技术特征：
技术总结
本发明公开了一种基于微纳光纤锥的亚波长点光源及其制备方法，该点光源包括普通光纤、微纳光纤锥和三维类锥形纳米结构，微纳光纤锥由普通光纤通过高精度拉锥仪熔融拉锥制得，其前端采用聚焦离子束(FIB)技术刻蚀为三维类锥形纳米结构，金属薄膜利用电子束蒸镀技术镀覆在三维类锥形纳米结构的表面，并利用FIB技术在三维类锥形纳米结构的尖端刻蚀一圆形小孔。本发明能突破衍射极限，形成极小尺寸的亚波长光斑，同时保持较高的光透过率，并且兼具机械强度好、尺寸小巧、易于与其他光纤组件连接等优势，有望发展成新一代的亚波长点光源，对高密度信息存储、高分辨率测量仪器、光刻系统、扫描近场光学显微镜等领域的发展有极大的推动作用。
技术研发人员：丁铭;朱黎明;代玲玲;胡焱晖;邢新喜
受保护的技术使用者：北京航空航天大学
技术研发日：2017.05.10
技术公布日：2017.08.08