一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置的制作方法

技术特征：
1.一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置，包括内镜框(2)，其特征在于，还包括外镜框(3)和连接螺钉(4)；所述内镜框(2)的圆周均布多个圆柱形线性导向机构(203)，每个圆柱形线性导向机构(203)上设置有柔性支撑结构，多个柔性支撑结构的支撑面在同一水平面上；透镜(1)下表面通光孔径外的支撑面分别与多个柔性支撑结构胶结固定，所述内镜框(2)和所述外镜框(3)通过连接螺钉(4)固定，所述内镜框(2)和外镜框(3)同轴；所述圆柱形线性导向机构(203)为对称平行四边形机构，所述圆柱形线性导向机构(203)包括曲梁、柔性支撑结构、动平台(206)和静平台(207)；所述柔性支撑结构位于所述动平台(206)上，所述动平台(206)上端和下端分别通过两个曲梁与所述静平台(207)连接，所述静平台(207)与内镜框(2)的连接法兰(201)下表面固定连接，所述曲梁具有轴向柔度。2.根据权利要求1所述的一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置，其特征在于，所述内镜框(2)和所述外镜框(3)通过连接螺钉(4)固定具体为：所述内镜框(2)上的连接法兰(201)均布多个螺钉连接孔(202)，所述外镜框(3)的上法兰(301)与内镜框(2)的连接法兰(201)相对应位置设置有螺钉连接孔，内镜框(2)的连接法兰(201)上的螺钉连接孔(202)和外镜框(3)的上法兰(301)上的螺钉连接孔通过连接螺钉(4)固定。3.根据权利要求1所述的一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置，其特征在于，所述曲梁为圆柱形柔性弹片(204)。4.根据权利要求1所述的一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置，其特征在于，所述柔性支撑结构为柔性支撑脚(205)或柔性铰链。5.根据权利要求1所述的一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置，其特征在于，所述圆柱形线性导向机构(203)的个数为偶数个。6.根据权利要求1所述的一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置，其特征在于，所述圆柱形线性导向机构(203)和柔性支撑结构为整体式的柔性结构。7.一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置，包括内镜框(2)，其特征在于，还包括外镜框(3)和连接螺钉(4)；所述内镜框(2)的圆周均布多个圆柱形线性导向机构(203)，每个圆柱形线性导向机构(203)上设置有柔性支撑结构，多个柔性支撑结构的支撑面在同一水平面上；透镜(1)下表面通光孔径外的支撑面分别与多个柔性支撑结构胶结固定，所述内镜框(2)和所述外镜框(3)通过连接螺钉(4)固定，所述内镜框(2)和外镜框(3)同轴；所述圆柱形线性导向机构(203)为双平行四边形机构，所述圆柱形线性导向机构(203)包括曲梁、柔性支撑结构、动平台(206)、静平台(207)和中间平台(208)；所述柔性支撑结构位于所述动平台(206)上，所述动平台(206)通过两个曲梁与中间平台(208)连接，所述中间平台(208)上端和下端分别通过一个曲梁与所述静平台(207)连接，所述静平台(207)与内镜框(2)的连接法兰(201)下表面固定连接，所述曲梁具有轴向柔度。8.根据权利要求7所述的一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置，其特征在于，所述内镜框(2)和所述外镜框(3)通过连接螺钉(4)固定具体为：所述内镜框(2)上的连接法兰(201)均布多个螺钉连接孔(202)，所述外镜框(3)的上法兰(301)与内镜框(2)的连接法兰(201)相对应位置设置有螺钉连接孔，内镜框(2)的连接法兰(201)上的螺钉连接孔(202)和外镜框(3)的上法兰(301)上的螺钉连接孔通过连接螺钉(4)固定。9.根据权利要求7所述的一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置，其特征在于，所述曲梁为圆柱形柔性弹片(204)。10.根据权利要求7所述的一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置，其特征在于，所述柔性支撑结构为柔性支撑脚(205)或柔性铰链。11.根据权利要求7所述的一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置，其特征在于，所述圆柱形线性导向机构(203)的个数为偶数个。12.根据权利要求7所述的一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置，其特征在于，所述圆柱形线性导向机构(203)和柔性支撑结构为整 体式的柔性结构。