微机械致动器设备和用于使微机械致动器设备翻转的方法与流程

本发明涉及一种微机械致动器设备、尤其是微镜，并且涉及一种用于使微机械致动器设备、尤其是微镜翻转的方法。本发明尤其涉及一种可使用在激光扫描仪中的微镜以及微镜作为激光扫描仪的部件的运行。

背景技术：

对于大量应用需要能够用于使激光射束朝着两个相互垂直的方向偏转的微镜。这种微镜例如被使用在激光扫描仪中。激光扫描仪是借助于像素的连续扫描通过能水平和竖直摆动的激光射束对待投影的图像进行投影的装置。在此，通常激光射束沿水平方向的摆动比沿竖直方向的摆动更慢地发生，反之亦然。通过激光射束根据较快运动的摆动通常扫描待投影的图像的一行，而通过激光射束根据较慢运动的摆动扫描待投影的图像的不同行。在激光扫描仪中经常使用两个相继连接的微镜，所述两个微镜可以分别仅围绕单个轴线翻转，使得击中到微镜上的激光射束可以仅在一维上摆动。

在wo2012089387a1中描述了微镜和用于构造激光扫描仪的两个相继连接的微镜的布置。

存在对能够以小的技术耗费制造的、有效的并且节省空间的致动器设备的需求，该致动器设备可以围绕两个不同的翻转轴线翻转。

技术实现要素：

本发明公开了一种具有权利要求1的特征的设备以及一种具有权利要求9的特征的方法。

因此，本发明提供一种致动器设备、尤其是一种微镜，该致动器设备具有：翻转装置，该翻转装置具有致动器元件；第一弹簧装置；保持装置；其中，翻转装置通过第一弹簧装置围绕第一翻转轴线可翻转地与保持装置连接；至少一个电线路装置，该电线路装置被引导经过翻转装置；永磁体装置，该永磁体装置布置在保持装置上；其中，永磁体装置设计为用于如此产生第一磁场，使得在电流传导通过电线路装置时可以在第一磁场内部产生洛伦兹力，通过该洛伦兹力可以使翻转装置、尤其是致动器元件相对于保持装置围绕第一翻转轴线翻转；框架装置；第二弹簧装置，通过该第二弹簧装置使保持装置围绕第二翻转轴线可翻转地与框架装置连接；电磁体装置，该电磁体装置构造为用于产生第二磁场，该第二磁场如此作用到永磁体装置上，使得保持装置可以相对于框架装置围绕第二翻转轴线翻转。通过保持装置相对于框架装置的翻转尤其可以使致动器元件围绕第二翻转轴线翻转。

致动器元件尤其应理解为能够用于至少部分地、尤其大部分地反射期望的辐射、尤其是激光的元件。这种致动器元件也可以被称为“镜元件”。镜元件例如可以构造为多个介电层、金属层、极化层等。任意其他待致动的组件也可以设置为致动器元件。

此外，本发明提供一种用于使微机械致动器设备、尤其是微镜翻转的方法，该方法具有以下步骤：使电流在通过致动器设备的永磁体装置产生的第一磁场内部传导通过电线路装置，该电线路装置被引导经过致动器设备的翻转装置，使得由于洛伦兹力使翻转装置和/或翻转装置的致动器元件沿着第一翻转轴线翻转；并且通过致动器设备的电磁体装置在永磁体装置的区域中产生第二磁场，使得由于磁性的吸引和排斥使翻转装置和/或致动元沿着第二翻转轴线翻转。

本发明所基于的认知在于，微机械致动器设备的永磁体装置不仅可以用于产生洛伦兹力，该洛伦兹力实现致动器元件围绕第一翻转轴线的翻转，而且可以布置在电磁体装置的能够以可控制的方式产生的磁场中，以便实现同一致动元件关于第二翻转轴线的翻转。

根据本发明，可以产生作用到致动器元件上的高转矩，由此可以减小用于产生所需要的转矩的面积需求。由此可以有利地实现mems-芯片面积的微型化并且由此可以有利地实现每个晶片有提高数量的根据本发明的致动器设备。致动器设备的芯片面积的微型化尤其垂直于第二翻转轴线、即垂直于慢翻转运动的轴线起作用，该慢翻转轴线被称为“慢轴线”。该尺寸在例如移动电话中的微型化投影仪这样的应用中是关键的结构尺寸，因为期望移动电话的特别小的厚度。由此，本发明能够在移动电话和例如平板电脑等其他移动终端设备的尽可能保持不变的薄壳体尺寸的情况下实现激光扫描仪作为投影仪的使用和装入。

