1.一种基于硅基光波导模式匹配的模式复用解复用器，
当该模式复用解复用器用作复用器时，该模式复用解复用器包括：n个宽度不同的条形波导为输入光波导，其中，第0输入光波导(10)为单模光波导，末端依次连接有锥形光波导(20)、多模光波导(30)、复用器输出端(40)，第n输入光波导(1n)末端依次连接有一个S形弯曲光波导结构(2n)、耦合区光波导(3n)、另一个S形弯曲光波导结构(4n)、一小段直波导(5n)、锥形波导(6n)，在上述说明中，n>0；
当该模式复用解复用器用作解复用器时，根据光路的可逆性，将上述复用器的输出端与输入端相互调换，即能够实现模式解复用，该模式复用解复用器成为解复用器。
2.根据权利要求1所述的基于硅基光波导模式匹配的模式复用解复用器，其中，所述多模光波导(30)的宽度(w0)为固定值，能够支持TE0、TE1、…、TEn多个本征模式。
3.根据权利要求1所述的模式复用解复用器，其中，所述锥形光波导(20)首尾两端的宽度分别为所述单模光波导的宽度、后面相连的所述多模光波导(30)宽度，所述锥形光波导(20)的锥度满足绝热条件，即光场经过所述锥形光波导之后不激发新的模式。
4.根据权利要求1所述的模式复用解复用器，其中，所述第n输入光波导(1n)的宽度(wn)由所述第0输入光波导(10)的宽度(w0)决定，所述第n输入光波导(1n)的宽度(wn)满足：所述第0输入光波导(10)中传输的TE1、…、TEn模式场的有效折射率分别与所述第n输入光波导(1n)中传输的TE0模式场的有效折射率相等。
5.根据权利要求1所述的模式复用解复用器，其中，
当该模式复用解复用器用作复用器时，复用器耦合区域的长度满足如下条件：所述耦合区光波导(3n)的基模TE0完全耦合到所述多模光波导(30)的高阶TE模式；
当该模式复用解复用器用作解复用器时，解复用器耦合区域的长度满足如下条件：所述多模光波导(30)的高阶TE模式完全耦合到所述耦合区光波导(3n)的基模TE0。
6.根据权利要求1所述的模式复用解复用器，其中，各个耦合区域之间相互错开一段距离，使得模式耦合时不会存在相互的串扰，提高模式转换效率。
7.根据权利要求1所述的模式复用解复用器，其中，耦合区域之后依次的所述另一个S形弯曲光波导结构(4n)、一小段直波导(5n)、锥形波导(6n)，可以防止耦合区域末端的光散射出去影响耦合效率。
8.根据权利要求1所述的模式复用解复用器，其中，所述锥形波导(6n)满足绝热条件，将剩余的光辐射出去而不影响消光比。
9.根据权利要求1所述的模式复用解复用器，能够满足TM模式的匹配条件，以实现TM模式的复用及解复用。
10.根据权利要求1所述的模式复用解复用器，采用顶硅为340nm的全刻蚀结构。