一种用于光刻机的镭射架的制作方法

本发明涉及光刻机镭射架技术领域，具体为一种用于光刻机的镭射架。

背景技术：

光刻机又名掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。一般情况下，光刻机的镭射管高度会达到五米，贯穿整个楼层，其中镭射管一般情况下由多段镭射管组成。鉴于镭射管本身的高度以及光刻机设备本身运转时的微震动，其震动会传递给镭射管，震动会随着镭射管的高度增加而逐渐被放大。当镭射管的震动幅度达到一定程度时，镭射管本身的震动变形会直接影响其内部的激光束传输，因为激光束会由于镭射管的水平方向变形而导致在变形管壁处产生折射，从而对激光束有破坏，进一步导致对光刻机的正常工作造成很大的影响，间接导致其产品质量差，甚至产品直接报废。故亟需设计一种支架来抑制镭射管的微震动，防止影响激光束的传输，基于此，本发明设计了一种用于光刻机的镭射架，以解决上述问题。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种用于光刻机的镭射架，以解决上述背景技术中提出的亟需设计一种支架来抑制镭射管的微震动，防止影响激光束的传输的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于光刻机的镭射架，包括插杆、螺纹杆、套管和两组固定板，所述螺纹杆同轴一体焊接在插杆上，所述套管套接在插杆外壁上，所述套管的底端通过轴承和阶梯通孔同轴转动设置有与螺纹杆相匹配的内螺纹管，所述内螺纹管的外壁顶部同轴套接有正六边形板，所述内螺纹管的外壁通过螺纹通孔固定有塑料五星把手螺栓，两组所述固定板分别焊接在套管的顶端和插杆的底端，所述套管的外壁前侧上下和插杆的外壁下部均水平焊接有横向固定装置，所述横向固定装置的右端焊接有传动装置，上部和中部两组所述传动装置之间通过大方管连接，中部和下部两组所述传动装置之间通过贯穿插接在大方管内腔的小方管连接，下部所述传动装置的底部固定连接有限位装置，且限位装置包覆在小方管外侧，所述小方管的底端焊接有摇柄；

所述横向固定装置包括横管，所述横管的内腔水平中央通过轴承转动设置有丝杠，所述丝杠的外壁配合设有螺母副，所述螺母副的左侧水平焊接有空心柱，所述空心柱与丝杠同轴分布，所述空心柱的左端固定胶粘有弧形软橡胶块，所述横管的左端前后中心对称竖向均焊接有安装板，所述安装板的相对内表面左侧焊接有l型限位板，所述l型限位板的内腔拐角处通过九十度弹簧合页设置有转板，两组所述转板的外侧面贴合，所述转板的内表面固定胶粘有软橡胶板，所述弧形软橡胶块的竖向中线与两组软橡胶板之间的贴合缝隙相对平齐分布；

所述传动装置包括箱体，所述丝杠右端通过轴承贯穿延伸到箱体内腔左侧中央，所述大方管贯穿焊接在箱体上下表面轴线上，所述丝杠的右端与大方管的外壁之间通过锥齿轮副连接。

优选的，底部所述固定板的侧面和上表面均镶嵌固定有水平尺。

优选的，所述限位装置包括圆环，所述圆环的表面设置有贯穿t型圆槽，所述圆环的底部焊接有挡圈，所述贯穿t型圆槽的内腔滑动设置有两组t型滑块，所述t型滑块的顶部设置有转动块，所述转动块、t型滑块和贯穿t型圆槽内腔底部之间通过长螺栓限位，所述转动块的外壁焊接有推板。

优选的，所述转动块和t型滑块的贴合面设置有防滑纹路。

优选的，所述丝杠的两端均转动设置有安装轴承，左侧所述安装轴承通过轮叉固定在横管内腔左侧，所述空心柱的后表面设置有水平通槽，且轮叉贯穿于水平通槽内腔。

优选的，所述转板左表面和侧面呈一体弧面。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过内螺纹管、塑料五星把手螺栓和正六边形板限制套管上下移动和固定，利用插杆和套管带动固定板固定在楼层之间，采用镭射管卡在两组软橡胶板和弧形软橡胶块之间，从而抑制住镭射管在水平方向的震动，确保光刻机本身震动在传递给镭射管时，其镭射管在水平方向的震动幅度在设备技术要求范围允许内；从而确保激光束能顺利通过镭射管传输给光刻机，保障了光刻机能正常运转，该装置操作简单，上下伸缩，可以运用在不同楼层之间，具有广泛的市场运用前景。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明结构示意图；

