技术总结
本发明公开了一种深紫外光学系统共焦对准装置与方法，该装置包括小孔板(1)、准直物镜(2)、分束板(3)、共轭成像物镜(4)、深紫外光学系统(5)、深紫外光学系统会聚光束(501)、球面反射镜(6)、球面反射镜会聚光束(601)和夏克‐哈特曼波前传感器(7)。本发明采用人工神经网络法进行深紫外光学系统与球面反射镜的共焦对准调整，利用共焦对准模型采集样本，通过神经网络训练建立Zernike多项式系数和系统失调量之间的关系实现快速、高精度的共焦对准。
技术研发人员：卢增雄;齐月静;王宇;苏佳妮;齐威;杨光华;周翊;孟庆宾
受保护的技术使用者：中国科学院光电研究院
文档号码：201611169770
技术研发日：2016.12.16
技术公布日：2017.05.10