一种彩色滤光片的制造方法与流程

1.本发明属于彩色滤光片制造技术领域，涉及一种彩色滤光片的制造方法。


背景技术：

2.彩色滤光片是显示结构的重要器件，随着市场需求的发展，柔性、轻便、高质量的显示装置越发重要，然而，现有彩色滤光片需进行大量数据搜集和处理，才能判定子像素偏位情况，耗费人力工作效率低；基材形变、对位精度会影响模组贴合精度，导致贴合偏位影响显示质量导致贴合偏位影响显示质量。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于：提供了一种彩色滤光片的制造方法，解决了现有彩色滤光片需进行大量数据搜集和处理，才能判定子像素偏位情况，耗费人力工作效率低；基材形变、对位精度会影响模组贴合精度，导致贴合偏位影响显示质量导致贴合偏位影响显示质量的问题。
4.本发明采用的技术方案如下：
5.一种彩色滤光片的制造方法，包括：
6.基板上设置有效区域和非有效区域，有效区域用于形成矩阵排列的第一颜色色阻块、第二颜色色阻块和第三颜色色阻块，非有效区域设置在有效区域的周围；
7.光罩包括第一光罩图案、第二光罩图案、第三光罩图案；
8.其中，通过第一光罩图案在基板的有效区域上形成若干个第一颜色色阻块、在非有效区域形成至少一个第一颜色色阻块；
9.通过第二光罩图案在基板的有效区域上形成若干个第二颜色色阻块、在非有效区域形成至少一个第二颜色色阻块；
10.第三光罩图案包括第一检测图案、第二检测图案，通过第三光罩图案在基板的有效区域上形成若干个第三颜色色阻块，通过所述第一检测图案、第二检测图案在非有效区域形成至少一个第一检测框和至少一个第二检测框，第一检测框框住对应的一个第一颜色色阻块、第二检测框框住对应的一个第二颜色色阻块；
11.所述第一光罩图案、第二光罩图案或第三光罩图案包括对位图案，通过所述对位图案在非有效区域形成至少一个对位mark。
12.进一步地，所述光罩的制造包括以下步骤：
13.获取基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量；
14.根据基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量、第一颜色色阻块的目标值、第二颜色色阻块的目标值和第三颜色色阻块的目标值，分别确定第一颜色色阻块、第二颜色色阻块和第三颜色色阻块的设计值；
15.根据驱动底板的cell尺寸、第一颜色色阻块的目标值、第二颜色色阻块的目标值确定第一检测框、第二检测框的目标值，根据第一检测框、第二检测框的目标值、基板工艺
前后长度、宽度方向的涨缩量确定第一检测框、第二检测框的设计值；
16.基板与驱动底板贴合；
17.获取第一颜色色阻块、第二颜色色阻块、第三颜色色阻块与驱动底板上的定位mark的水平距离和垂直距离，根据基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量确定第一光罩图案、第二光罩图案和第三光罩图案在光罩中的位置；
18.获取第一检测框、第二检测框与驱动底板上的定位mark的水平距离和垂直距离，根据基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量分别确定与第一检测框、第二检测框对应的第一检测图案和第二检测图案在第三光罩图案中的位置；
19.获取对位mark与驱动底板上的定位mark的水平距离和垂直距离确定与对位mark对应的对位图案在第一光罩图案、第二光罩图案或第三光罩图案的位置；
20.根据第一光罩图案、第二光罩图案或第三光罩图案制造光罩。
21.进一步地，所述第一检测框为长度和宽度大于第一对位颜色色组块的方块，第二检测框为长度和宽度大于第二对位颜色色组块的长度和宽度的方块。
22.进一步地，所述第一光罩图案包括第一对位贴合图案，第二光罩图案包括第二对位贴合图案，第三光罩图案包括第三对位贴合图案，通过所述第一对位贴合图案在非有效区形成第一对位贴合mark，通过所述第二对位贴合图案在非有效区形成第二对位贴合mark，通过所述第三对位贴合图案在非有效区形成第三对位贴合mark。
23.进一步地，第一对位贴合图案、第二对位贴合图案和第三对位贴合图案的制造包括以下步骤：
