技术总结
本发明公开了一种用于DMD无掩膜光刻机的高速图像曝光方法，优化DMD光刻曝光控制流程，避免了直接由上位机软件发送实时曝光图像到DMD进行曝光，而是利用存储设备对待加工图像进行缓存，通过DMD控制板代替上位机软件完成高速实时曝光图像处理，无需对每一帧DMD实时曝光图像都进行一次通信接口传输，减少传输数据量，有效地减小通信接口的传输速率对光刻效率的限制，在实际曝光阶段，只是从外部存储设备中直接获取曝光图像信息，并基于曝光图像信息自动控制DMD微镜阵列完成快速翻转，充分发挥硬件控制板的高速数据传输和强大的时序控制能力的优势，大大缩短了数据传输时间，提高DMD图像曝光速度，提升了DMD无掩膜光刻机的工作效率。
技术研发人员：邹见效;彭超;池文明;徐红兵;何健
受保护的技术使用者：电子科技大学
文档号码：201611179384
技术研发日：2016.12.19
技术公布日：2017.05.10