技术总结
本实用新型公开了一种光束扫描装置，包括：MEMS扫描镜，所述MEMS扫描镜具有两个转动轴和一个反射镜，反射镜能够绕着两个转动轴同时转动；驱动控制系统，所述驱动系统提供MEMS扫描镜两个转动轴的驱动信号，实现改进的光栅扫描。本实用新型具有体积小、扫描速度快、扫描的图案均匀等优点。本实用新型通过改变MEMS扫描镜两个转动轴的转角控制方式，实现激光雷达在空间形成均匀分布的扫描图案，解决MEMS扫描镜扫描方法中扫描图案复杂、扫描不均匀的问题，提高扫描的效率、降低激光雷达图像处理的复杂度。
技术研发人员：叶良琛;向少卿;李一帆
受保护的技术使用者：上海禾赛光电科技有限公司
技术研发日：2018.03.09
技术公布日：2018.10.19