光扫描仪、图像显示装置、头戴式显示器以及平视显示器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及光扫描仪、图像显示装置、头戴式显示器以及平视显示器。
【背景技术】
[0002]在激光打印机、图像显示装置等中使用用于通过光扫描来进行描绘的光扫描仪。而且，专利文献I公开有在正交的2个方向上具备扭杆的光扫描仪。由此，光扫描仪中，可动板通过一对第一扭杆以能够摆动的方式被支承。可动板设置有反射光的面。第一扭杆的另一端与框状的位移部连接。并且，通过第二扭杆能够摆动地支承位移部。第二扭杆的另一端与框状的支承部连接。将第一扭杆延伸的方向设为第一方向，将第二扭杆延伸的方向设为第二方向。第一方向与第二方向正交。由此，可动板能够以正交的2个方向为旋转轴摆动。
[0003]在从可动板的厚度方向观察的俯视中，在支承部夹着第二扭杆设置有单晶片驱动部。单晶片驱动部是使压电元件扭曲而产生动力的部件。单晶片驱动部进行将第二扭杆扭转的驱动和弯曲的驱动。而且，在第二扭杆被扭转时，可动板以及位移部以第二方向为旋转轴旋转。在第二扭杆被弯曲时，可动板以第一方向为旋转轴旋转。单晶片驱动部以规定的周期进行驱动。由此，可动板以及位移部以正交的2个方向为旋转轴摆动。
[0004]单晶片驱动部利用水平扫描驱动信号使第二扭杆弯曲，利用垂直扫描驱动信号使第二扭杆扭转。水平扫描驱动信号为比垂直扫描驱动信号高的频率。可动板以及位移部通过垂直扫描驱动信号以第二方向为旋转轴摆动。可动板通过水平扫描驱动信号以第一方向为旋转轴摆动。
[0005]在专利文献2中公开有在I个方向上具备扭杆的光扫描仪。由此，光扫描仪中，第一可动板通过一对扭杆以能够摆动的方式被支承。一方的扭杆部固定于支承体。另一方的扭杆部与第二可动板连接。在第二可动板设置线圈，对线圈作用磁场使第二可动板摆动。而且，通过第二可动板的摆动，第一可动板摆动。在第二可动板设置有阻尼器构造。通过阻尼器构造使光扫描仪Q值减少。该阻尼器构造不是用于抑制2个可动板的相互的影响的机构。
[0006]专利文献1:日本特开2009 - 2978号公报
[0007]专利文献2:日本特开2005 - 250077号公报
[0008]为了在可便携的装置中使用光扫描仪，希望使光扫描仪成为小型。在使专利文献I的光扫描仪成为小型时，需要位移部也成为小型。在使位移部成为小型时位移部的惯性力矩变小。由此，位移部容易受到频率较高的振动的影响。而且，在位移部以第二方向为旋转轴摆动时，除了垂直扫描驱动信号以外还受到水平扫描驱动信号的影响。通过位移部的摆动使可动板摆动，所以在可动板以第二方向为旋转轴摆动时受到水平扫描驱动信号的影响。其结果，成为可动板施加了垂直扫描所不需要的摆动成分的动作。因此，期望即使使光扫描仪成为小型，水平扫描也难以对可动板的垂直扫描产生影响而提高振动性能的光扫描仪。
【发明内容】
[0009]本发明是为了解决上述的课题而完成的，能够作为以下的方式或者应用例来实现。
[0010]应用例I
[0011]本应用例的光扫描仪的特征在于，具备:可动板，其具备反射光的光反射部；第一扭杆，其将上述可动板支承为能够绕第一轴摆动；第一位移部，其与上述第一扭杆连接；第二扭杆，其将上述第一位移部支承为能够绕与上述第一轴交叉的第二轴摆动；第二位移部，其与上述第二扭杆连接；以及促动器，其被设置于上述第二位移部，并对上述第二位移部赋予位移，以便对上述第二扭杆施加扭转变形以及弯曲变形，上述第一位移部具备:框部，其包围上述可动板；以及阻尼器部，其厚度比上述框部薄，且从上述框部向与第二扭杆延伸的方向交叉的方向延伸。
[0012]根据本应用例，第一扭杆的一端支承可动板，第一扭杆的另一端与第一位移部连接。而且，第一位移部被第二扭杆支承，第二扭杆与第二位移部连接。第一扭杆延伸的方向与第二扭杆延伸的方向交叉。可动板绕第一扭杆的轴即绕第一轴摆动，第一位移部绕第二扭杆的轴即绕第二轴摆动。因此，光反射部围绕交叉的2个方向的轴摆动。
[0013]在第二位移部设置有促动器。而且，促动器对第二位移部赋予位移，以便对第二扭杆施加扭转变形以及弯曲变形。扭转变形使第一位移部摆动，弯曲变形使可动板摆动。由此，光扫描仪能够使光反射部绕交叉的2个方向的轴摆动。第一位移部具备框部以及阻尼器部。框部维持第一扭杆和第二扭杆的相对位置。阻尼器部从框部向与第二扭杆延伸的方向交叉的方向延伸。在第一位移部绕第二轴摆动时，阻尼器部使周围产生气流来作为阻尼器发挥作用。由此，能够使第一位移部难以针对频率较高的驱动反应。因此，能够使光反射部在绕第二轴摆动时难以针对频率较高的驱动反应。其结果，能够提高光反射部的振动性倉泛。
