一种用于标记的装置的制作方法

文档序号:17400450发布日期:2019-04-13 01:10阅读:240来源:国知局
一种用于标记的装置的制作方法

本实用新型属于设备安装领域,涉及一种用于标记的装置。



背景技术:

在现有的半导体制造工厂中,需要对半导体机台进行固定安装,如机台的引入及机台的迁移等。其中,在机台的安装过程中,为确保后续产品质量,对机台的安装的精准度要求较高。因此现有的半导体制造工厂中,为确保机台安装的精准度,工作人员常常采用与待安装的机台的占地面积一致的1:1纸质图纸,作为安装机台的参考图纸,进行地板标记,而后根据地板标记进行机台的安装,从而确保安装的机台的位置的精准度。然而采用这种纸质地板标记的方法,却需耗费与机台占地面积一致的大型1:1纸质图纸,因此造成资源的浪费,且操作复杂,耗时较长,需要耗费较大人力。

因此,有必要提供一种能够用于标记的装置,以解决现有的纸质标记效率较低及耗费较大的问题。



技术实现要素:

鉴于以上所述现有技术的缺点,本实用新型的目的在于提供一种用于标记的装置,用于解决现有技术中使用纸质标记所造成的一系列浪费问题。

为实现上述目的及其他相关目的,本实用新型提供一种用于标记的装置,待标记物表面包括第一坐标图像,所述用于标记的装置包括:

投影设备,所述投影设备位于所述待标记物上方,且与所述待标记物平行设置,用于发射投影光线;

模板,所述模板位于所述投影设备下方,且与所述投影设备平行设置,所述模板中包含第二坐标图像;所述投影光线通过所述模板投影至所述待标记物表面,在所述待标记物表面形成模板图像;

支撑架,所述支撑架与所述投影设备相连接,通过调节所述支撑架的位置,使得所述模板图像中的所述第二坐标图像的投影与所述第一坐标图像重合。

可选的,所述第一坐标图像及所述第二坐标图像中至少包括两个装载中心点及四个边缘点。

可选的,所述模板与所述模板图像之间的比值范围包括1:10~1:1000。

可选的,所述模板包括固定式模板及调节式模板中的一种。

可选的,所述支撑架的移动方式包括旋转式、平移式及升降式中的一种或组合。

可选的,所述支撑架还包括用于承载所述投影设备的投影设备载台及用于承载所述模板的模板载台。

可选的,所述装置还包括水平测量仪。

可选的,所述装置还包括报警设备。

可选的,所述支撑架还包括万向轮,且所述万向轮还连接有锁止机构。

可选的,上述任一所述用于标记的装置包括用于安装半导体机台的地板标记的装置。

如上所述,本实用新型的用于标记的装置,具有以下有益效果:通过投影设备、模板及支撑架,在待标记物表面形成模板图像,以在待标记物上进行无纸化标记,从而实现方便、快捷的无纸化标记,节约资源。

附图说明

图1显示为本实用新型中的用于标记的装置的结构示意图。

元件标号说明

100 待标记物

101 装载中心点

102 边缘点

200 投影设备

300 投影光线

400 模板

500 支撑架

600 水平测量仪

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式,熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。

请参阅图1。须知,本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本实用新型可实施的限定条件,故不具技术上的实质意义,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时,本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语,亦仅为便于叙述的明了,而非用以限定本实用新型可实施的范围,其相对关系的改变或调整,在无实质变更技术内容下,当亦视为本实用新型可实施的范畴。

如图1所示,本实用新型提供一种用于标记的装置,待标记物100表面包括第一坐标图像,所述用于标记的装置包括:投影设备200、模板400及支撑架500。其中,所述投影设备200位于所述待标记物100上方,且与所述待标记物100平行设置,用于发射投影光线300;所述模板400位于所述投影设备200下方,且与所述投影设备200平行设置,所述模板400中包含第二坐标图像;所述投影光线300通过所述模板400投影至所述待标记物100表面,在所述待标记物100表面形成模板图像;所述支撑架500与所述投影设备200相连接,通过调节所述支撑架500的位置,使得所述模板图像中的所述第二坐标图像的投影与所述第一坐标图像重合。

本实用新型通过所述投影设备200、模板400及支撑架500,在所述待标记物100表面形成所述模板图像,以在所述待标记物100表面进行无纸化标记,从而实现方便、快捷的无纸化标记,节约资源。

作为该实施例的进一步实施例,所述用于标记的装置包括用于安装半导体机台的装置。

具体的,所述模板400可包括缩小的半导体机台的图纸模板,所述待标记物100可包括地板,从而通过所述投影设备200中的所述投影光线300,在所述地板表面投影所述模板图像,从而在所述地板表面形成所述半导体机台的图纸投影,以便于工作人员根据所述半导体机台的图纸投影对所述半导体机台中的具体位置及分布进行定位,从而便于工作人员精准的安装所述半导体机台。所述模板400可根据具体需要进行选择,此处不作限制。

