探针台的制作方法

本实用新型涉及显示屏检测领域，特别是涉及一种探针台。

背景技术：

通过在玻璃基板上集成薄膜晶体管以形成液晶显示面板，液晶显示面板以下简称显示面板，在生产显示面板过程中，以相同的工艺在玻璃基板上制作出用于检测薄膜晶体管特性的测试元件组合(Test Element Group，简称TEG)，通过半导体检测设备来测试元件组合的电特性，其测试结果能反映显示面板的电特性，目前的其中一种半导体检测设备为探针台。由于液晶显示屏的应用越发广泛，致使对液晶显示屏在不同工作环境的要求也越来越高，故需测试显示面板的低温性能，目前通过探针台进行测试，探针台本体设置在一密封的壳体内，测试前需要对壳体内部进行抽湿处理，抽湿完毕后再进行降温。在抽湿过程中，设备会发生震动使得探针偏位；在降温过程中，由于温度急速下降，会引起探针、玻璃的冷缩，导致探针偏位。若打开壳体对探针进行调整，则需要再次对壳体内部进行抽湿和降温，效率低下。

技术实现要素：

基于此，有必要提供一种探针台。

一种探针台，包括探针台本体、壳体和手套，所述壳体内具有腔室，所述探针台本体设置于所述腔室内，所述壳体上开设有通孔，所述通孔与所述腔室连通，所述手套与所述壳体连接，且所述手套封闭所述通孔，所述手套至少部分活动设置于所述腔室内，且所述壳体至少部分设置为透明结构。

上述实施例的所述探针台，探针台本体设置于腔室内，对腔室内的环境进行抽湿和降温过程中，将手伸入手套内，并使得手通过手套伸入腔室内以调整探针台本体的探针位置，一方面避免因多次调整探针而重复打开壳体，从而节省测试时间，另一方面避免重复对腔室内抽湿和降温。从而减少测试时间，使测试更加高效，且减少抽湿和降温操作能降低探针台的的功耗，降低单次测试的成本。

在其中一个实施例中，所述通孔的数量和所述手套的数量分别为两个，所述通孔与所述手套一一对应设置。

在其中一个实施例中，两个所述通孔之间的距离为400mm～500mm。

在其中一个实施例中，所述通孔的截面形状为三角形、矩形、圆形和多边形中的其中一种。

在其中一个实施例中，还包括法兰和螺栓，所述法兰开设有伸入口和螺口，所述手套上开设有通口，所述壳体开设有螺孔，所述法兰的外侧表面通过所述手套抵接于所述壳体，所述伸入口与所述手套的内部连通，所述螺口、所述通口和所述螺孔依次连通，所述螺栓穿设于所述螺口、所述通口和所述螺孔内，且所述螺栓与所述螺口螺接，所述螺栓与所述螺孔螺接。

在其中一个实施例中，还包括密封垫片，所述密封垫片设置于所述手套和所述法兰之间。

在其中一个实施例中，所述手套为硅胶手套或塑料手套。

在其中一个实施例中，所述壳体包括本体部和舱门，所述腔室开设于所述本体部内，所述本体部开设有窗口，所述窗口与所述腔室连通，所述舱门与所述本体部连接，且活动封闭所述窗口，所述通孔开设于所述本体部或所述舱门上。

在其中一个实施例中，所述壳体为透明壳体。

在其中一个实施例中，所述壳体上开设有观察口，所述观察口内设置有透明片，所述透明片封闭所述观察口。

附图说明

图1为一个实施例的探针台的立体结构示意图；

图2为又一个实施例的探针台的立体结构示意图；

图3为一个实施例的手套与壳体连接的结构示意图。

具体实施方式

为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的较佳实施方式。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本实用新型的公开内容理解的更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