根据本发明的致动器设备具有特别高的驱动效率，由此用于使致动器设备翻转的功率消耗是小的。

为了快速运动的翻转轴线的驱动(该翻转轴线也可以被称为“快轴线”)，根据本发明仅要实现电线路装置在翻转装置和/或保持装置上的卷绕和/或特别的电流引导。相比于其他实现可行方案，为此需要特别少的工艺步骤。为了电连接或为了位置探测尤其可以使用为了电线路装置本来所需要的能高度导电的平面。由此，不产生或仅产生非常小的附加技术耗费或附加工艺步骤。

此外，根据本发明不需要大体积的永磁体，所述永磁体要固定在致动器设备外部。由此，得到特别小的结构体积并且取消了附加的构造和连接过程。附加地，提高了致动器设备的抗摔强度。

致动器设备的可供使用的高转矩使得能够使用相对更有刚性的扭转弹簧，所述扭转弹簧可以通过接片实现。由此，产生高的机械抗过载强度和抗摔强度以及好的可调节性和稳固性。

有利的实施方式和扩展方案由从属权利要求以及由参考附图的描述得出。

根据第一优选的扩展方案，第一弹簧装置包括第一扭转弹簧。用于将电线路装置附接到第一电极上的第一导体轨可以被引导经过第一扭转弹簧。第一弹簧装置还可以包括第二扭转弹簧，其中，用于将电线路装置附接到第二电极上的第二导体轨被引导经过第一扭转弹簧和/或经过第二扭转弹簧。由此可以实现电线路装置在翻转装置上的特别有效的接触。

根据另一优选的扩展方案，第二弹簧装置包括至少一个第三扭转弹簧，至少一个导体轨、例如上述第一导体轨或第二导体轨被引导经过该第三扭转弹簧，所述导体轨用于将电线路装置附接到至少一个电极上、尤其是第一电极或第二电极上。

根据另一优选的扩展方案，永磁体装置具有至少一个第一永磁体和/或至少一个第二永磁体。第一永磁体的磁性南北定向和/或第二永磁体的磁性南北定向优选平行于或反平行于第二翻转轴线和/或垂直于第一翻转轴线地布置。由此能够实现磁流线在电线路装置的区域中的特别有利的定向。优选地，永磁体装置还包括第三和/或第四永磁体，所述第三和/或第四永磁体的南北定向同样优选平行于或反平行于第二翻转轴线和/或垂直于第一翻转轴线地布置。尤其当电线路装置的布置得离第一和第二永磁体最近的区段中的电流方向与电线路装置的布置得离第三和第四永磁体最近的区段中的电流方向相反地走向时，第三和/或第四永磁体可以尤其关于第一翻转轴线相对于第一和/或第二永磁体镜像地布置和构造。

根据另一优选的扩展方案，永磁体装置具有至少一个第一永磁体和/或至少一个第二永磁体。第一永磁体的磁性南北定向和/或第二永磁体的磁性南北定向优选垂直于第二翻转轴线地布置。由此也能够实现磁流线在电线路装置的区域中的特别有利的定向。优选地，永磁体装置还包括第三和/或第四永磁体，所述第三和/或第四永磁体的南北定向同样优选垂直于第二翻转轴线地布置。第三和/或第四永磁体可以如上面所描述的那样相对于第一和/或第二永磁体镜像地构造和布置。

根据另一优选的扩展方案，至少两个永磁体、优选地各两个永磁体在关于第二翻转轴线的轴向方向上与电线路装置、尤其与电线路装置的离各两个永磁体最近的区段隔开不同间距地布置。由此可以产生磁流线在电线路装置的区域中的布置的进一步改进。所述至少两个永磁体尤其可以是上述第一和第二永磁体和/或上述第三和第四永磁体。

根据另一优选的扩展方案，翻转装置的致动器元件构造为金属面，其中，电导体轨的在其中产生洛伦兹力的区段通过金属面来实现。由此可以特别有效地多功能地使用金属面，由此可以减少在制造致动器设备时的资源需求和耗费。

根据按照本发明的方法的优选扩展方案，使电流如此传导通过电线路装置，使得翻转装置的致动器元件围绕第一翻转轴线以共振的周期性运动进行翻转，尤其以便实现围绕快轴线的快速翻转。第二磁场可以如此产生，使得翻转装置和/或致动器元件围绕第二翻转轴线准静态地翻转，以便实现围绕慢轴线的缓慢翻转。

