一种彩色滤光片的制造方法与流程

文档序号:30137735发布日期:2022-05-21 02:26阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种彩色滤光片的制造方法,其特征在于:包括:基板上设置有效区域和非有效区域,有效区域用于形成矩阵排列的第一颜色色阻块、第二颜色色阻块和第三颜色色阻块,非有效区域设置在有效区域的周围;光罩包括第一光罩图案、第二光罩图案、第三光罩图案;其中,通过第一光罩图案在基板的有效区域上形成若干个第一颜色色阻块、在非有效区域形成至少一个第一颜色色阻块;通过第二光罩图案在基板的有效区域上形成若干个第二颜色色阻块、在非有效区域形成至少一个第二颜色色阻块;第三光罩图案包括第一检测图案、第二检测图案,通过第三光罩图案在基板的有效区域上形成若干个第三颜色色阻块,通过所述第一检测图案、第二检测图案在非有效区域形成至少一个第一检测框和至少一个第二检测框,第一检测框框住对应的一个第一颜色色阻块、第二检测框框住对应的一个第二颜色色阻块;所述第一光罩图案、第二光罩图案或第三光罩图案包括对位图案,通过所述对位图案在非有效区域形成至少一个对位mark。2.根据权利要求1所述的一种彩色滤光片的制造方法,其特征在于:所述光罩的制造包括以下步骤:获取基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量;根据基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量、第一颜色色阻块的目标值、第二颜色色阻块的目标值和第三颜色色阻块的目标值,分别确定第一颜色色阻块、第二颜色色阻块和第三颜色色阻块的设计值;根据驱动底板的cell尺寸、第一颜色色阻块的目标值、第二颜色色阻块的目标值确定第一检测框、第二检测框的目标值,根据第一检测框、第二检测框的目标值、基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量确定第一检测框、第二检测框的设计值;基板与驱动底板贴合;获取第一颜色色阻块、第二颜色色阻块、第三颜色色阻块与驱动底板上的定位mark的水平距离和垂直距离,根据基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量确定第一光罩图案、第二光罩图案和第三光罩图案在光罩中的位置;获取第一检测框、第二检测框与驱动底板上的定位mark的水平距离和垂直距离,根据基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量分别确定与第一检测框、第二检测框对应的第一检测图案和第二检测图案在第三光罩图案中的位置;获取对位mark与驱动底板上的定位mark的水平距离和垂直距离确定与对位mark对应的对位图案在第一光罩图案、第二光罩图案或第三光罩图案的位置;根据第一光罩图案、第二光罩图案或第三光罩图案制造光罩。3.根据权利要求1所述的一种彩色滤光片的制造方法,其特征在于:所述第一检测框为长度和宽度大于第一对位颜色色组块的方块,第二检测框为长度和宽度大于第二对位颜色色组块的长度和宽度的方块。4.根据权利要求1所述的一种彩色滤光片的制造方法,其特征在于:所述第一光罩图案包括第一对位贴合图案,第二光罩图案包括第二对位贴合图案,第三光罩图案包括第三对位贴合图案,通过所述第一对位贴合图案在非有效区形成第一对位贴合mark,通过所述第
二对位贴合图案在非有效区形成第二对位贴合mark,通过所述第三对位贴合图案在非有效区形成第三对位贴合mark。5.根据权利要求4所述的一种彩色滤光片的制造方法,其特征在于:第一对位贴合图案、第二对位贴合图案和第三对位贴合图案的制造包括以下步骤:根据基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量、第一对位贴合mark的目标值、第二对位贴合mark的目标值和第三对位贴合mark的目标值分别确定第一对位贴合mark、第二对位贴合mark和第三对位贴合mark的设计值;根根据基板工艺前后长度、宽度方向的涨缩量,第一对位贴合mark、第二对位贴合mark和第三对位贴合mark与驱动底板的定位mark之间的长度和宽度分别确定与第一对位贴合mark、第二对位贴合mark和第三对位贴合mark对应的第一对位贴合图案、第二对位贴合图案和第三对位贴合图案在第一光罩图案、第二光罩图案和第三光罩图案中的位置。

技术总结
本发明公开了一种彩色滤光片的制造方法,属于彩色滤光片制造技术领域,基板上设置有效区域和非有效区域;通过第一光罩图案在基板的有效区域上形成若干个第一颜色色阻块、在非有效区域形成至少一个第一颜色色阻块;通过第二光罩图案在基板的有效区域上形成若干个第二颜色色阻块、在非有效区域形成至少一个第二颜色色阻块;通过第三光罩图案在基板的有效区域上形成若干个第三颜色色阻块,通过第一检测图案、第二检测图案在非有效区域形成至少一个第一检测框和至少一个第二检测框;通过对位图案在非有效区域形成至少一个对位Mark;可有效克服因为基板热胀冷缩导致与驱动底板贴合偏位影响显示质量。影响显示质量。影响显示质量。


技术研发人员:刘海燕 刘世杰 黄会华 夏文静 林上斌 高启仁 胡堂祥
受保护的技术使用者:成都捷翼电子科技有限公司
技术研发日:2022.02.25
技术公布日:2022/5/20
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