图2为图1中横向固定装置结构示意图；

图3为图1中传动装置结构示意图；

图4为图1中限位装置结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1-插杆，2-螺纹杆，3-套管，4-固定板，5-内螺纹管，6-正六边形板，7-塑料五星把手螺栓，8-横向固定装置，9-传动装置，10-大方管，11-小方管，12-限位装置，13-摇柄，80-横管，81-丝杠，82-螺母副，83-空心柱，84-弧形软橡胶块，85-安装板，86-l型限位板，87-转板，88-软橡胶板，90-箱体，91-锥齿轮副，120-圆环，121-挡圈，122-贯穿t型圆槽，123-t型滑块，124-转动块，125-长螺栓，126-推板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

请参阅图1-4，本发明提供一种技术方案：一种用于光刻机的镭射架，包括插杆1、螺纹杆2、套管3和两组固定板4，螺纹杆2同轴一体焊接在插杆1上，套管3套接在插杆1外壁上，套管3的底端通过轴承和阶梯通孔同轴转动设置有与螺纹杆2相匹配的内螺纹管5，内螺纹管5的外壁顶部同轴套接有正六边形板6，内螺纹管5的外壁通过螺纹通孔固定有塑料五星把手螺栓7，两组固定板4分别焊接在套管3的顶端和插杆1的底端，套管3的外壁前侧上下和插杆1的外壁下部均水平焊接有横向固定装置8，横向固定装置8的右端焊接有传动装置9，上部和中部两组传动装置9之间通过大方管10连接，中部和下部两组传动装置9之间通过贯穿插接在大方管10内腔的小方管11连接，下部传动装置9的底部固定连接有限位装置12，且限位装置12包覆在小方管11外侧，小方管11的底端焊接有摇柄13；

横向固定装置8包括横管80，横管80的内腔水平中央通过轴承转动设置有丝杠81，丝杠81的外壁配合设有螺母副82，螺母副82的左侧水平焊接有空心柱83，空心柱83与丝杠81同轴分布，空心柱83的左端固定胶粘有弧形软橡胶块84，横管80的左端前后中心对称竖向均焊接有安装板85，安装板85的相对内表面左侧焊接有l型限位板86，l型限位板86的内腔拐角处通过九十度弹簧合页设置有转板87，两组转板87的外侧面贴合，转板87的内表面固定胶粘有软橡胶板88，弧形软橡胶块84的竖向中线与两组软橡胶板88之间的贴合缝隙相对平齐分布；

传动装置9包括箱体90，丝杠81右端通过轴承贯穿延伸到箱体90内腔左侧中央，大方管10贯穿焊接在箱体90上下表面轴线上，丝杠81的右端与大方管10的外壁之间通过锥齿轮副91连接。

其中，底部固定板4的侧面和上表面均镶嵌固定有水平尺，便于控制固定板4水平，进而使插杆1和套管3垂直位于两两侧之间；

限位装置12包括圆环120，圆环120的表面设置有贯穿t型圆槽122，圆环120的底部焊接有挡圈121，贯穿t型圆槽122的内腔滑动设置有两组t型滑块123，t型滑块123的顶部设置有转动块124，转动块124、t型滑块123和贯穿t型圆槽122内腔底部之间通过长螺栓125限位，转动块124的外壁焊接有推板126，松动长螺栓125，移动t型滑块123，再转动两组推板126，使其两组左右交错抵住小方管11外壁再锁紧长螺栓125；

转动块124和t型滑块123的贴合面设置有防滑纹路，增大摩擦，防止松动；

丝杠81的两端均转动设置有安装轴承，左侧安装轴承通过轮叉固定在横管80内腔左侧，空心柱83的后表面设置有水平通槽，且轮叉贯穿于水平通槽内腔；

转板87左表面和侧面呈一体弧面，减小与镭射管外壁之间的摩擦力。

本实施例的一个具体应用为：通过内螺纹管5、塑料五星把手螺栓7和正六边形板6限制套管3上下移动和固定，利用插杆1和套管3带动固定板4固定在楼层之间，采用镭射管卡在两组软橡胶板88和弧形软橡胶块之间，从而抑制住镭射管在水平方向的震动，确保光刻机本身震动在传递给镭射管时，其镭射管在水平方向的震动幅度在设备技术要求范围允许内；从而确保激光束能顺利通过镭射管传输给光刻机，保障了光刻机能正常运转；同时丝杠81通过摇柄13、大方管10和小方管11配合锥齿轮副91进行控制。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。