包括对装置标记的原位印刷的测量方法以及对应装置与流程

技术特征：

技术总结
一种方法，包括在至少部分地位于装置内的同时在结构上印刷装置标记。该结构是衬底台的一部分或者位于衬底台上，但是与将由装置保持的衬底分离。使用装置内的传感器系统测量装置标记。

技术研发人员：K·J·维奥莱特;I·M·P·阿尔茨;H·V·科克;E·B·卡蒂
受保护的技术使用者：ASML控股股份有限公司;ASML荷兰有限公司
技术研发日：2017.08.18
技术公布日：2019.04.26