24.根据基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量、第一对位贴合mark的目标值、第二对位贴合mark的目标值和第三对位贴合mark的目标值分别确定第一对位贴合mark、第二对位贴合mark和第三对位贴合mark的设计值；
25.根根据基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量，第一对位贴合mark、第二对位贴合mark和第三对位贴合mark与驱动底板的定位mark之间的长度和宽度分别确定与第一对位贴合mark、第二对位贴合mark和第三对位贴合mark对应的第一对位贴合图案、第二对位贴合图案和第三对位贴合图案在第一光罩图案、第二光罩图案和第三光罩图案中的位置。
26.综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果是：
27.1.本发明根据第一检测框与非有效区的第一颜色色阻块的位置关系、第二检测框与非有效区的第二颜色色阻块的位置关系可以快速判定彩色滤光片偏位，如非有效区的第一颜色色阻块位于第一检测框内、非有效区的第二颜色色阻块位于第二检测框内则彩色滤光片的基板符合要求，反之不符合要求，可根据相对位置差量测出各方向偏位数据，可有效克服因为基板热胀冷缩导致与驱动底板贴合偏位影响显示质量，节约人力成本，提高工作效率，降低不良率；彩色滤光片的基板通过对位mark与驱动底板上的定位mark对应，用于确定贴合位置。
28.2.本发明通过非有效区域上的第一对位贴合mark、第二对位贴合mark和第三对位贴合mark，贴合时可综合考虑第一对位贴合mark、第二对位贴合mark和第三对位贴合mark的相对偏位，选取三个偏位的中心数值作为贴合调机数值，快速确定贴合参数调整方向，提高贴合精度，提高显示质量，改善显示效果。
附图说明
29.为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图，其中：
30.图1是本发明的彩色滤光片的结构示意图；
31.图2是本发明的具有对位贴合mark的彩色滤光片的结构示意图；
32.图3是本发明的光罩的结构示意图；
33.图4是本发明的具有对位贴合图案的光罩的结构示意图；
34.图中标记：1-非有效区域、2-有效区域、3-第一颜色色阻块、4-第二颜色色阻块、5-第三颜色色阻块、6-第一检测框、7-第二检测框、8-对位mark、9-第一对位贴合mark、10-第二对位贴合mark、11-第三对位贴合mark、12-第一光罩图案、13-对位图案、14-第二光罩图案、15-第三光罩图案、16-第一检测图案、17-第二检测图案、18-第一对位贴合图案、19-第二对位贴合图案、20-第三对位贴合图案。
具体实施方式
35.为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明，即所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
36.因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
37.需要说明的是，术语“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
38.实施例1
39.如图1、图3所示，本发明提供的一种彩色滤光片的制造方法，包括：
40.一种彩色滤光片的制造方法，包括：
41.基板上设置有效区域2和非有效区域1，有效区域2用于形成矩阵排列的第一颜色色阻块3、第二颜色色阻块4和第三颜色色阻块5，非有效区域1设置在有效区域2的周围；
42.光罩包括第一光罩图案12、第二光罩图案14、第三光罩图案15；
43.其中，通过第一光罩图案12在基板的有效区域2上形成若干个第一颜色色阻块3、在非有效区域1形成至少一个第一颜色色阻块3；
44.通过第二光罩图案14在基板的有效区域2上形成若干个第二颜色色阻块4、在非有
效区域1形成至少一个第二颜色色阻块4；
45.第三光罩图案15包括第一检测图案16、第二检测图案17，通过第三光罩图案15在基板的有效区域2上形成若干个第三颜色色阻块5，通过所述第一检测图案16、第二检测图案17在非有效区域1形成至少一个第一检测框6和至少一个第二检测框7，第一检测框6框住对应的一个第一颜色色阻块3、第二检测框7框住对应的一个第二颜色色阻块4；
