8度入射角滤光片的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种8度入射角滤光片，其特征在于：它是由玻璃基板、高反膜和增透膜构成，高反膜设在玻璃基板的一侧表面，增透膜设在玻璃基板的另一侧表面,所述高反膜是由64个五氧化二铌反射介质层和64个二氧化硅反射介质层交替叠加而成的128层结构，第1层至第127层的奇数层为五氧化二铌反射介质层，第2层至第128层的偶数层为二氧化硅反射介质层。由于采用上述的结构形式，本实用新型分光片通过膜层的材料、厚度和叠放方式以及层数，有效地改善入射光束发散角对器件滤波特性的影响，在0度入射和8度入射时候Ripple变化小，8度入射时可以做到Ripple小于0.13dB2；通过材料的选择实现高低温稳定性。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种滤光片，特别是一种8度入射角滤光片。 8度入射角滤光片
【背景技术】
[0002] 随着信息产业的全面普及带来全球数据量的爆发性增长，对通信网络传输容量提 出了越来越高的要求，整个通信网络都急需针对这些趋势推出针对性解决方案。同时，随 着节能减排、绿色环保成为世界产业届的必由之路，能耗降低也是迫在眉睫。8度入射产品 滤光片是专门针对这一方案研发的滤光片。目前，8度产品主要运用在40G QSFP+系列产 品，这些产品能够广泛应用于云计算、数据中心、企业网等应用领域。这些产品具有如下特 性（1)体积小大容量：采用半导体封装技术，内置4个激光器、探测器，可以支持客户高密 度单板的需求（2)功耗低：QSFP+SR4 1W;QSFP+LR4 without CDR 2.5W，with CDR 3.5W ( 3.)产品系列全：AOC (有源光纤光缆组件)、多模300m、2km、10km、40km等多种传输距离， 可以满足客户各种应用场景的需求4.性价比高：超高的光学耦合效率和良好的产品性价 t匕。目前，8D入射角度滤光片商用普及，可以实现器件小型化和低成本生产，8D入射角的 CWDM滤光片的需求量迅速增大，但现有的产品性能无法满足大角度入射时对光学性能的要 求。
【发明内容】
[0003] 本实用新型的目的是克服现有技术中的不足，提供一种光学性能好的8度入射角 滤光片。
[0004] 为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：
[0005] 8度入射角滤光片，其特征在于：它是由玻璃基板、高反膜和增透膜构成，高反膜 设在玻璃基板的一侧表面，增透膜设在玻璃基板的另一侧表面，所述高反膜是由64个五氧 化二铌反射介质层和64个二氧化硅反射介质层交替叠加而成的128层结构，第1层至第 127层的奇数层为五氧化二铌反射介质层，第2层至第128层的偶数层为二氧化硅反射介质 层。
[0006] 所述偶数层中，其中，第2层的厚度为677. 92um，第128层的厚度为356. 78um，其 余偶数层的厚度均为225. 99um ;所述奇数层中，第3层的厚度为462. 24um，第17层的厚度 为616. 32um，第127层的厚度为23. 33um，其余奇数层的厚度均为154. 08um。
[0007] 所述增透膜是由1个五氧化二钽反射介质层和1个二氧化硅反射介质层构成，第1 层为五氧化二钽反射介质层，紧贴在玻璃基板的表面，第2层为二氧化硅反射介质层，紧贴 在第1层的表面。
[0008] 所述增透膜的厚度为390. 2um。
[0009] 所述增透膜中，第一层的厚度为52. 4um，第二层的厚度为337. 8um。
[0010] 本实用新型的有益效果：由于采用上述的结构形式，本实用新型分光片通过膜层 的材料、厚度和叠放方式以及层数，有效地改善入射光束发散角对器件滤波特性的影响；优 化的膜系设计，产品在0度入射和8度入射时候Ripple变化小，8度入射时可以做到Ripple 小于0. 13dB2 ;通过材料的选择实现高低温稳定性。
【专利附图】
【附图说明】
[0011] 下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细说明：
