无序子结构光栅的制作方法

本实用新型涉及光栅设计技术领域，具体涉及无序子结构光栅。适用于光谱学、集成光电器件、通信、传感、液晶面板、太阳能电池和原子能等方面。

背景技术：

表面光学结构如光栅、光子晶体以及其它有序和无序的光学结构等可以调节入射光和反射光的带宽、偏振、角度和谐振等方面的性能，从而实现光耦合、光脉冲整形、光滤波、光栅反射器、光抗反射器、光吸收器和光谐振器等功能，在光谱学、集成光电器件、通信、传感、液晶面板、太阳能电池和原子能等方面具有广泛应用。

表面光学结构从呈现的外在特征来看有三种类型：第一种是有序结构周期性排列而成，如光栅和光子晶体等；第二种是随机无序的表面结构；第三种是结合整体有序和局部无序的混合结构，即无序子结构的长周期光栅。有序结构设计容易，制作工艺也相对成熟，但是存在角度谱和带宽有限等问题。无序结构可以改善角度谱和带宽上的性能，但是无序结构通常是在材料沉淀生长和图形刻蚀等制造过程中因工艺误差较大随机得到的，对于具体怎样设计无序结构，设计什么样的无序结构还需进一步研究，难于通过系统的方法设计，造成其应用受限。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对现有技术存在的上述问题，提供无序子结构光栅。

本实用新型的上述目的通过以下技术方案实现：

无序子结构光栅，包括多个一维无序子结构长周期光栅，一维无序子结构长周期光栅包括沿X轴周期排列的周期单元，周期单元包括沿X轴排列的各不相同的若干个子结构，各个一维无序子结构长周期光栅中的周期单元的子结构种类相同，同一一维无序子结构长周期光栅中各个的周期单元的结构相同，各个一维无序子结构长周期光栅沿Y轴排列获得二维无序子结构长周期光栅，二维无序子结构长周期光栅设置在光栅基质上。

如上所述的一维无序子结构长周期光栅为N种，N大于等于1，N种一维无序子结构长周期光栅沿Y轴排列构成Y轴方向光栅周期单元，Y轴方向光栅周期单元沿Y轴周期排列获得二维无序子结构长周期光栅。

如上所述的光栅基质为非晶硅基质。

本实用新型相对于现有技术具有以下有益效果：

1、 无序子结构长周期光栅能继承有序结构优点的同时，获得无序结构在带宽和角度等方面更强的操控能力，在300～1000nm的大带宽范围内陷光效果比背景技术中涉及到的现有其他无序结构提高了近70% 。

附图说明

图1是实施例2中选取的5子结构示意图，其中T为子结构的周期长度。

图2是实施例2中的一维无序子结构长周期光栅的结构示意图。

图3是实施例3中选取的5子结构示意图。

图4是实施例3中的3种一维无序子结构长周期光栅中的周期单元的随机排序的子结构编号顺序，其中（a）为无序子结构1（第一种一维无序子结构长周期光栅中的周期单元）；（b）为无序子结构2（第二种一维无序子结构长周期光栅中的周期单元）；（c）为无序子结构3（第三种一维无序子结构长周期光栅中的周期单元）。

图5是实施例3中获得的二维无序子结构长周期光栅。

在图中，数字均为编号，并不代表部件的数字标记。另5T指的是5个子结构长度。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的技术方案进一步详细说明：

实施例1：

无序子结构光栅，包括多个一维无序子结构长周期光栅，一维无序子结构长周期光栅包括沿X轴周期排列的周期单元，周期单元包括沿X轴排列的各不相同的若干个子结构，各个一维无序子结构长周期光栅中的周期单元的子结构种类相同，同一一维无序子结构长周期光栅中各个的周期单元的结构相同，各个一维无序子结构长周期光栅沿Y轴排列获得二维无序子结构长周期光栅，二维无序子结构长周期光栅设置在光栅基质上。

优选的，所述的一维无序子结构长周期光栅为N种，N大于等于1，N种一维无序子结构长周期光栅沿Y轴排列构成Y轴方向光栅周期单元，Y轴方向光栅周期单元沿Y轴周期排列获得二维无序子结构长周期光栅。

优选的，所述的光栅基质为非晶硅基质。

本实施例中的子结构选自现有光栅的子结构。

实施例2：

如图1～2所示，本实施例的无序子结构光栅中，一维无序子结构长周期光栅为一种，一维无序子结构长周期光栅中的周期单元的子结构依次为三角形子结构、第三U形槽子结构、第一U形槽子结构、方形子结构、第三U形槽子结构。第一U形槽子结构的U型槽口朝上，第二U形槽子结构的U形槽口朝下，第三U形槽子结构槽口朝右。一个一维无序子结构长周期光栅即构成Y轴方向光栅周期单元，Y轴方向光栅周期单元沿Y轴周期排列获得二维无序子结构长周期光栅。

其他与实施例1相同。

实施例3：

如图3～5所示，本实施例的无序子结构光栅中，一维无序子结构长周期光栅为三种：

第一种一维无序子结构长周期光栅中的周期单元的子结构依次为三角形子结构、H形子结构、第一U形槽子结构、方形子结构、第二U形槽子结构，第一U形槽子结构的槽口朝上、第二U形槽子结构的槽口朝下。

第二种一维无序子结构长周期光栅中的周期单元的子结构依次为第一U形槽子结构、H形子结构、方形子结构、三角形子结构、第二U形槽子结构，第一U形槽子结构的槽口朝上、第二U形槽子结构的槽口朝下。

第三种一维无序子结构长周期光栅中的周期单元的子结构依次为第二U形槽子结构、三角形子结构、方形子结构、第一U形槽子结构、H形子结构，第一U形槽子结构的槽口朝上、第二U形槽子结构的槽口朝下。

三种一维无序子结构长周期光栅沿Y轴排列构成Y轴方向光栅周期单元，Y轴方向光栅周期单元沿Y轴周期排列获得二维无序子结构长周期光栅。

其他与实施例1相同。

在本实施例中，获得的无序子结构光栅在带宽和角度等方面更强的操控能力，在300~1000nm的大带宽范围内陷光效果比背景技术中涉及到的现有无序结构提高了近70%。

综上所述本实用新型的优点在于：在有序长周期结构中引入紊乱的无序子结构组合成混合表面结构，能继承有序结构优点的同时，获得无序结构在带宽和角度等方面更强的操控能力。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。