作为该实施例的进一步实施例,所述第一坐标图像及所述第二坐标图像中至少包括两个装载中心点及四个边缘点,所述第一坐标图像及所述第二坐标图像优选为非中心对称图形,以便于判断投影下来的所述模板图像是否具有正确的方向及所述模板图像是否存在扭曲变形的现象。如图1中四个边缘点102为待安装的所述半导体机台的图纸中的四个最大距离点,以确定安装的所述半导体机台的最大范围。所述第一坐标图像为工作人员在所述地板表面根据所述半导体机台的位置、尺寸及分布,提前画好的标记点包括两个装载中心点101及所述四个边缘点102,以作为所述模板图像的对比参考点,用以确定所述模板400所投影下来的所述模板图像是否具有正确的方向及所述模板图像是否存在扭曲变形的现象,从而确保所述模板图像的精准度。其中,当所述第二坐标图像投影到所述待标记物100上的投影与工作人员在所述待标记物100上提前画好的作为标记点的所述第一坐标图像相重合时,所述模板图像即可作为无纸化标记;当所述第二坐标图像的投影与所述第一坐标图像不重合时,即可通过比对非中心对称的所述第二坐标图像的投影与所述第一坐标图像,从而判定所述模板图像是否具有正确的方向及所述模板图像是否存在扭曲变形的现象。所述第一坐标图像及所述第二坐标图像的具体形貌,此处不作限制。

作为该实施例的进一步实施例,所述模板400与所述模板图像之间的比值范围包括1:10~1:1000。

具体的,如所述模板400投影的所述模板图像的形貌等同于所述半导体机台的纸质图纸,所述模板400相当于缩小的所述半导体机台的纸质图纸,因此所述模板400中包含所述半导体机台中的各部件的位置及分布,自所述投影设备200发射的所述投影光线300,透过所述模板400投射到所述地板表面,当所述第一坐标图像与所述第二坐标图像重合时,在所述地板表面形成的所述模板图像即可视为无纸化的所述半导体机台的图纸,从而可避免所述半导体机台的纸质图纸,以节约成本。为使所述第一坐标图像与所述第二坐标图像重合,可通过调节所述支撑架500的高度,以改变所述模板400与所述模板图像之间的比值范围,获得清晰、水平的所述模板图像。其中所述模板400与所述模板图像之间的比值优选为1:50,以便于所述装置的操作,所述模板400与所述模板图像之间的比值也可根据具体需要进行选择,此处不作限制。

作为该实施例的进一步实施例,所述模板400包括固定式模板及调节式模板中的一种。

具体的,当所述模板400采用固定式模板时,即所述投影设备200与所述模板400之间的位置相对固定时,仅需通过调节与所述投影设备200相连接的所述支撑架500的位置即可调节所述模板图像的形貌,从而简化调节步骤。当所述模板400采用调节式模板时,即所述投影设备200与所述模板400之间的位置可调节时,可通过调节所述模板400的位置,进一步的对所述模板图像的形貌进行微量的调节,以获得清晰的所述模板图像。

作为该实施例的进一步实施例,所述支撑架500的移动方式包括旋转式、平移式及升降式中的一种或组合。

具体的,所述支撑架500用以固定、支撑所述投影设备200以及调节所述投影设备200的位置,为便于对所述投影设备200位置的调节及提高所述设备的携带便捷性,所述支撑架500的移动方式优选为包括旋转式、平移式及升降式的组合,从而可对所述投影设备200的角度、水平位置及高度位置进行灵活的调节,从而提高所述装置的灵活性及便利性。

作为该实施例的进一步实施例,所述支撑架500还包括用于承载所述投影设备200的投影设备载台(未图示)及用于承载所述模板400的模板载台(未图示)。所述投影设备载台及所述模板载台与所述支撑架500相连接,所述投影设备载台及所述模板载台便于更换所述投影设备200及所述模板400,以扩大所述装置的适用范围。

作为该实施例的进一步实施例,所述装置还包括水平测量仪600,以便于对所述投影设备200的水平度进行检测。

具体的,所述水平测量仪600可与所述投影设备200相连接,用于检测所述投影设备200的水平度,从而可提高所述模板图像的水平度,其中,所述水平测量仪600可包括激光水平测量仪,所述水平测量仪600的具体种类此处不作限制。

作为该实施例的进一步实施例,所述装置还包括报警设备(未图示)。所述报警设备可包括声光报警器、光报警器及声报警器中的一种,具体种类此处不作限制。

具体的,所述报警设备可与所述水平测量仪600相连接,当所述投影设备200处于非水平状态时,所述报警设备启动,以便于通知工作人员对所述投影设备200进行调整。当所述报警设备启动时,所述投影设备200处于非水平状态,所述投影设备200可根据所述水平测量仪600检测到的所述投影设备200的水平度,进行自动调整;或工作人员根据所述水平测量仪600检测到的所述投影设备200的水平度,进行手动调整。

作为该实施例的进一步实施例,所述支撑架500还包括万向轮(未图示),且所述万向轮还连接有锁止机构(未图示)。

具体的,可在所述支撑架500的底部安装至少3个呈周向分布的具有同一水平面的万向轮,以提高所述支撑架500移动的便捷性,便于在不同位置部署所述支撑架500,为进一步确保所述支撑架500的稳固性,所述万向轮还可配有锁止机构,以防止所述万向轮擅自移动。所述万向轮及所述锁止机构的具体种类、个数及分布,可根据实际需要选择,此处不作限制。

综上所述,本实用新型用于标记的装置,通过投影设备、模板及支撑架,在待标记物表面形成模板图像,以在待标记物上进行无纸化标记,从而实现方便、快捷的无纸化标记,节约资源。所以,本实用新型有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。

上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效,而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下,对上述实施例进行修饰或改变。因此,举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变,仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

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