1.一种深紫外光学系统共焦对准装置，其特征在于，该装置包括小孔板(1)、准直物镜(2)、分束板(3)、共轭成像物镜(4)、深紫外光学系统(5)、深紫外光学系统会聚光束(501)、球面反射镜(6)、球面反射镜会聚光束(601)和夏克‐哈特曼波前传感器(7)；其中，小孔板(1)衍射产生球面波经准直物镜(2)后得到平行光束，经分束板(3)反射后被共轭成像物镜聚焦到深紫外光学系统(5)的物面上，经深紫外光学系统后得到深紫外光学系统会聚光束(501)，深紫外光学系统会聚光束(501)经球面反射镜(6)反射后得到球面反射镜会聚光束(601)，球面反射镜会聚光束(601)进入深紫外光学系统(5)和共轭成像物镜(4)后再一次成为平行光束，该平行光束透过分束板(3)后进入夏克‐哈特曼波前传感器(7)，在夏克‐哈特曼波前传感器探测器上形成光斑阵列，通过质心提取、波前重建后得到波像差信息。
2.根据权利要求1所述的一种深紫外光学系统共焦对准装置，其特征在于，所述共轭成像物镜(4)将所述深紫外光学系统(5)的出瞳成像到所述夏克‐哈特曼波前传感器(7)的微透镜阵列所在平面上。
3.根据权利要求1所述的一种深紫外光学系统共焦对准装置，其特征在于，所述深紫外光学系统会聚光束(501)和所述球面反射镜会聚光束(601)之间的位置关系包括理想共焦状态、偏移失调状态、倾斜失调状态和离焦失调状态。
4.一种深紫外光学系统共焦对准方法，其采用权利要求1‐3中任一项所述的装置，该方法包括如下步骤：
(1)在光学设计软件中建立深紫外光学系统共焦对准模型；
(2)确定深紫外光学系统共焦对准模型中失调量个数N及用于表达深紫外光学系统波像差的Zernike多项式项数M；
(3)确定失调量的变化范围；
(4)设置失调量变化步长，通过光学设计软件获得不同矢量状态下深紫外光学系统共焦对准模型中的Zernike多项式系数；
(5)采用MATLAB软件中的神经网络工具箱进行人工神经网络训练，建立Zernike多项式系数与失调量之间的关系；
(6)测量当前状态下深紫外光学系统波像差的Zernike多项式系数；
(7)根据所建立的Zernike多项式系数与失调量之间的关系及当前状态下测量得到的深紫外光学系统波像差Zernike多项式系数来计算失调量；
(8)根据计算得到的失调量大小进行深紫外光学系统和球面反射镜的共焦对准调整；
(9)计算共焦对准公差大小；
(10)根据公差大小判断共焦对准调整是否已满足共焦对准精度要求，如满足要求，则完成共焦对准调整，若不满足要求，则重复步骤(3)～(9)，直到共焦对准公差满足共焦对准精度要求。