多通道滤光片、制备方法及荧光显微镜成像系统与流程

文档序号:19672580发布日期:2020-01-10 22:48阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多通道滤光片,其特征在于,包括:基底、带通滤光膜及带外截止滤光膜,所述带通滤光膜设置于所述基底上表面,所述带外截止滤光膜设置于所述基底下表面,所述带通滤光膜由若干个条状光谱通道单元组成,若干个所述光谱通道单元沿其宽度方向依次连接。

2.一种多通道滤光片的制备方法,其特征在于,包括下述步骤:

利用有机溶剂对基底进行超声波清洗;

在所述基底上制备周期性排列的第一条状光谱通道单元的镀膜窗口;

将处理后的所述基底镀制第一条光谱通道所需要的滤光膜;

重复上述步骤制备出其它光谱通道单元;

在基底背面镀制带外截止滤光膜。

3.如权利要求2所述的多通道滤光片的装调方法,其特征在于,所述有机溶剂为酒精、丙醇或石油醚。

4.如权利要求2所述的多通道滤光片的装调方法,其特征在于,所述基底为石英或者玻璃材质。

5.如权利要求2所述的多通道滤光片的装调方法,其特征在于,在所述基底上制备周期性排列的第一条状光谱通道单元的镀膜窗口,具体包括下述步骤:

利用光刻工艺在所述基底上制备周期性排列的第一条状光谱通道单元的镀膜窗口。

6.如权利要求2所述的多通道滤光片的装调方法,其特征在于,在将处理后的所述基底镀制第一条光谱通道所需要的滤光膜,具体包括下述步骤:

利用电子束蒸发或者溅射方法将处理后的所述基底镀制第一条光谱通道所需要的滤光膜。

7.如权利要求2所述的多通道滤光片的装调方法,其特征在于,在基底背面镀制带外截止滤光膜,具体包括下述步骤:

利用电子束蒸发或者溅射方法,在基底背面镀制带外截止滤光膜。

8.一种多通道视频型荧光显微镜成像系统,其特征在于,包括沿光轴依次设置的物镜组、多通道滤光片、中继镜组及成像传感器,所述多通道滤光片装配于中间像面位置,所述多通道滤光片包括:基底、带通滤光膜及带外截止滤光膜,所述带通滤光膜设置于所述基底上表面,所述带外截止滤光膜设置于所述基底下表面,所述带通滤光膜由若干个条状光谱通道单元组成,若干个所述光谱通道单元沿其宽度方向依次连接,任意一个所述条状光谱通道单元包括多个光谱通带,所述多通道滤光片连接有微位移单元,所述微位移单元可用于驱动所述多通道滤光片沿其宽度方向上移动,

任意一所述光谱通道单元的长度方向与所述成像传感器的靶面长度方向对应,任意一所述光谱通道单元的宽度与所述成像传感器的靶面宽度方向上像元对应。

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