附图说明

下面参照附图的示意图中所示出的实施例详细阐释本发明。根据本发明的微机械致动器设备的发明构思在下面参照作为用于微机械致动器设备的示例的微镜来描述。但是，所描述的和所示出的实施方式和所有的变型方案可以同样被应用于其他任意致动器设备。附图示出：

图1a至图1d从不同的方向示出根据本发明的实施方式的微镜的示意性全视图和细节视图；

图2a至图2d从不同的方向示出根据本发明的另一实施方式的微镜的示意性全视图和细节视图；

图3a至图3c从不同的方向示出根据本发明的又一另外的实施方式的微镜的示意性全视图和细节视图；

图4a至图4d从不同的方向示出示意性根据本发明的又一另外的实施方式的微镜的全视图和细节视图；和

图5用于阐释用于使根据本发明的实施方式的微镜翻转的方法的示意性流程图。

在所有附图中，相同的或功能相同的元件和设备(只要没有另外说明)设有相同的参考标记。方法步骤的编号用于概要性并且尤其不应该暗示确定的时间上的顺序。尤其也可以同时实施多个方法步骤。为了可理解性，说明书附图的元件不按正确比例地实施。

具体实施方式

图1a示出根据本发明的实施方式的微镜100的示意性俯视图。微镜100具有翻转装置110，该翻转装置包括镜元件112和弯曲弹簧114。微镜100的镜元件112例如实现为衬底上的金属表面并且例如在俯视图中构造为扁平的盘。镜元件112通过例如由与镜元件112的金属表面下方的衬底相同的衬底构成的两个第一接片118-1、118-2、尤其仅通过这些接片与弯曲弹簧114连接。

弯曲弹簧114例如构造为xy平面中的圆环，如图1a中所示出的那样，并且在xy平面中(镜元件112在静止位置中布置在该xy平面中)完全包围镜元件112。弯曲弹簧114通过两个第二接片116-1、116-2、尤其是仅通过所述第二接片116-1、116-2与保持装置122连接。保持装置122同样构造为圆环并且在xy平面中在翻转装置110的静止位置中不仅包围镜元件112而且也包围弯曲弹簧114。至少第二接片116-1、116-2、可选地还有第一接片118-1、118-2在微镜100中构造为扭转弹簧并且与弯曲弹簧114一起形成第一弹簧装置120。

第二接片116-1、116-2沿着微镜100的第一翻转轴线a布置在弯曲弹簧114的两个相对置的侧上。第一接片118-1、118-2沿着微镜100的第二翻转轴线b布置在镜元件112的相对置的侧上。第一翻转轴线a尤其作为快轴线使用并且垂直于第二翻转轴线b，该第二翻转轴线作为微镜100的慢轴线使用。不考虑第一接片118-1、118-2的情况下，镜元件112从微镜100的其余部分中释放。除了第一接片118-1、118-2和第二接片116-1、116-2，弯曲弹簧114从微镜100的其余部分中释放。

第一至第四永磁体130-1、130-2、130-3、130-4(概括地称为130-i)构造在保持装置122上并且如此布置，使得所述永磁体130-i中的每个永磁体的南北定向要么平行于要么反平行于第二翻转轴线b地布置。永磁体130-i的总和可以被称为微镜100的永磁体装置。在保持装置122的两个相对置的侧中的一侧上布置有第一永磁体130-1和第二永磁体130-2。在所述两个相对置的侧中的第二侧上布置有第三永磁体130-3和第四永磁体130-4。第一永磁体130-1(或第三永磁体130-3)在z方向上布置在第二永磁体130-2上方(或第四永磁体130-4上方)，该z方向在正交坐标系中不仅垂直于x方向而且也垂直于y方向。

在第一永磁体与第三永磁体130-1、130-3之间布置有无磁性的并且不能磁化的第一舌状部124-1，该第一舌状部与保持装置122刚性地连接。在第二永磁体与第四永磁体130-2、130-4之间布置有无磁性的并且不能磁化的第二舌状部124-2，该第二舌状部与保持装置122刚性地连接。第一舌状部124-1通过扭转弹簧140-1与框架装置144连接。第二舌状部124-2通过扭转弹簧140-2与框架装置144连接。框架装置144例如构造为矩形的框架，该框架在静止位置中沿x和y方向包围保持装置122、弯曲弹簧114和/或镜元件112。保持装置122仅仅通过舌状部124-1、124-2和扭转弹簧140-1、140-2与框架装置144耦合。舌状部124-1、124-2尤其可以与保持装置122同时地并且由相同的材料制造。