[0012] 图1为本实用新型的结构示意图。
[0013] 图中：1、玻璃基板；2、高反膜；3、增透膜。
【具体实施方式】
[0014] 如图1所示，8度入射角滤光片，其特征在于：它是由玻璃基板1、高反膜2和增透 膜3构成，高反膜2设在玻璃基板1的一侧表面，增透膜3设在玻璃基板1的另一侧表面， 所述高反膜2是由64个五氧化二铌反射介质层和64个二氧化硅反射介质层交替叠加而成 的128层结构，第1层至第127层的奇数层为五氧化二铌反射介质层，第2层至第128层 的偶数层为二氧化硅反射介质层。所述偶数层中，其中，第2层的厚度为677. 92um，第128 层的厚度为356. 78um，其余偶数层的厚度均为225. 99um ;所述奇数层中，第3层的厚度为 462. 24um，第17层的厚度为616. 32um，第127层的厚度为23. 33um，其余奇数层的厚度均为 154. 08um。
[0015] 所述增透膜是由1个五氧化二钽反射介质层和1个二氧化硅反射介质层构成，第1 层为五氧化二钽反射介质层，紧贴在玻璃基板的表面，第2层为二氧化硅反射介质层，紧贴 在第1层的表面。所述增透膜的厚度为390. 2um。所述增透膜中，第一层的厚度为52. 4um， 第二层的厚度为337. 8um。
[0016] 工作原理：入射光束的发散角会影响角度调谐窄带滤光片的透射特性，出现透射 通带变小及发散损耗增大的情况，且该现象随着入射角度的增大而更加明显。分析了出现 这些现象的原因，并根据拉赫不变量定理设计了扩束棱镜组来压缩入射光束的发散角。并 利用二次滤波技术进一步提高了透射光谱的矩形度和稳定性。根据该方法设计了针对CWDM 波分复用系统角度调谐窄带滤光片的光学整形系统，实验结果表明，该8度入射角滤光片 能有效地改善入射光束发散角对器件滤波特性的影响。优化的膜系设计，产品在0度入射 和8度入射时候Ripple变化小，8度入射时可以做到Ripple小于0· 13dB2、通过匹配设计， 在角度变化时候波长偏移量小，降低角度的敏感性，提高组装器件时候良品率；通过材料的 选择实现高低温稳定性。
[0017] 以上所述是本实用新型的优选实施方式而已，当然不能以此来限定本实用新型之 权利范围，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，对本实用新型的技术方案进行 修改或者等同替换，都不脱离本实用新型技术方案的保护范围。
【权利要求】
1. 一种8度入射角滤光片，其特征在于：它是由玻璃基板、高反膜和增透膜构成，高反 膜设在玻璃基板的一侧表面，增透膜设在玻璃基板的另一侧表面，所述高反膜是由64个五 氧化二铌反射介质层和64个二氧化硅反射介质层交替叠加而成的128层结构，第1层至第 127层的奇数层为五氧化二铌反射介质层，第2层至第128层的偶数层为二氧化硅反射介质 层。
2. 根据权利要求1所述的8度入射角滤光片，其特征在于：所述偶数层中，其中，第2 层的厚度为677. 92um，第128层的厚度为356. 78um，其余偶数层的厚度均为225. 99um ;所 述奇数层中，第3层的厚度为462. 24um，第17层的厚度为616. 32um，第127层的厚度为 23. 33um，其余奇数层的厚度均为154. 08um。
3. 根据权利要求1或2所述的8度入射角滤光片，其特征在于：所述增透膜是由1个 五氧化二钽反射介质层和1个二氧化硅反射介质层构成，第1层为五氧化二钽反射介质层， 紧贴在玻璃基板的表面，第2层为二氧化硅反射介质层，紧贴在第1层的表面。
4. 根据权利要求3所述的8度入射角滤光片，其特征在于：所述增透膜的厚度为 390. 2um。
5. 根据权利要求4所述的8度入射角滤光片，其特征在于：所述增透膜中，第一层的厚 度为52. 4um，第二层的厚度为337. 8um。
【文档编号】G02B5/20GK203849443SQ201420277802
【公开日】2014年9月24日 申请日期:2014年5月28日 优先权日:2014年5月28日
【发明者】王朋飞 申请人:奥普镀膜技术（广州）有限公司