一种用于步进器的环境腔体部的制作方法

本实用新型涉及环境腔体装置技术领域，具体涉及一种用于步进器的环境腔体部。

背景技术：

步进器曝光系统在在进行曝光作业时，整个设备是包围在环境腔体内的，环境腔体内是一个空调循环系统，循环空气通过高精度的高效过滤器吹进到腔体内，使得这整个环境腔保持在一个恒温、恒湿的干净环境，确保产品作业的稳定进行，然而现有的步进器曝光系统内的环境腔体内部温度和风量不能得到较好的控制调节，循环性不佳，降低了使用性。

技术实现要素：

本实用新型目的是提供一种用于步进器的环境腔体部，提供一种恒温、恒湿循环效果好的步进器环境腔体部。

为了实现以上目的，本实用新型采用的技术方案为：一种用于步进器的环境腔体部，包括腔体室、冷冻机、热点、鼓风机、过滤器、密封盖和通孔板，所述腔体室内壁底部从左至右依次设有所述鼓风机、热点和冷冻机，所述腔体室顶部固定安装有水银灯，所述水银灯底部连接有位于所述腔体室内部的对物镜头，所述腔体室内壁底部连接有所述冷冻机，所述冷冻机顶部通过所述密封盖连接有晶片装载台，所述晶片装载台顶部连接有与所述晶片装载台相适配的晶片，所述晶片和所述对物镜头之间连接有位于所述腔体室内壁上的缩小投影镜头，所述腔体室内壁一侧连接有贯穿所述腔体室厚度方向的进气口，所述进气口流进的气体穿过所述冷冻机和所述热点并进入到所述鼓风机内，所述鼓风机内的进气向上流出并穿过所述过滤器延伸至所述缩小投影镜头外部连接的壳体上，所述壳体上的气体穿过所述壳体内部的收纳口并延伸到壳体外部一侧的通孔板上。

进一步的，所述鼓风机内设有循环部。

进一步的，所述冷冻机底部固定连接有位于所述腔体室内壁底部的温控器。

进一步的，所述温控器的型号为REX-C900。

进一步的，所述通孔板底端一侧连接有位于所述进气口顶部的开口槽。

进一步的，所述水银灯底部通过圆形罩连接有所述对物镜头。

本实用新型的技术效果在于：温控器先预定设置冷冻机上实际所需要散出的温度，外界的空气先通过进气口，然后通过冷冻机将气体冷却下来，然后将晶片曝光工作时产生的热量通过热点进行排出，而气体经过鼓风机吹入到过滤器上进行干燥过滤，再让气体通过晶片装载台外部的壳体上，穿过壳体内部的收纳口，使得真个曝光系统设备处在环境腔体内，最后通过通孔板底部的开口槽与进气口相连接，成为一个循环的装置，这样的步进器环境腔体部大大提高了使用性能，有效的实现环境腔体内的空气循环，保持一个恒温、恒湿干净的环境。

附图说明

图1为本实用新型用于步进器环境腔体部的结构示意图。

附图标记：1-腔体室；2-冷冻机；3-热点；4-鼓风机；5-过滤器；6-密封盖；7-通孔板；8-水银灯；9-对物镜头；10-晶片装载台；11-晶片；12-缩小投影镜头；13-进气口；14-壳体；15-循环部；16-温控器；17-开口槽；18-圆形罩。

具体实施方式

参照附图1，一种用于步进器的环境腔体部，包括腔体室1、冷冻机2、热点3、鼓风机4、过滤器5、密封盖6和通孔板7，所述腔体室1内壁底部从左至右依次设有所述鼓风机4、热点3和冷冻机2，所述腔体室1顶部固定安装有水银灯8，所述水银灯8底部连接有位于所述腔体室1内部的对物镜头9，所述腔体室1内壁底部连接有所述冷冻机2，所述冷冻机2顶部通过所述密封盖6连接有晶片装载台10，所述晶片装载台10顶部连接有与所述晶片装载台10相适配的晶片11，所述晶片11和所述对物镜头9之间连接有位于所述腔体室1内壁上的缩小投影镜头12，所述腔体室1内壁一侧连接有贯穿所述腔体室1厚度方向的进气口13，所述进气口13流进的气体穿过所述冷冻机2和所述热点3并进入到所述鼓风机4内，所述鼓风机4内的进气向上流出并穿过所述过滤器5延伸至所述缩小投影镜头12外部连接的壳体14上，所述壳体14上的气体穿过所述壳体内部的收纳口并延伸到壳体14外部一侧的通孔板7上。

优选的，温控器16先预定设置冷冻机2上实际所需要散出的温度，外界的空气先通过进气口13，然后通过冷冻机2将气体冷却下来，然后将晶片曝光工作时产生的热量通过热点3进行排出，而气体经过鼓风机4吹入到过滤器5上进行干燥过滤，再让气体通过晶片装载台10外部的壳体14上，穿过壳体14内部的收纳口，使得真个曝光系统设备处在环境腔体内，最后通过通孔板7底部的开口槽17与进气口13相连接，成为一个循环的装置，这样的步进器环境腔体部大大提高了使用性能，有效的实现环境腔体内的空气循环，保持一个恒温、恒湿干净的环境。

优选的，所述鼓风机4内设有循环部15，密封盖15的设置可以有效的将气体输送到过滤器5上进行除尘。

优选的，所述冷冻机2底部固定连接有位于所述腔体室1内壁底部的温控器16。

优选的，所述温控器16的型号为REX-C900。

优选的，所述通孔板7底端一侧连接有位于所述进气口13顶部的开口槽17。

优选的，所述水银灯8底部通过圆形罩18连接有所述对物镜头9。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型的范围内。本实用新型要求的保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。