技术总结
本实用新型涉及光电领域，特别涉及一种电热式MEMS振镜扫描模组，其技术方案为，包括基座及罩扣在基座的外壳，基座上设置依次排列的激光器、准直扩束透镜及电热式MEMS振镜，外壳设置有出光窗。本实用新型的有益效果是：使用电热式MEMS振镜扫描振镜代替传统静电/电磁式扫描振镜，完善了激光扫描模组的功能，减少了电路控制系统部分，使得整个模组结构拥有更小的体积，使模组可以更容易的嵌入在移动设备中，提高扫描模组的应用范围和使用的灵活性。电热式MEMS振镜扫描模组可通过控制系统输入特定的驱动信号，使扫描振镜具有不同的工作模式，即可实现静电/电磁式振镜连续全幅扫描，也可实现对三维物体特定区域的定点扫描。
技术研发人员：金传广;杜先鹏;郭俊兴;代启强;丁大海;秦玉兵;谢创;王卫卫
受保护的技术使用者：青岛小优智能科技有限公司
文档号码：201621267964
技术研发日：2016.11.23
技术公布日：2017.05.17