本实用新型涉及一种光伏制程显微镜,尤其是一种具有新型台面的光伏制程显微镜。
背景技术:
光伏制程显微镜用于光伏电池制绒、刻蚀、丝网、光刻、分检工序,现有的光伏制程显微镜的台面主要构件如图1所示:包括包漆台面1a,包漆台面1a的下边沿通过固定螺钉2a与连接条3a连接,连接条3a上设置连接螺栓4a,连接螺栓4a用于将包漆台面1a与显微镜载物台一侧的移动条5a固定。
现有的显微镜的台面主要存在以下缺陷:(1)由于包漆台面1a长期使用,漆面磨损金属面露出,暴露的金属面与制程中的硅片摩擦,使硅片表面沾污金属引入制程,污染硅片和产线槽体,产生不良品;(2)此外在放置硅片样品时极易与突起的螺钉和连接螺栓发生碰撞和摩擦,另外连接条3a与包漆台面1a的连接处形成台阶,也会与硅片样品发生碰撞和摩擦,这些都会造成硅片电池划痕、崩边、脱硅、断裂等,使用不便,使不良品增多。
技术实现要素:
本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种光伏制程显微镜,解决现有显微镜用于光伏制程时的不便,降低不良品率。
按照本实用新型提供的技术方案,所述光伏制程显微镜,包括显微镜机架,在显微镜机架上安装载物台,载物台上方的机架上安装镜筒和物镜旋转座,物镜旋转座上安装物镜;其特征是:在所述载物台的前侧安装移动条,在载物台上放置台面,台面的两表面均为平整的表面,台面通过双面胶与移动条固定。
进一步的,所述移动条的上表面与载物台的上表面平行布置。
进一步的,所述台面采用两面平整的有机玻璃板。
进一步的,所述台面采用2mm×160mm×160mm的有机玻璃板。
本实用新型所述的光伏制程显微镜,解决了现有技术中显微镜台面材质和结构的缺陷,保证台面光洁平整,无台阶,样品放置过程方便快捷,减少了由于碰撞、摩擦造成的划伤,而使产品不良率降低;而本实用新型所述的显微镜改造方便,造价低廉,耐磨不易坏。
附图说明
图1为现有显微镜的台面结构示意图。
图2为图1的侧视图。
图3为本实用新型所述光伏制程显微镜的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体附图对本实用新型作进一步说明。
如图3所示:所述光伏制程显微镜包括显微镜机架1、载物台2、镜筒3、物镜旋转座4、物镜5、移动条6、台面7、双面胶8等。
如图3所示,本实用新型所述光伏制程显微镜,包括显微镜机架1,在显微镜机架1上安装载物台2,载物台2上方的机架1上安装镜筒3和物镜旋转座4,物镜旋转座4上安装物镜5;在所述载物台2的前侧安装移动条6,移动条6的上表面与载物台2的上表面平行布置;在所述载物台2上放置台面7,台面7的两表面均为平整的表面,台面7通过双面胶8与移动条6固定。
所述台面7采用两面平整的有机玻璃板,台面7采用2mm×160mm×160mm的有机玻璃板,采用非金属材质能够杜绝金属污染,提高产品质量。
本实用新型解决了现有技术中显微镜台面材质和结构的缺陷,保证台面光洁平整,无台阶,样品放置过程方便快捷,减少了由于碰撞、摩擦造成的划伤,而使产品不良率降低;而本实用新型所述的显微镜改造方便,造价低廉,耐磨不易坏。