在翻转装置110的弯曲弹簧114上，用于传导电流的电线路装置150在围绕镜元件112的几乎完全闭合的圆中受引导。使电线路装置150分别与第一电极和第二电极连接的第一导体轨156以及第二导体轨158二者都被引导经过同一个接片116-1，其中，第一和第二导体轨156、158被引导经过保持装置122直至第一接片116-1。电线路装置150和/或第一和第二导体轨156、158可以分别通过弯曲弹簧114、保持装置122、舌状部124-1、124-2、扭转弹簧140-1、140-2和/或框架装置144的衬底中的金属层和/或掺杂区域来实现。

图1b示出永磁体130-i连同在电流i沿顺时针方向传导通过电线路装置150时所产生的力的俯视图的示意性细节视图。在图1b中，第二和第四永磁体130-2、130-4出于可辨别性的原因在y方向上相对于第一和第二永磁体130-1、130-3错开地示出，然而优选不是这种情况。第一永磁体130-1的磁性北极130-1n面向线路装置150并且比第二永磁体130-2的磁性南极130-2s布置得更靠近线路装置150，该磁性南极同样面向线路装置150。在电线路装置150的另一侧上，第三永磁体130-3的磁性南极130-3s面向线路装置150并且比第四永磁体130-4的磁性北极130-4n布置得更靠近线路装置150，该磁性北极同样面向线路装置150。

第一永磁体130-1的磁性南极130-1s和第二永磁体130-2的磁性北极130-2n可以在沿着第二翻转轴线b的轴向方向上、即在x方向上相互齐平地结束。第三永磁体130-3的磁性北极130-3n和第四永磁体130-4的磁性南极130-4s可以在沿着第二翻转轴线b的轴向方向上相互齐平地结束。

在图1b中还示出，通过施加到线路装置150上的电流i和第一至第四永磁体130-i的磁流线11的共同作用产生第一洛伦兹力31和第二洛伦兹力32。第一洛伦兹力31在线路装置150的离第一永磁体130-1最近的区段中产生，作用到线路装置150连同弯曲弹簧114上(该线路装置布置在该弯曲弹簧上)，并且朝着负z方向指向。第二洛伦兹力32在线路装置150的离第三永磁体130-3最近的区段中产生，作用到线路轨150和弯曲弹簧114上并且朝着正z方向指向。按照实施伴随第一弹簧装置120、即作为扭转弹簧的弯曲弹簧114和/或第二接片116-1、116-2的变形，第一和第二洛伦兹力31、32组合地引起镜元件112的翻转。由此，镜元件112被加载以朝着负y方向的转动脉冲。如果施加具有相反的电流方向的电流i，那么例如第一和第二极的极性互换，镜元件112相应地被加载以朝着正y方向的转动脉冲。

图1c示出图1b中所示出的元件和力的示意性侧视图。在图1c中明显的是，永磁体130-i的错开的布置用于在通过线路装置150的电流i的区域中产生第一磁场11的朝着正和负x方向的特别大的分量。

在图1a中还示出微镜100的第一电磁体125和第二电磁体127。如在图1d中可看出，第一电磁体125具有u-形的磁导流板材129。导流板材129由横梁126-3组成，该横梁在它的两个端部上与各一臂126-1、126-2连接。横梁126-3以可通电的线圈131缠绕，从而通过给线圈131通电来使臂126-1、126-2作为磁性北极和南极起作用或相反地起作用。如在图1d中还示出，第一和第三永磁体130-1、130-3如此布置，使得第一永磁体130-1的磁性南极130-1s和第三永磁体130-3的磁性北极130-3n在y方向上布置在臂126-1、126-2之间并且在x和z方向上与臂126-1、126-2持平地布置。

因此，通过给线圈131通电可以通过电磁体125产生第二磁场。在第二磁场中，借助于扭转弹簧140-1相对于框架装置144能转动地布置的永磁体130-1、130-3在能量方面有利地定向。作为结果，通过舌状部124-1、124-2与永磁体130-1、130-3刚性地连接的保持装置122在扭转弹簧140-1上沿着第二翻转轴线b翻转。第二电磁体127关于第一翻转轴线a相对于第一电磁体125镜像对称地布置和构造。在给线圈131通电时，带有臂128-1、128-2的第二电磁体127的线圈同时被这样通电，使得保持装置122也在扭转弹簧140-2上沿着第二翻转轴线b翻转，其中，在扭转弹簧140-1、140-2上分别进行具有相同的转动方向、即具有要么分别朝着正x方向要么分别朝着负x方向的转动脉冲的翻转。

