技术总结
本实用新型公开了一种光刻机的硅片转移装置，包括机架，机架上安装有第一转移架和第二转移架，第一转移架和第二转移架均与同一个水平动力装置传动连接，第一转移架包括第一滑板，第一滑板的底部安装有水平设置的第一转移框，第一转移框上设置有避让校正机构的避让口，第一转移框上设置有与抽气系统连通的吸气孔，机架上设置有校正对射式传感器的发射端，该校正对射式传感器的发射端位置与校正工位位置对应，对应的第一滑板以及第二转移架上的第二滑板上均设置有校正对射式传感器的接收端，机架上还设置有光刻定位装置。该硅片转移装置利用两个错位的转移架配合交替使用，极大的提高了硅片转移的效率，提高了光刻效率。
技术研发人员：丁桃宝;刘敏洁
受保护的技术使用者：张家港晋宇达电子科技有限公司
文档号码：201621289611
技术研发日：2016.11.29
技术公布日：2017.05.24