1.一种金属线层小尺寸冗余图形的添加和处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤S01：提供一原始版图，根据设计规则将所述原始版图划分为多个区域，并计算各个区域金属线层的图形密度；
步骤S02：将原始版图的所有区域按图形密度高低划分为第一-第三图形密度区域；
步骤S03：从各个区域中选择满足添加小尺寸冗余图形条件的金属线；
步骤S04：对选出的位于第一-第三图形密度区域的不同金属线，按照图形尺寸由小到大、数量由少到多的不同方式，添加小尺寸冗余图形；
步骤S05：将各小尺寸冗余图形合并到原始版图的金属线层原始主图形中，进行光学邻近效应修正。
2.根据权利要求1所述的金属线层小尺寸冗余图形的添加和处理方法，其特征在于，所述图形密度的计算公式为：(区域内金属线主图形面积+区域内大冗余图形面积)/区域总面积。
3.根据权利要求1所述的金属线层小尺寸冗余图形的添加和处理方法，其特征在于，步骤S02中，根据计算得到的各个区域金属线层的图形密度，确定金属线层的最佳密度范围，其中，所述第一图形密度区域为图形密度超出最佳密度范围的区域，第二图形密度区域为图形密度在最佳密度范围内的区域，第三图形密度区域为图形密度不足最佳密度范围的区域。
4.根据权利要求3所述的金属线层小尺寸冗余图形的添加和处理方法，其特征在于，所述金属线层的最佳密度范围为30％-50％。
5.根据权利要求1所述的金属线层小尺寸冗余图形的添加和处理方法，其特征在于，步骤S03中，可以添加小尺寸冗余图形的金属线同时满足以下条件：金属线属于设计规则定义的小尺寸图形；金属线与接触孔或通孔相连；金属线与金属线之间的距离大于金属线的宽度；金属线与大冗余图形之间的距离符合可制造性设计的要求。
6.根据权利要求1所述的金属线层小尺寸冗余图形的添加和处理方法，其特征在于，针对位于第一图形密度区域的金属线，添加满足最小设计规则的一轮小尺寸冗余图形。
7.根据权利要求1所述的金属线层小尺寸冗余图形的添加和处理方法，其特征在于，针对位于第二图形密度区域的金属线，添加两轮小尺寸冗余图形，并满足以下条件：(宽度/距离)≤1，其中，宽度代表小尺寸冗余图形的宽度尺寸，距离代表小尺寸冗余图形之间的间距。
8.根据权利要求1所述的金属线层小尺寸冗余图形的添加和处理方法，其特征在于，针对位于第三图形密度区域的金属线，添加至少两轮小尺寸冗余图形，并满足以下条件：(宽度/距离)＞1，其中，宽度代表小尺寸冗余图形的宽度尺寸，距离代表小尺寸冗余图形之间的间距。
9.根据权利要求1、6、7或8所述的金属线层小尺寸冗余图形的添加和处理方法，其特征在于，所述小尺寸冗余图形的宽度、面积，小尺寸冗余图形之间的距离，小尺寸冗余图形与所有金属线之间的距离，小尺寸冗余图形与大冗余图形之间的距离，均需要满足金属线层设计规则的要求。