技术特征：
1.一种测量ldi内层对位精度的装置，包括基座，其特征在于，所述基座上设有xyz移动台、由该xyz移动台控制移动的吸盘台面和下对准组件，所述吸盘台面的一端设有能够移动的标定靶点，所述基座上还设有支架，所述支架的横梁上设有第一相机和能够水平移动的第二相机，所述吸盘台面的边缘间隔设有多个靶点光源；将内层板放置在所述吸盘台面上，内层板的第一面朝上，激光直接对内层板的第一面图形曝光的同时、所述吸盘台面上的靶点光源对内层板的第二面进行打靶；内层板的第二面图形曝光时、内层板的第二面朝上放置在所述吸盘台面上，所述第一相机、第二相机和下对准组件对内层板进行对位后、再由所述激光直接对内层板的第二面图形曝光。2.根据权利要求1所述的测量ldi内层对位精度的装置，其特征在于，所述下对准组件包括下ccd相机、透反棱镜、远心镜头和反射棱镜，所述下ccd相机与所述远心镜头之间设置所述透反棱镜，所述反射棱镜设置在所述远心镜头上。3.根据权利要求2所述的测量ldi内层对位精度的装置，其特征在于，所述透反棱镜包括有反射面和透射面，所述透反棱镜倾斜45度置于一立方体斜镜座上，所述透反棱镜的表面镀有透反膜，所述透反膜对λ<450nm光波透射，对λ>450nm的光波反射，这里的λ为光波。4.根据权利要求2所述的测量ldi内层对位精度的装置，其特征在于，所述吸盘台面的一端设有两个对称设置的标定靶点安装板，所述标定靶点安装板通过直线滑轨和滑块连接所述标定靶点，所述标定靶点安装板的端部设有移动气缸，所述移动气缸能够推动所述标定靶点沿着所述直线滑轨移动，所述标定靶点移动寻找与所述下对准组件的同轴位置。5.根据权利要求4所述的测量ldi内层对位精度的装置，其特征在于，所述激光波段均为紫外波段，靶点光源所用的照明光源为红光、绿光或红外光。6.根据权利要求4所述的测量ldi内层对位精度的装置，其特征在于，所述xyz移动台包括x轴移动模组、y轴移动模组和z轴移动模组，所述y轴移动模组由x轴移动模组控制x向移动，z轴移动模组由y轴移动模组控制y向移动，z轴移动模组控制整个吸盘台面的升降；所述x轴移动模组、y轴移动模组和z轴移动模组均包括由伺服电机、传动丝杆和滑轨组件，x轴移动模组通过滑轨组件与y轴移动模组连接，y轴移动模组通过滑轨组件与z轴移动模组连接。
技术总结
本实用新型公开一种测量LDI内层对位精度的装置，包括基座，基座上设有XYZ移动台、由该XYZ移动台控制移动的吸盘台面和下对准组件，吸盘台面的一端设有能够移动的标定靶点，基座上还设有支架，支架的横梁上设有第一相机和能够水平移动的第二相机，吸盘台面的边缘间隔设有多个靶点光源；本实用新型采用双向对摄抓点的视觉对位方法，抓取内层板上下两面的图形点。图形点由LDI曝光在内层板AB面再经显影蚀刻而得，A面和B面的图形点理论同心。先确认好第二相机和下对准组件相对于LDI曝光系统坐标系的旋转矩阵，再让第二相机和下对准组读取同一靶点，获取上下相机的同轴位置。获取上下相机的同轴位置。获取上下相机的同轴位置。
技术研发人员：蔡文涛 邱田生 詹泽军
受保护的技术使用者：东莞市多普光电设备有限公司
技术研发日：2021.04.21
技术公布日：2021/12/14