多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜的制作方法

文档序号:18926560发布日期:2019-10-19 04:04阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜,其特征在于:包括支撑架(5)、半圈夹具(3)、蜂窝镜体(2)、压电驱动器(1)和接电组件(4),所述半圈夹具(3)紧固在所述支撑架(5)上,所述半圈夹具(3)由调节半环(31)和紧固半环(32)闭合构成前端圈口和后端圈口,所述蜂窝镜体(2)由所述半圈夹具(3)夹紧固定在所述前端圈口内,所述接电组件(4)置于所述半圈夹具(3)的后端圈口内,所述半圈夹具(3)的两个连接端,至少一端为调节端,用于调节对所述蜂窝镜体(2)的夹持力;

所述蜂窝镜体(2)形状与所述前端圈口贴合,所述蜂窝镜体(2)背面开有多个蜂窝槽(21),所述蜂窝槽(21)中部设置有凸台(22),用于粘接压电驱动器(1);

所述压电驱动器(1)包括压电陶瓷板(11)、驱动电极(12)和接地电极(13),所述接地电极(13)和所述驱动电极(12)分别通过丝网印刷于所述压电陶瓷板(11)两侧,且分别与所述接电组件(4)电连接。

2.根据权利要求1所述的多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜,其特征在于:所述半圈夹具(3)的另一连接端为铰链连接。

3.根据权利要求1或2所述的多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜,其特征在于:还包括连接组件(6),所述连接组件(6)由调节螺钉(61)以及套装在所述调节螺钉(61)外的弹簧(62)组成,所述半圈夹具(3)调节端开有闭合通孔,所述闭合通孔在调节半环(31)一端设置为沉头孔(311),在紧固半环(32)一端设置为螺纹孔(321),所述调节螺钉(61)的旋转端置于所述沉头孔(311)内,另一端与所述螺纹孔(321)螺纹连接。

4.根据权利要求1或2所述的多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜,其特征在于:所述支撑架(5)包括底板(51)、固定螺钉(52)、弧形卡套(53)和紧固螺栓(54),所述紧固螺栓(54)位于所述弧形卡套(53)顶部,所述弧形卡套(53)通过所述固定螺钉(52)固装在所述底板(51) 上,所述半圈夹具(3)通过所述紧固螺栓(54)紧固在所述弧形卡套(53)内。

5.根据权利要求4所述的多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜,其特征在于:所述弧形卡套(53)由弹性材料制成,所述弧形卡套(53)的开口设置在90度~180度之间。

6.根据权利要求1或2所述的多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜,其特征在于:所述压电驱动器(1)经接地电极(13)粘接于所述凸台(22)。

7.根据权利要求1或2所述的多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜,其特征在于:所述驱动电极(12)包含1个中心区域电极(121)和多个扇形区域电极(122),所述扇形区域电极(122)均匀间隔分布在所述中心区域电极(121)周围。

8.根据权利要求1或2所述的多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜,其特征在于:所述接电组件(4)包括电路板(41)和插座(42),所述插座(42)为直针牛角插座,其焊接固定于所述电路板(41)上,用于连接外部电源。

9.根据权利要求8所述的多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜,其特征在于:所述半圈夹具(3)的紧固半环(32)背面开有至少两个背板螺孔(322),所述电路板(41)在相应位置上开有U形槽,所述电路板(41)由背板螺钉(323)固定在紧固半环(32)背面。

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