技术特征：
技术总结
测量图形化基板的3D显微镜和方法。用于图形化基板测量的三维(3D)显微镜可包括物镜、反射照明器、透射照明器、调焦设备、光学传感器、以及处理器。调焦设备可分多个Z步进对物镜自动调焦。光学传感器能够在这些Z步进中的每一步进采集图像。处理器可控制反射照明器、透射照明器、调焦设备、以及光学传感器。处理器可被配置成在多个Z步进采集第一和第二图像，该第一图像具有使用反射照明器的图案而该第二图像不具有使用反射照明器和透射照明器之一的图案。
技术研发人员：侯震;J·J·徐;K·K·李;J·N·斯坦顿;H·P·源;R·库迪纳;R·索塔曼
受保护的技术使用者：泽伊塔仪器科技（上海）有限公司
技术研发日：2011.07.14
技术公布日：2017.10.03