专利名称：一种检测反射镜入射角的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及光学检测技术，具体涉及一种检测反射镜入射角的装置。
背景技术：
光学装调技术在光学领域占有非常关键的地位，它是实现光学仪器总体目标的最后一道工序，它综合了设计、检验与加工的理论和工艺。 -台光学仪器的性能好坏在很大程度上决定于光学装调工艺，而光学检测技术则相当于光学装调工艺的眼睛和耳朵，只有检测精度足够高才有可能达到足够好的装调水平。 装调工艺中，经常通过检测反射镜入射角的方法来确定装调系统，反射镜通常用于改变光轴方向，得到相应的入射角，例如将光轴方向改变90度，此时要求反射镜的入射角为45度。如何在检测反射镜的入射角的同时保证高的检测精度，这些问题都是光学装调时经常遇到的。对于这一问题的解决方法,常规的思路是直接通过检测反射镜的入射光与反射光的关系来判断入射角的大小。但实际操作时直接检测入射光束的反射角非常困难，而且精度也很低。
实用新型内容为解决上述技术问题,本实用新型提供一种检测反射镜入射角的装置,本装置通过引入五角分光棱镜，将检测光束在反射镜反射角的问题转换为检测两束反射光之间夹角的问题，不但简化了检测过程，而且具有很高的检测精度。 本实用新型提供的一种检测反射镜入射角的装置，包括激光器、五角分光棱镜、反射镜以及测角仪器,所述五角分光棱镜置于所述激光器和所述反射镜之间；所述五角分光棱镜有入射面和反射面；所述激光器产生的入射光线射入所述的入射面，并且所述五角分光棱镜可以将所述的入射光线分为透射光线和经所述反射面反射后射出的第一反射光线；所述透射光线能够被所述反射镜反射产生第二反射光线；所述测角仪器能够测得所述第一反射光线和所述第二反射光线之间的夹角。 在上述装置中，产生的所述透射光线和所述第一反射光线相互垂直。所述五角分光棱镜随光轴截面内的旋转不敏感，所述的五角分光棱镜的安装误差为3度。所述的反射镜的入射角范围大于0度、小于90度。所述第一反射光线和所述第二反射光线产生的光强在所述测角仪器的测量范围之内。所述反射镜入射角的大小可以通过所述第一反射光线和所述第二反射光线之间的夹角算得。 本实用新型所述的测角仪器范畴很广，例如哈特曼传感器、内调焦望远镜、自准直仪等，都可以满足本实用新型的功能需求。相对于现有直接测量反射镜入射角的方法，本实用新型所提供一种检测反射镜入射角的装置，由于引入两束出射光严格垂直的五角分光棱镜以及测校精度很高的测角仪器，因此具有测量精度高、操作简单等特点。
图1本实用新型提出的一种检测反射镜入射光的装置。[0009] 图2本实用新型所使用的五角分光棱镜的示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，
以下结合附图对本实用新型
作进-一步的详细描述。 如图1所示，一种检测反射镜入射角的装置，包括激光器1、五角分光棱镜2、反射镜3以及测角仪器4,五角分光棱镜2置于激光器1和反射镜3之间；五角分光棱镜2有入射面21和反射面22,如图2的五角分光棱镜所示；激光器1产生的入射光线5射入的入射面21,并且五角分光棱镜2可以将入射光线5分为透射光线6和经反射面22反射后射出的第一反射光线7 ;透射光线6能够被反射镜3反射产生第二反射光线8 ;测角仪器4能够测得第一反射光线7和第二反射光线8之间的夹角。 在上述装置中，产生的透射光线6和第一反射光线7相互垂直。五角分光棱镜1随光轴截面内的旋转不敏感，五角分光棱镜1的安装误差为3度。反射镜3的入射角范围大于0度、小于90度。第一反射光线7和第二反射光线8产生的光强在测角仪器4的测量范围之内。反射镜3入射角的大小可以通过第一反射光线7和第二反射光线8之间的夹角算得。 本实施例中，五角分光棱镜2的第--反射光7与入射光5的夹角为90。 ±2〃 ，而透射光6与入射光5的夹角为180° ±2"，因此第一反射光7与透射光6的夹角可控制在90° ±4〃 。并且，第一反射光7与透射光6的夹角随五角分光棱镜2在光轴截面内的旋转不敏感，因此安装简单。 为使本实用新型更容易理解和实现，
