烘烤设备的制作方法

本发明涉及显示装置的制造领域，尤其涉及一种显示装置制作工艺过程中的一种烘烤设备。

背景技术：

液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)具有机身薄、省电、无辐射等众多优点，得到了广泛的应用，如：移动电话、个人数字助理(PDA)、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。现有液晶显示制作过程中，形成某一膜层时，通常需要利用光阻(Photo resist，PR)经过涂布、曝光、显影工艺形成光阻图形，其中在光阻涂布之后，还需要通过抽真空(VCD)单元抽出PR中的部分溶剂(Solvent)，再经过烘烤设备对其进行干燥和固化，去除经VCD环节后PR中残留的溶剂，以增强PR与基板的粘着性，从而达到更好的显影效果。

在烘烤设备的加热过程中，目前业界内主要是通过热风或者红外线辐射加热基板，烘烤设备的加热室(Chamber)内的温度通常在90°至120°之间，加热固化光阻的同时会使光阻中的溶剂挥发，从加热室取放基板时，由于出入口处的开关门(Shutter)的开启便会造成包含有挥发物的热气外泄，造成热量的浪费，另外，由于加热室外的温度较低，含挥发物的热气外泄到加热室旁的隔离室(Booth)内后，会造成热气在隔离室内聚集凝结而附着在Booth内壁上，久而久之附着在Booth内壁的光阻溶剂变干后会脱落而掉在基板上，造成基板缺陷，影响产品品质。

因此，有必要设计一种具有防止有机物挥发从加热室泄漏的烘烤设备，以解决上述问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种烘烤设备，可对加热室在开关门开启过程中散出热气进行回收，能够减少热气外流而造成的能量浪费，并能够降低基板被污染而造成缺陷的风险。

为实现上述目的，本发明提供一种烘烤设备，包括用于对基板进行加热的加热室、及用于对从加热室散出的热气进行回收的热量回收系统；

所述加热室的一侧壁上设有出入口，所述出入口上设有开关门；

所述热量回收系统包括设于所述出入口上方的盖板、及与所述盖板相连通的气流引出管道；

所述盖板包括从加热室的顶部上方向出入口所在侧壁外延伸的盖板本体，所述盖板本体的底部开设有贯穿盖板本体的气流引出槽；所述气流引出管道的一端与所述气流引出槽的顶部相接通；

使用过程中，当开关门被打开时，从加热室散出的热气向上进入盖板的气流引出槽中，并通过气流引出槽而进入气流引出管道中。

所述气流引出槽为倒置形的漏斗状。

所述气流引出槽的内侧壁上设有可拆卸的隔板。

所述气流引出管道上设有可拆卸的滤芯。

所述气流引出管道的另一端与加热室相连接。

所述热量回收系统还包括加热装置，用于对所述气流引出管道中经所述滤芯过滤后的气流在进入加热室之前进行加热。

所述加热室内通过热风方式加热所述基板。

所述盖板还包括从盖板本体远离所述加热室一端向下延伸的挡板。

所述加热室外侧设有隔离室，所述加热室与所述热量回收系统设于隔离室内，所述加热室通过出入口与所述隔离室相连通。

所述的烘烤设备用于液晶显示面板的制程中，对在基板上涂布的光阻进行干燥和固化。

本发明的有益效果：本发明的烘烤设备，包括加热室、及热量回收系统；所述加热室的一侧壁上设有出入口，所述出入口上设有开关门；所述热量回收系统包括设于所述出入口上方的盖板、及与所述盖板相连通的气流引出管道；通过在出入口上侧增加盖板，当开关门打开时，从加热室散出的热气向上进入盖板中，减少了大部分热气外流所造成的能量浪费，并避免了热气凝结在加热室外而造成外部环境污染，进而降低了基板被污染而造成缺陷的风险。

附图说明

为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图中，

图1为本发明烘烤设备的结构示意图；

图2为本发明烘烤设备中盖板本体的剖面结构示意图及盖板本体与气流引出管道的连接示意图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。

请参阅图1至图2，本发明提供一种烘烤设备，包括用于对基板进行加热的加热室1、及用于对从加热室1散出的热气进行回收的热量回收系统2；

所述加热室1的一侧壁上设有出入口11，所述出入口11上设有开关门12；

所述热量回收系统2包括设于所述出入口11上方的盖板21、及与所述盖板21相连通的气流引出管道22；

如图2所示，所述盖板21包括从加热室1的顶部上方向出入口11所在侧壁外延伸的盖板本体211，所述盖板本体211的底部开设有贯穿盖板本体211的气流引出槽212；所述气流引出管道22的一端与所述气流引出槽212的顶部相接通；

使用过程中，当开关门12被打开时，从加热室1散出的热气向上进入盖板21的气流引出槽212中，并通过气流引出槽212而进入气流引出管道22中。

本发明的烘烤设备，通过在出入口11上侧增加盖板21，当开关门12打开时，从加热室1散出的热气向上进入盖板21中，并通过气流引出槽212而进入气流引出管道22中，能够实现对散出热气的循环利用，减少了大部分热气外流所造成的能量浪费，并避免了热气凝结在加热室1外而造成外部环境例如加热室外的隔离室污染，进而降低了基板被污染而造成缺陷的风险。

具体地，所述加热室1外侧设有隔离室3，所述加热室1与所述热量回收系统2设于隔离室3内，所述加热室1通过出入口11与所述隔离室3相连通。

具体地，所述加热室1内通过热风加热方式加热所述基板。

具体地，所述气流引出槽212为倒置形的漏斗状，以利于从加热室1散出的热气向上进入盖板21中的。

具体地，从加热室1散出的热气通常附带较多的溶剂，例如，光阻中的溶剂，由于加热室1外的温度相比室内较低，因此在漏斗状的气流引出槽212的内壁遇冷极易凝结，所以在气流引出槽212内壁加装易拆卸型的隔板214，利于凝结的溶剂的清除。

具体地，所述气流引出管道22上设有可拆卸的滤芯221，用于将热气中的有机溶剂彻底过滤掉，以达到可利用回收热气的目的。

具体地，所述气流引出管道22的另一端与加热室1相连接。

具体地，所述热量回收系统2还包括加热装置23，用于对所述气流引出管道22中经所述滤芯221过滤后的气流在进入加热室1之前进行加热，使得从加热室1散出的热气经过回收及再次加热后加以利用，减少能量的浪费。

具体地，所述盖板21还包括从盖板本体211远离所述加热室1一端向下延伸的挡板213。

具体地，在本实施例中，所述烘烤设备用于液晶显示面板的制程中，对在基板上涂布的光阻进行干燥和固化。

综上所述，本发明的烘烤设备，包括加热室、及热量回收系统；所述加热室的一侧壁上设有出入口，所述出入口上设有开关门；所述热量回收系统包括设于所述出入口上方的盖板、及与所述盖板相连通的气流引出管道；通过在出入口上侧增加盖板，当开关门打开时，从加热室散出的热气向上进入盖板中，减少了大部分热气外流所造成的能量浪费，并避免了热气凝结在加热室外而造成外部环境污染，进而降低了基板被污染而造成缺陷的风险。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。