无序子结构光栅的制作方法

文档序号:12404668阅读:来源:国知局

技术特征:

1.无序子结构光栅,其特征在于,包括多个一维无序子结构长周期光栅,一维无序子结构长周期光栅包括沿X轴周期排列的周期单元,周期单元包括沿X轴排列的各不相同的若干个子结构,各个一维无序子结构长周期光栅中的周期单元的子结构种类相同,同一一维无序子结构长周期光栅中各个的周期单元的结构相同,各个一维无序子结构长周期光栅沿Y轴排列获得二维无序子结构长周期光栅,二维无序子结构长周期光栅设置在光栅基质上。

2.根据权利要求1所述的无序子结构光栅,其特征在于,所述的一维无序子结构长周期光栅为N种,N大于等于1,N种一维无序子结构长周期光栅沿Y轴排列构成Y轴方向光栅周期单元,Y轴方向光栅周期单元沿Y轴周期排列获得二维无序子结构长周期光栅。

3.根据权利要求1~2任一项所述的无序子结构光栅,其特征在于,所述的光栅基质为非晶硅基质。

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