电磁体125、127可以安装在框架装置144上。例如可以不仅使电磁体125、127而且使框架装置144与电路板连接，借助于该电路板可以将电流i馈入到线路装置150中和/或借助于该电路板可以给电磁体125、127的电线圈通电。

图2a至图2d示出根据本发明的另一实施方式的微镜200。微镜200是微镜100的变型方案，与该微镜的区别在于，电线路装置250代替微镜100的线路装置150经过微镜200的翻转装置110和保持装置122的引导，以及在于，随之而来的微镜200的第一至第四永磁体230-i代替微镜100的永磁体130-i的其他配置。

图2a以俯视图示意性示出微镜200。图2b示出永磁体230-i和镜元件112连同在电流i朝着正y方向传导通过电线路装置250时所产生的力的俯视图的示意性细节视图。图2c示出图2b中所示出的元件和力的示意性侧视图。图2d示意性地示出第一和第二永磁体130-1、130-2在第一电磁体125之间的布置。

线路装置250在弯曲弹簧114上相对于第一翻转轴线a镜像对称地被引导，由此电流i可以相对于第一翻转轴线a镜像对称地被引导。线路装置250通过所述两个第二接片中的构造为扭转弹簧的第一接片116-1与第一电极连接并且通过所述两个第二接片中的构造为扭转弹簧的第二接片116-2与第二电极连接。

第一和第三永磁体230-1、230-3分别以它们的北极230-n、230-3n朝着镜元件112的方向布置，所述第一和第三永磁体也像第一和第三永磁体130-1、130-3那样在正z方向上布置在保持装置122上方。第二和第四永磁体230-2、230-4分别以它们的南极230-2s、230-4s朝着镜元件112的方向布置，所述第二和第四永磁体在负z方向上布置在保持装置122下方。第二永磁体230-2的南极230-2s在x方向上比第一永磁体230-1的北极230-n布置得更靠近线路装置250。第四永磁体230-4的南极230-4s在x方向上比第三永磁体230-3的北极230-3n布置得更靠近线路装置250。

背离镜元件112的磁极230-1s、230-2n可以在x方向上齐平地布置。背离镜元件112的磁极230-3s、230-4n可以在x方向上齐平地布置。尤其是第一和第二永磁体230-1、230-2布置和构型相对于第三和第四永磁体230-3、230-4的布置和构型关于第一翻转轴线a镜像对称。根据图2d，第一和第二永磁体230-1、230-2关于第一电磁体125的臂126-1、126-2如第一和第二永磁体130-1、130-2那样地布置。

图3a至图3d示出根据本发明的另一实施方式的微镜300。微镜300是微镜200的变型方案并且与该微镜的区别在于微镜300的翻转装置310代替微镜100的翻转装置110并且在于电线路装置350代替微镜200的线路装置250的引导。

图3a以俯视图示意性示出微镜300。图3b示出永磁体330-i和镜元件312连同在电流i朝着正y方向传导通过电线路装置350时所产生的力的俯视图的示意性细节视图。图3c示出图3b中所示出的元件和力的示意性侧视图。第一和第二永磁体230-1、230-2在第一电磁体125之间的布置如在图2d中所示出的那样实现。

在微镜300中，翻转装置310由镜元件312组成，该镜元件通过作为扭转弹簧起作用的第二接片116-1、116-2与保持装置122连接。不像在微镜200中那样经过弯曲弹簧114的对称引导，在微镜300中，作为微镜300的镜元件312起作用的金属表面直接触点接通并且作为电线路装置350的一部分使用。因此，所施加的电流i在镜元件312的整个金属表面上或在金属表面的间隔开的部分上从接片116-1的方向朝着接片116-2的方向流动，反之亦然。因为在微镜300中(根据线路装置350)电流i也相对于第一翻转轴线a镜像对称地传导，所以微镜300的永磁体230-i和微镜200的永磁体230-i相同地构造和布置。

图4a至图4d示出根据本发明的又一另外的实施方式的微镜400。微镜400是微镜100的变型方案并且与该微镜的区别在于微镜400的永磁体430-i的构造和布置。

图4a以俯视图示意性示出微镜400。图4b示出永磁体430-i和镜元件112连同在电流沿顺时针方向传导通过电线路装置150时所产生的力的俯视图的示意性细节视图。图4c示出图4b中所示出的元件和力的示意性侧视图。图4d示意性地示出第一和第二永磁体430-1、430-2在第一电磁体125之间的布置。

