多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜的制作方法

文档序号:18926560发布日期:2019-10-19 04:04阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型申请公开了一种多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜,包括支撑架、半圈夹具、蜂窝镜体、压电驱动器和接电组件,所述半圈夹具紧固在所述支撑架上,所述蜂窝镜体和所述接电组件分别置于所述半圈夹具前后端圈口内,所述压电驱动器粘接于所述蜂窝镜体背面,所述压电驱动器与所述接电组件电连接,所述半圈夹具由两个半环闭合组成,所述半圈夹具的两个连接端,至少一端为调节端,用于调节对所述蜂窝镜体的夹持力。根据本申请实施例的多光束非相干空间合成用压电驱动变形镜具有结构紧凑、安装方便、形变范围大、形变精度高和形变稳定性好的特点,能提高对非相干空间合成激光系统改善光束质量的能力。

技术研发人员:宁禹;范占斌;张明;何宇龙;孙全;关朝亮;铁贵鹏;戴一帆;许晓军
受保护的技术使用者:中国人民解放军国防科技大学
技术研发日:2019.03.11
技术公布日:2019.10.18

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