在其中一个实施例中，如图1所示，一种探针台10，包括探针台本体100、壳体200和手套300，所述壳体200内具有腔室201，所述探针台本体100设置于所述腔室201内，所述壳体200上开设有通孔202，所述通孔202与所述腔室201连通，所述手套300与所述壳体200连接，且所述手套300封闭所述通孔202，所述手套300至少部分活动设置于所述腔室201内，且所述壳体200至少部分设置为透明结构，也就是说，所述壳体200可以是局部设置为透明结构，也可以是，所述壳体200整体设置为透明结构。

上述实施例的所述探针台10，探针台本体100设置于腔室201内，对腔室201内的环境进行抽湿和降温过程中，将手伸入手套300内，并使得手通过手套300伸入腔室201内以调整探针台本体100的探针位置，一方面避免因多次调整探针而重复打开壳体200，从而节省测试时间，另一方面避免重复对腔室201内抽湿和降温。从而减少测试时间，使测试更加高效，且减少抽湿和降温操作能降低探针台10的的功耗，降低单次测试的成本。

为实现手套300与所述壳体200连接，且所述手套300部分活动设置于所述腔室201内。在一个实施例中，所述手套300的外侧表面与所述壳体200的外侧连接，所述手套300穿设所述通孔202，即所述手套300由壳体200的外侧穿设所述通孔202伸入所述腔室201，手套连接于通孔202的外侧边缘。在另一个实施例中，所述手套300的外侧表面与所述通孔202的侧壁连接。又一个实施例中，所述手套300与所述壳体200的内侧连接。

在其中一个实施例中，如图2所示，所述探针台本体100包括机架110、探针机构120、载物台130、抽湿机构(图未示)、降温机构(图未示)和控制器(图未示)，所述载物台130、所述抽湿机构和所述降温机构分别设置在所述机架110上，所述探针机构120活动设置于所述载物台130上，且所述探针机构120与所述控制器电连接，所述机架110与所述腔室201的侧壁连接。将显示面板固定于载物台130上，且通过探针机构120对载物台130上的显示面板进行测试。进一步地，所述探针机构120包括探针、连接臂和支撑座，所述支撑座的转动设置于所述机架110上，所述连接臂的一端与所述支撑座连接，所述连接臂的另一端与所述探针连接，所述探针与所述控制器电连接，通过转动所述支撑座，以调节探针在载物台130上的位置，使得探针的使用更灵活，所述探针在显示面板上通电后，将获得的测试信号发送至控制器，以反馈给操作者。

进一步地，如图2所示，所述探针台本体100还包括显微镜140，例如，所述显微镜为金相显微镜。再例如，所述显微镜为扫描电子显微镜。

为方便打开所述壳体200，在一个实施例中，所述壳体200包括本体部(图未示)和舱门(图未示)，所述腔室201开设于所述本体部内，所述本体部开设有窗口，所述窗口与所述腔室201连通，所述舱门与所述本体部连接，且所述舱门活动封闭所述窗口，所述通孔202开设于所述本体部或舱门上。一个实施例是，所述通孔202开设于所述本体部上，通过打开舱门，方便将显示面板通过窗口放置到探针台本体100上。在另一个实施例中，所述通孔202开设于所述舱门上。又一个实施例中，所述通孔202的数量和所述手套300的数量分别为两个，所述通孔202与所述手套300一一对应设置，一所述通孔202开设于所述本体部上，另一所述通孔202开设于所述舱门上。

在其中一个实施例中，所述探针台10的使用方式是：手动调好探针台本体100的针位。紧闭舱门，对腔室201进行抽湿。待抽湿达到要求后再对腔室201进行降温。在以上步骤中，如果出现由于抽湿震动或是冷缩导致的探针偏位现象，可以在不用开启舱门的情况下，通过加装的手套300来及时的调整探针台本体100的探针，避免探针偏位现象。

为适配双手佩戴手套，在其中一个实施例中，如图1所示，所述通孔202的数量和所述手套300的数量分别为两个，所述通孔202与所述手套300一一对应设置。例如，一所述手套300为左手手套300，另一所述手套300为右手手套300，以使得手套300配合双手使用。