46.所述第一光罩图案12、第二光罩图案14或第三光罩图案15包括对位图案13，通过所述对位图案13在非有效区域1形成至少一个对位mark8。
47.本实施例中，需要说明的是，第一光罩图案12、第二光罩图案14和第三光罩图案15可以是设置在一个共用光罩，也可以是分开设置的。共用光罩时，只需要调整光罩与基板之间的相对位置即可，即可以调整共用光罩的位置，可以调整基板的位置，也可以通过调整共用光罩和基板的位置，分开设置时第一光罩图案12对应一个光罩，第二光罩图案14对应一个光罩，第三光罩图案15对应一个光罩。本实施例以第一光罩图案12、第二光罩图案14和第三光罩图案15分开设置光罩为例，具体如下：
48.首先在基板上涂覆第一颜色层，然后通过设置第一光罩图案12的第一光罩采用曝光显影的方式在基板的有效区域2形成若干个第一颜色色阻块3，并同时在非有效区形成至少一个第一颜色色阻块3。然后涂覆第二颜色层，然后通过设置第二光罩图案14的第二光罩采用曝光显影的方式在基板的有效区域2形成若干个第二颜色色阻块4，并同时在非有效区形成至少一个第二颜色色阻块4。然后涂覆第三颜色层，然后通过设置第三光罩图案15的第三光罩采用曝光显影的方式在基板的有效区域2形成若干个第三颜色色阻块5，并同时在非有效区形成至少一个第一检测框6和至少一个第二检测框7，第三光罩图案15包括第一检测图案16、第二检测图案17，第一检测框6、第二检测框7分别通过第一检测图案16、第二检测图案17形成。另外，第一光罩图案12、第二光罩图案14或第三光罩图案15包括对位图案13，通过所述对位图案13在基板的非有效区域1形成至少一个对位mark8，即对位mark8可以位于第一颜色层、第二颜色层或者第三颜色层。需要说明的是，对位mark8可为十字、圆形、方形等形状，不做具体限定，只要能满足对位功能即可。根据第一检测框6与非有效区的第一颜色色阻块3的位置关系、第二检测框7与非有效区的第二颜色色阻块4的位置关系可以快速判定彩色滤光片偏位，如非有效区的第一颜色色阻块3位于第一检测框6内、非有效区的第二颜色色阻块4位于第二检测框7内则彩色滤光片的基板符合要求，反之不符合要求，可根据相对位置差量测出各方向偏位数据，可有效克服因为基板热胀冷缩导致与驱动底板贴合偏位影响显示质量，节约人力成本，提高工作效率，降低不良率；彩色滤光片的基板通过对位mark8与驱动底板上的定位mark对应，用于确定贴合位置。
49.优选地，所述第一检测框6为长度和宽度大于第一对位颜色色组块的方块，第二检测框7为长度和宽度大于第二对位颜色色组块的长度和宽度的方块。实施时，方块可以为实心也可以为空心，第一检测框6、第二检测框7的外边框可以采用实线、虚心、点划线等作为标记框线。
50.实施例2
51.在实施例1的基础之上，所述光罩的制造包括以下步骤：
52.获取基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量；
53.根据基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量、第一颜色色阻块3的目标值、第二颜
色色阻块4的目标值和第三颜色色阻块5的目标值，分别确定第一颜色色阻块3、第二颜色色阻块4和第三颜色色阻块5的设计值；
54.根据驱动底板的cell尺寸、第一颜色色阻块3的目标值、第二颜色色阻块4的目标值确定第一检测框6、第二检测框7的目标值，根据第一检测框6、第二检测框7的目标值、基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量确定第一检测框6、第二检测框7的设计值；
55.基板与驱动底板贴合；
56.获取第一颜色色阻块3、第二颜色色阻块4、第三颜色色阻块5与驱动底板上的定位mark的水平距离和垂直距离，根据基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量确定第一光罩图案12、第二光罩图案14和第三光罩图案15在光罩中的位置；
57.获取第一检测框6、第二检测框7与驱动底板上的定位mark的水平距离和垂直距离，根据基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量分别确定与第一检测框6、第二检测框7对应的第一检测图案16和第二检测图案17在第三光罩图案15中的位置；
