一种可调谐硅基微环滤波器的制作方法

文档序号:12269482阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种可调谐硅基微环滤波器,包括:直波导、二氧化硅层以及设置在二氧化硅层上的混合微环;混合微环包括混合波导和纯硅波导;混合波导包括:从上到下依次设置的石墨烯层、介电层、硅层和二氧化硅层;且在所述石墨烯层上分布有上电极,在所述硅层上分布有下电极,所述上电极和所述下电极均与外部的电源相连,通过在上电极和所述下电极之间施加电压,改变原子层内载流子的浓度,改变石墨烯的材料折射率,使得所述可调谐硅基微环滤波器的输出谐振波长发生改变,实现可调谐滤波。

技术研发人员:张敏明;周飞亚;刘德明
受保护的技术使用者:华中科技大学
文档号码:201610891779
技术研发日:2016.10.12
技术公布日:2017.02.22

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