1.一种电热式MEMS振镜扫描模组，包括基座(112)及罩扣在基座(112)的外壳(108)，其特征在于，基座(112)上设置依次排列的激光器(102)、准直扩束透镜(104)及电热式MEMS振镜(106)，所述外壳(108)设置有出光窗(110)。
2.如权利要求1所述的电热式MEMS振镜扫描模组，其特征在于：所述激光器(102)、准直扩束透镜(104)及电热式MEMS振镜(106)构成光路，所述准直扩束透镜(104)的入射面为准直镜面，出射面为扩束镜面。
3.如权利要求2所述的电热式MEMS振镜扫描模组，其特征在于：所述电热式MEMS振镜(106)倾斜固定在所述准直扩束镜(104)的出射面一侧，所述出光窗(110)位于所述电热式MEMS振镜(106)的正上方，电热式MEMS振镜(106)处于静止状态时，由所述准直扩束镜(104)出射的光束，经电热式MEMS振镜(106)反射后垂直出射至所述光窗(110)。
4.根据权利要求1所述的电热式MEMS振镜扫描模组，其特征在于，所述激光器(102)，其波长覆盖可见光与红外光波段。
5.根据权利要求1所述的电热式MEMS振镜扫描模组，其特征在于，所述出光窗(110)由光学材料制成。
6.根据权利要求1所述的电热式MEMS振镜扫描模组，其特征在于，所述出光窗(110)镀有增透膜。
7.根据权利要求1所述的电热式MEMS振镜扫描模组，其特征在于，所述基座(112)为一体化成型，基座(112)上设置激光器定位孔、准直扩束透镜定位卡槽、振镜基台。
8.根据权利要求1所述的电热式MEMS振镜扫描模组，其特征在于，所述外 壳(108)外侧侧设置电路室(114)，电路室(114)内设置电路板，电路板与外壳(108)侧壁内的外壳触点电路连接，所述基座(112)一侧设置有与所述外壳触点对应的基座触点，基座触点分别与所述电热式MEMS振镜(106)和所述激光器(102)电连接。
9.根据权利要求2所述的电热式MEMS振镜扫描模组，其特征在于，所述电热式MEMS振镜(106)与所述激光器(102)出射光束光轴的夹角为135°。