58.获取对位mark8与驱动底板上的定位mark的水平距离和垂直距离确定与对位mark8对应的对位图案13在第一光罩图案12、第二光罩图案14或第三光罩图案15的位置；
59.根据第一光罩图案12、第二光罩图案14或第三光罩图案15制造光罩。
60.本实施例中，尺寸计算方式如下：
61.设定基板未加工时的长度为a1、宽度为b1，加工后的基板的长度为a2、宽度为b2，设基板的长度方向的涨缩量为x1、宽度方向的涨缩量为y1，则x1＝(b2-b1)/b1，y1＝(a2-a1)/a1。
62.设第一颜色色阻块3的目标值的长度为c1、宽度为d1，设计值的长度为c2、宽度为d2，则c2＝c1*(1+y1)，d2＝d1*(1+x1)。
63.设第二颜色色阻块4的目标值的长度为c3、宽度为d3，设计值的长度为c4、宽度为d4，则c4＝c3*(1+y1)，d4＝d3*(1+x1)。
64.设第三颜色色阻块5的目标值的长度为c5、宽度为d5，设计值的长度为c6、宽度为d6，则c6＝c5*(1+y1)，d6＝d5*(1+x1)。
65.底板cell的尺寸的长度c7、宽度d7，第一检测框6的目标值的长度c8、宽度d8，第一检测框6的设计值的长度c9、宽度d9，则c8＝c7-c1，d8＝d7-d1，设计值c9＝c8*(1+y1)，d9＝d8*(1+x1)。
66.对位mark8的目标值的长度c10、宽度d10，设计值的长度c11、宽度d12，则c11＝c10*(1+y1)，d11＝d10*(1+x1)。
67.偏位计算方法如下：
68.获取第一颜色色阻块3与驱动底板的定位mark的水平距离e1和垂直距离f1，第一颜色色阻块3的水平设计位置＝e1*(1+x1)，垂直设计位置＝f1*(1+y1)。
69.获取第二颜色色阻块4与驱动底板的定位mark的水平距离e2和垂直距离f2，第一颜色色阻块3的水平设计位置＝e2*(1+x1)，垂直设计位置＝f2*(1+y1)。
70.获取第三颜色色阻块5与驱动底板的定位mark的水平距离e3和垂直距离f3，第一颜色色阻块3的水平设计位置＝e3*(1+x1)，垂直设计位置＝f3*(1+y1)。
71.获取第一检测框6与驱动底板上的定位mark的水平距离e4和垂直距离f4，第一检测框6的水平设计位置＝e4*(1+x1)，垂直设计位置＝f4*(1+y1)。
a1)/a1。
84.设第一对位贴合mark9的目标值的长度为c12、宽度为d12，设计值的长度为c13、宽度为d13，则c13＝c12*(1+y1)，d13＝d12*(1+x1)。
85.设第二对位贴合mark10的目标值的长度为c14、宽度为d14，设计值的长度为c15、宽度为d15，则c15＝c14*(1+y1)，d15＝d14*(1+x1)。
86.设第三对位贴合mark11的目标值的长度为c16、宽度为d16，设计值的长度为c17、宽度为d17，则c17＝c16*(1+y1)，d17＝d16*(1+x1)。
87.偏位计算方法如下：
88.获取第一对位贴合mark9与驱动底板的定位mark的水平距离e7和垂直距离f7，第一颜色色阻块3的水平设计位置＝e7*(1+x1)，垂直设计位置＝f7*(1+y1)。
89.获取第二对位贴合mark10与驱动底板的定位mark的水平距离e8和垂直距离f8，第一颜色色阻块3的水平设计位置＝e8*(1+x1)，垂直设计位置＝f8*(1+y1)。
90.获取第三对位贴合mark11与驱动底板的定位mark的水平距离e9和垂直距离f9，第一颜色色阻块3的水平设计位置＝e9*(1+x1)，垂直设计位置＝f9*(1+y1)。
91.通过第一对位贴合mark9、第二对位贴合mark10和第三对位贴合mark11的尺寸和位置确定第一对位贴合图案18、第二对位贴合图案19和第三对位贴合图案20的尺寸以及位置，从而确定第一光罩图案12、第二光罩图案14和第三光罩图案15，以及第一光罩图案12、第二光罩图案14和第三光罩图案15在光罩中的位置。
92.以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明的保护范围，任何熟悉本领域的技术人员在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。