在微镜400中，在没有施加电流i并且线圈没有通电的静止位置中，永磁体430-i的磁性南北轴线不仅垂直于第一翻转轴线a而且也垂直于第二翻转轴线b地布置。第一永磁体430-1在x方向上比第二永磁体430-2布置得更靠近镜元件112，并且第三永磁体430-3在x方向上比第四永磁体430-4布置得更靠近镜元件112，其中，永磁体430-i的背离镜元件112的端部可以分别成对地在x方向上齐平地布置。

第一永磁体430-1的北极430-1n背离第二永磁体430-2，而第一永磁体430-1的南极430-1s面向第二永磁体430-2。第二永磁体430-2的北极430-2n面向第一永磁体430-1，而第二永磁体430-2的南极430-2s背离第一永磁体430-1。第一和第二永磁体430-1、430-2像第一和第二永磁体130-1、130-2、230-1、230-2那样布置在舌状部124-1的彼此背离的外侧上。

第三永磁体430-3的北极430-3n面向第四永磁体430-4，而第三永磁体430-3的南极430-3s背离第四永磁体430-4。第四永磁体430-4的北极430-4n背离第三永磁体430-3，而第四永磁体430-4的南极430-4s面向第三永磁体430-3。第三和第四永磁体430-3、430-4像第三和第四永磁体130-3、130-4、230-3、230-4那样布置在舌状部124-2的彼此背离的外侧上。

与此相应地，如在图4d中所示出的，第一和第二永磁体430-1、430-2的北极430-1n、430-2n和南极430-1s、430-2s分别布置在第一电磁体125的导流板材129的臂126-1、126-2之间，更确切地说分别布置在永磁体430-i的背离镜元件112的端部上。相同的适用于第二电磁体127和第三和第四永磁体430-3、430-4。

图5示出用于阐释根据本发明的实施方式的方法的示意性流程图。根据图5的方法能够以根据本发明的微镜、尤其以微镜100；200、300；400来实施，并且能够关于根据本发明的微镜的所有描述的扩展方案和修改方案来匹配，反之亦然。

在步骤s01中，使电流i、尤其是交流电流在通过微镜100；200；300；400的永磁体装置130-i；230-i；430-i所产生的第一磁场11内部传导通过电线路装置150；250；350，该电线路装置被引导经过微镜的翻转装置112；312，使得由于洛伦兹力31、32使翻转装置110；310的镜元件112；312沿着第一翻转轴线a翻转。

在步骤s02中，通过微镜100；200；300；400的电磁体装置125、127在永磁体装置130-i；230-i；430-i的区域中产生第二磁场，使得由于磁性的吸引和排斥使翻转装置110；310沿着第二翻转轴线b翻转，该第二翻转轴线尤其垂直于第一翻转轴线a布置。

优选地，电流如此传导通过电线路装置150；250；350，使得翻转装置110；310的镜元件112；312沿着第一翻转轴线a以共振的周期性运动进行翻转。优选地，如此产生第二磁场，使得翻转装置110；310沿着第二翻转轴线b准静态地翻转。

虽然根据上面优选的实施例来描述本发明，但是本发明不局限此，而是能够以多种方式来修改。本发明尤其能够以各种各样的方式来改变或修改，而不会偏离本发明的核心。例如，微镜100；200；300；400的所有永磁体的南北定向也可以与微镜100；200；300；400中分别示出的南北定向正好相反地走向。

例如弯曲弹簧114也可以构造为相同成形的、但是刚性的元件，使得第一弹簧装置120仅由第二接片116-1、116-2组成。替代于刚好两个第一接片118-1、118-2，例如也可以仅设置一个接片，或者可以设置三个或更多个接片。替代于圆形(环形)形状，对于弯曲弹簧114、保持装置122和/或镜元件112；312也可以使用其他形状、例如矩形形状。

出于概要性的原因，线路装置150；250；350在附图中作为单层的线路结构来显示。但是线路装置150；250；350也可以两层地或多层地构造，例如螺旋状地构造，其中，在线路装置150；250；350的离永磁体130-i；230-i；430-i最近的区段中尤其可以在z方向上叠置地布置两个或多个线路轨，从而所产生的洛伦兹力31、32相应地更强。