1.一种光束扫描装置,其特征在于,所述扫描装置包括:
MEMS扫描镜,所述MEMS扫描镜具有第一转动轴、第二转动轴以及反射镜;
所述反射镜在驱动信号的驱动下以所述第一转动轴和/或第二转动轴为旋转轴发生偏转
以及,
驱动控制系统,所述驱动控制系统提供所述MEMS扫描镜绕所述第一转动轴和/或第二转动轴发生偏转的驱动信号。
2.根据权利要求1所述的光束扫描装置,其特征在于,所述反射镜绕所述第一转动轴、第二转动轴的偏转频率不同。
3.根据权利要求2所示的光束扫描装置,其特征在于,所述MEMS扫描镜进一步包括测角传感器,所述测角传感器集成在所述反射镜上,所述测角传感器被设置为能够输出MEMS扫描镜转动的角度信号。
4.根据权利要求1所示的光束扫描装置,其特征在于,所述驱动控制系统包括驱动信号发生装置,所述驱动信号发生装置被设置为能够产生所述驱动信号。
5.根据权利要求1所示的光束扫描装置,其特征在于,所述驱动信号包括第一驱动信号和第二驱动信号,所述第一驱动信号和第二驱动信号分别用于驱动所述MEMS扫描镜的第一转动轴和第二转动轴。
6.根据权利要求5所示的光束扫描装置,其特征在于,所述第一驱动信号和第二驱动信号分别为正弦波和混合三角波。
7.根据权利要求6所示的光束扫描装置,其特征在于,所述混合三角波包含阶梯状的波形。
8.根据权利要求5所示的光束扫描装置,其特征在于,所述驱动控制系统还包括反馈控制系统,所述反馈控制系统控制所述MEMS 扫描镜按照第一驱动信号和第二驱动信号。
9.根据权利要求1所示的光束扫描装置,其特征在于,MEMS扫描镜在所述驱动信号的驱动下,实现改进的光栅扫描。