一种独立支撑单元以及光学元件支撑装置的制作方法

本发明涉及光学领域，特别涉及一种独立支撑单元以及光学元件支撑装置。

背景技术：

随着高精度精密光学仪器的快速发展和应用，对光学系统成像质量要求也越来越高，尤其极紫外光刻技术(EUVL)应用，工作波长为13～ 14nm的波段，所以对光学元件加工、检测、支撑装调等技术要求比传统的光学系统要求更高。极紫外光刻系统要达到衍射极限分辨率的要求，系统波前偏差要小于λ/14，对于六镜系统而言单个反射面面形要求达到0.20nmrms。在如此极端苛刻的面形要求下，装配过程中的干扰因素对面形影响变得十分严重。

技术实现要素：

本发明旨在克服现有技术存在的缺陷，本发明采用以下技术方案：

一方面，本发明提供一种独立支撑单元，所述独立支撑单元包括：胶层、胶层支座、弹性元件、调整螺钉；所述调整螺钉设置在所述胶层支座上并从所述胶层支座上伸出；所述弹性元件套设在所述调整螺钉从所述胶层支座上伸出的部分上。

一些实施例中，所述弹性元件为蝶形弹簧

一些实施例中，所述胶层支座上设置有通孔，所述通孔设置在所述胶层支座的中心。

一些实施例中，所述调整螺钉为两个，且所述调整螺钉相对所述胶层支座中心对称。

一些实施例中，所述胶层通过粘胶设置在所述胶层支座上。

另一方面，本发明提供一种光学元件支撑装置，所述光学元件支撑装置包括如前所述的独立支撑单元，以及光学元件和支撑盘；所述独立支撑单元的胶层的另一侧设置在所述光学元件上；所述独立支撑单元的调整螺钉从胶层支座上伸出的部分与所述支撑盘配合，并将所述弹性元件压持在所述支撑盘和所述胶层支座之间。

一些实施例中，所述独立支撑单元为至少三个，且所述独立支撑单元在所支撑盘上均匀设置。

一些实施例中，所述独立支撑单元为6个，且所述独立支撑单元在所支撑盘上均匀设置。

一些实施例中，，所述支撑盘上设置有螺钉孔与所述支撑螺钉进行配合。

一些实施例中，所述胶层通过粘胶设置在所述光学元件上。

本发明的有益效果在于：本发明提供的独立支撑单元以及光学元件支撑装置能够实现主动面形调整，补偿外界因素对光学元件面形的影响，从而提高光学元件的精度。

附图说明

图1为根据本发明一个实施例的光学元件支撑装置的结构示意图；

图2为根据本发明另一个实施例的光学元件支撑装置剖视图；

图3为图2中A部分的放大视图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，而不构成对本发明的限制。

下面参考图1至图3来对本发明实施例的独立支撑单元以及光学元件支撑装置进行详细说明。

如图1至图3所示，本发明提供一种独立支撑单元3，所述独立支撑单元3包括：胶层31、胶层支座32、弹性元件33、调整螺钉34；所述调整螺钉34设置在所述胶层支座32上并从所述胶层支座32上伸出；所述弹性元件33套设在所述调整螺钉34从所述胶层支座32上伸出的部分上。

一些实施例中，所述弹性元件33为蝶形弹簧。

一些实施例中，所述胶层支座32上设置有通孔，所述通孔设置在所述胶层支座32的中心。

一些实施例中，所述调整螺钉34为两个，且所述调整螺钉34相对所述胶层支座32中心对称。

一些实施例中，所述胶层31通过粘胶设置在所述胶层支座32上。

另一方面，本发明提供一种光学元件支撑装置100，所述光学元件支撑装置100包括如前所述的独立支撑单元3，以及光学元件1和支撑盘2；所述独立支撑单元3的胶层31的另一侧设置在所述光学元件1上；所述独立支撑单元3的调整螺钉34从胶层支座32上伸出的部分与所述支撑盘2配合，并将所述弹性元件33压持在所述支撑盘2 和所述胶层支座32之间。

一些实施例中，所述独立支撑单元3为至少三个，且所述独立支撑单元3在所支撑盘2上均匀设置。

一些实施例中，所述独立支撑单元3为6个，且所述独立支撑单元3 在所支撑盘2上均匀设置。

一些实施例中，所述支撑盘2上设置有螺钉孔与所述调整 螺钉34进行配合。

一些实施例中，所述胶层31通过粘胶设置在所述光学元件1上。

下面以设置有六个独立支撑单元3个光学支撑装置为例进行具体说明。

如图1至3所示，在光学元件1和支撑盘2之间，设有六个按60°均匀设置在支撑光学元件的周向均匀分布的由胶层31、胶层支座32、蝶形弹簧33、调整螺钉34组成的一个独立支撑单元3。在每个独立支撑单元3中，胶层31一侧粘接在光学元件1上，另一侧粘接在胶层支座32上，调整螺钉34和蝶形弹簧33将胶层支座32压紧到支撑盘2上，通过扭转调整螺钉34 可以实现调整胶层31厚度。

分析其整体自由度，由胶层31、胶层支座32、蝶形弹簧33、调整螺钉 34组成的一个独立支撑单元3提供竖直方向的约束，六处独立支撑单元3 整体提供六个自由度约束，完成精确约束与支撑功能。对于六个支撑点中的每个支撑点局部来说，如图3所示，沿光学元件1径向转动方向(Mr方向)、沿光学元件轴向转动方向(Mz方向)、沿光学元件切向转动方向(Mt 方向)三个自由度依靠胶层31在相应每个方向上的结构柔性来实现，沿光学元件径向平动方向(Fr方向)自由度依靠由胶层31、胶层支座32、蝶形弹簧33、调整螺钉34组成的一个独立支撑单元3主动调整实现。

本发明的有益效果在于：本发明提供的独立支撑单元以及光学元件支撑装置能够实现主动面形调整，补偿外界因素对光学元件面形的影响，从而提高光学元件的精度。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

以上所述本发明的具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限定。任何根据本发明的技术构思所作出的各种其他相应的改变与变形，均应包含在本发明权利要求的保护范围内。