以下结合附图，对检测反射镜入射角检测装置的使用方法进行说明 如图1所示，激光器1是经过扩束准直的氦氖激光器，五角分光棱镜2为某公司的SP501精密五角分光棱镜，它的两束出射光在光轴截面内的角度误差可达1〃 ，在垂直光轴截面内的角度误差为1';被检测的反射镜3为普通反射镜；作为测角仪器4的是JZC型自准直平行光管，其测角精度为l"。其检测步骤如下 1)先利用水平仪将激光器1的基座与五角分光棱镜2的基座调至水平，然后点亮激光器1 ; 2)从激光器发出的光束5从五角分光棱镜的入射面21射入，被五角分光棱镜2分成透射光6和经反射面22反射形成的反射光7 ; 3)调整好反射镜3，使得透射光6被反射镜3反射形成反射光束8 ;[0019] 4)光束7和光束8均进入测角仪器4的自准直平行光管并分别成像，若两个像完全重合，则说明两束光7和8相互平行，也就是说光束8和光束6相互垂直，即表示反射镜3的入射角为45度；若光束7和8在测角仪器4内部所成的像不重合，则说明两束光不平行,根据两个所成像的间距和测角仪器4的焦距可计算出光束7和8的夹角，继而计算出入射光线6与反射镜3的夹角值。 在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下还可以构成许多有很大差别的实施例。应当理解，除了如所附的权利要求所限定的，本实用新型不限于在说明书中所述的具体实施例。
权利要求一种检测反射镜入射角的装置，包括激光器、五角分光棱镜、反射镜以及测角仪器，其特征在于，所述五角分光棱镜置于所述激光器和所述反射镜之间；所述五角分光棱镜有入射面和反射面；所述激光器产生的入射光线射入所述的入射面，并且所述五角分光棱镜可以将所述的入射光线分为透射光线和经所述反射面反射后射出的第一反射光线；所述透射光线能够被所述反射镜反射产生第二反射光线；所述测角仪器能够测得所述第一反射光线和所述第二反射光线之间的夹角。
2. 根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，产生的所述透射光线和所述第一反射光线相互垂直。
3. 根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述五角分光棱镜随光轴截面内的旋转不敏感，所述的五角分光棱镜的安装误差为3度。
4. 根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述的反射镜的入射角范围大于()度、小于90度。
5. 根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一反射光线和所述第二反射光线产生的光强在所述测角仪器的测量范围之内。
专利摘要本实用新型提供的一种检测反射镜入射角的装置，包括激光器、五角分光棱镜、反射镜以及测角仪器，所述五角分光棱镜置于所述激光器和所述反射镜之间；所述五角分光棱镜有入射面和反射面；所述激光器产生的入射光线射入所述的入射面，并且所述五角分光棱镜可以将所述的入射光线分为透射光线和经所述反射面反射后射出的第一反射光线；所述透射光线能够被所述反射镜反射产生第二反射光线；所述测角仪器能够测得所述第一反射光线和所述第二反射光线之间的夹角。本实用新型通过引入五角分光棱镜，将检测光束反射镜入射角的问题转换为检测光束夹角之间的问题，不但简化了检测过程，而且具有很高的检测精度。
文档编号G01B11/26GK201532193SQ200920210088
公开日2010年7月21日 申请日期2009年9月25日 优先权日2009年9月25日
发明者张志平, 张晓文, 池峰, 肖鹏飞, 陈勇辉 申请人:上海微电子装备有限公司