为使得两个手套适应两个手的间距，在其中一个实施例中，两个所述通孔202之间的距离为400mm～500mm。以适应人的两个手的间距，使得更好地对手套进行控制。

所述通孔202的截面形状可以是任意的，在一个实施例中，所述通孔202的截面形状为三角形、矩形、圆形和多边形中的其中一种。例如，所述通孔202的截面形状为三角形。例如，所述通孔202的截面形状为矩形，例如，所述通孔202的截面形状为正方形，所述通孔202的截面形状的边长为200mm*200m。例如，如图1所示，所述通孔202的截面形状为圆形，例如，所述通孔202的直径为100mm～150mm。例如，所述通孔202的截面形状为多边形。

为使得手套300密封所述通孔202，在其中一个实施例中，如图3所示，所述探针台10还包括法兰400和螺栓410，所述法兰400开设有伸入口401和螺口402，所述手套300上开设有通口301，所述壳体200开设有螺孔203，所述法兰400的外侧表面通过所述手套300抵接于所述壳体200，所述伸入口401与所述手套300的内部连通，所述螺口402、所述通口301和所述螺孔203依次连通，所述螺栓410穿设于所述螺口402、所述通口301和所述螺孔203内，且所述螺栓410与所述螺口402螺接，所述螺栓410与所述螺孔203螺接。本实施例中，法兰和壳体的外侧表面共同夹紧于手套的300的两个相背的表面，所述法兰400通过所述手套300抵接于所述壳体200上，并通过螺栓410加固，使得手套300紧密地封闭所述通孔202。

例如，如图3所示，所述手套300包括指套部320和掌套部310，所述指套部320和所述掌套部310连接，且所述指套部320的内部与所述掌套部310的内部连通，所述掌套部310远离所述指套部320的一端开设有所述通口301，且所述掌套部310远离所述指套部320的一端设置于所述壳体200的外侧表面，所述靠近指套部320的一端和所述指套部320穿过所述通孔202设置于所述壳体200的内侧，所述掌套部310远离所述指套部320的一端翻折至外侧表面，即部分所述掌套部310的外侧表面与所述壳体200的外侧表面抵接，且所述通口301开设于所述掌套部310的翻折处，以获得良好的密封效果。

为进一步加强密封效果，在其中一个实施例中，所述探针台10还包括密封垫片(图未示)，所述密封垫片设置于所述手套300和所述法兰400之间。密封垫片较薄，具有良好的延展性，随着法兰400抵接于手套300时，密封垫片随着手套300和法兰400表面凹凸不平的位置变形，使得密封垫片的一面贴合于手套300表面，密封垫片的另一面贴合于法兰400表面，从而令密封效果更好。

为使得手套300更加好操控，在其中一个实施例中，所述手套300为硅胶手套300。硅胶手套300薄且弹性好，戴上硅胶手套300时，硅胶手套300贴合于手，使得操作更加精确和灵敏。在另一个实施例中，所述手套300为塑胶手套300。

为便于观察腔室201内的探针台本体100，在其中一个实施例中，所述壳体200为透明壳体。通过透明的壳体200能观察到设置在腔室201内的探针台本体100，便于通过手套300对探针台本体100的探针进行调整。例如，所述透明壳体为玻璃壳。再例如，所述壳体200为亚克力壳。亚克力材料的强度和弯曲度良好，使用亚克力材料作为壳体200的材料，使得壳体200不容易破损。

为便于观察腔室201内的探针台本体100，在其中一个实施例中，所述壳体200上开设有观察口(图未示)，所述观察口内设置有透明片(图未示)，所述透明片封闭所述观察口。通过透明片能观察到设置在腔室201内的探针台本体100，便于通过手套300对探针台本体100的探针进行调整。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。