技术特征：
技术总结
本发明涉及一种用于用显微镜检查试样(24)的方法和设备。所述方法包括：利用光源产生照射光束(2)的步骤、利用分裂器件(1)将照射光束(2)在空间上分裂成至少两个子照射光束(3、4)的步骤、通过一个对于两子照射光束(3、4)共用的照射透镜(7)引导子照射光束(3、4)的步骤、在子照射光束(3、4)已经穿过照射透镜(7)之后利用至少一个转向机构(27)使所述子照射光束之中的至少一个子照射光束转向，使得子照射光束(3、4)在一个照射平面(11)中相互干涉，从而在照射平面(11)产生一个照射图案(12)的步骤，和产生由照射图案(12)照射的试样区域的图像的步骤，其中，从试样区域出来的检测光通过检测透镜(8)到达位置分辨的检测器。
技术研发人员：F·法尔巴赫;W·克内贝尔
受保护的技术使用者：徕卡显微系统复合显微镜有限公司
技术研发日：2016.10.10
技术公布日：2018.07.17