂的化学结构还具有表示如下的重 复单元II :
其中Ri为H或細3。
10. 权利要求9所述的感光性组合物，其中所述粘合剂的化学结构还具有表示如下的 重复单元III ;
其中Ri为H或CHs，R2为。?C4的焼基。
11. 一种光刻胶，其中所述光刻胶由权利要求1或2所述的感光性组合物配制而形成。
【文档编号】G03F7/033GK104423166SQ201310730591
【公开日】2015年3月18日 申请日期:2013年12月26日 优先权日:2013年8月23日
【发明者】林显光, 陈素梅, 郑昭德, 刘玉玲, 陈素惠 申请人:财团法人工业技术研究院