[0014]应用例2
[0015]在上述应用例的光扫描仪中，其特征在于，上述阻尼器部的远离上述第二扭杆的位置的厚度比接近上述第二扭杆的位置的厚度厚。
[0016]根据本应用例，阻尼器部的远离第二扭杆的位置的厚度相比接近第二扭杆的位置的厚度变厚。因此，与阻尼器部的远离第二扭杆的位置的厚度较薄时相比，第一位移部能够增大惯性力矩。由此，能够使第一位移部难以针对频率较高的驱动反应。因此，能够使光反射部在绕第二轴摆动时难以针对频率较高的驱动反应。其结果，能够提高光反射部的振动性能。
[0017]应用例3
[0018]在上述应用例的光扫描仪中，其特征在于，第一扭杆延伸的方向的上述第一位移部的长度比上述第二扭杆延伸的方向的上述第一位移部的长度长。
[0019]根据本应用例，第一位移部在交叉的2个方向上长度不同。将第一扭杆延伸的方向的第一位移部的长度设为第一长度。将第二扭杆延伸的方向的第一位移部的长度设为第二长度。而且，第一长度比第二长度长。由此，在第一位移部摆动时，绕第二轴摆动的一方与绕第一轴摆动时相比阻尼器部的移动量大。因此，绕第二轴摆动的一方与绕第一轴摆动时相比，阻力增大。其结果，能够使第一位移部难以针对频率较高的驱动绕第二轴反应。
[0020]应用例4
[0021]在上述应用例的光扫描仪中，其特征在于，上述光反射部具备反射板以及支承上述反射板的支柱部，上述反射板与上述第一位移部在上述反射板的厚度方向上隔着间隔设置，在从上述反射板的厚度方向观察的俯视中上述反射板的一部分与上述第一位移部重叠。
[0022]根据本应用例，反射板与第一位移部被隔着间隔地设置。而且，在从反射板的厚度方向观察的俯视中，反射板与第一位移部重叠。该结构与反射板和第一位移部位于相同平面上时相比,能够缩短第一位移部。因此,能够使光扫描仪变小。
[0023]应用例5
[0024]在上述应用例的光扫描仪中，其特征在于，上述阻尼器部的上述厚度较厚的位置向与上述框部相对于上述阻尼器部在厚度方向上突出的一侧相反的一侧突出。
[0025]根据本应用例，框部相对于阻尼器部在厚度方向上突出的一侧与阻尼器部的厚度较厚的位置突出的一侧呈相反侧。因此，与框部相对于阻尼器部在厚度方向上突出的一侧和阻尼器部较厚的位置突出的一侧是相同侧的构造相比，本应用例的第一位移部能够减小针对第二扭杆的轴的惯性力矩。第一位移部的惯性力矩的平衡良好，能够难以重叠绕第二扭杆的轴的扭转运动所不需要的振动。另外，能够使第一位移部的重心接近第二扭杆的轴，所以能够减小对第二扭杆施加的扭转应力和弯曲应力的复合应力。
[0026]应用例6
[0027]—种本应用例的图像显示装置，具备射出光的光源、和光扫描仪，上述光扫描仪具备:可动板，其具备反射光的光反射部；第一扭杆，其将上述可动板支承为能够绕第一轴摆动；第一位移部，其与上述第一扭杆连接；第二扭杆，其将上述第一位移部支承为能够绕与上述第一轴交叉的第二轴摆动；第二位移部，其与上述第二扭杆连接；以及促动器，其被设置于上述第二位移部，并对上述第二位移部赋予位移，以便对上述第二扭杆施加扭转变形以及弯曲变形，上述第一位移部具备:框部，其包围上述可动板；以及阻尼器部，其厚度比上述框部薄，且从上述框部向与第二扭杆延伸的方向交叉的方向延伸。
[0028]根据本应用例，光反射部对从光源射出的光进行反射。光反射部绕交叉的2个方向的轴摆动，所以图像显示装置能够改变光的行进方向来显示图像。而且，在第一位移部绕第二轴摆动时，阻尼器部使周围的气体流动作为阻尼器发挥作用。由此，能够使第一位移部难以针对频率较高的驱动反应。因此，能够使光反射部在绕第二轴摆动时难以针对频率较高的驱动反应。其结果，图像显示装置能够提高光反射部的振动性能。
[0029]应用例7
[0030]本应用例的头戴式显示器的特征在于，该头戴式显示器具备:框架，其佩戴在观察者的头部；光源，其射出光；以及光扫描仪，其设置于上述框架，上述光扫描仪具备:可动板，其具备反射光的光反射部；第一扭杆，其将上述可动板支承为能够绕第一轴摆动；第一位移部，其与上述第一扭杆连接；第二扭杆，其将上述第一位移部支承为能够绕与上述第一轴交叉的第二轴摆动；第二位移部，其与上述第二扭杆连接；以及促动器，其被设置于上述第二位移部，并对上述第二位移部赋予位移，以便对上述第二扭杆施加扭转变形以及弯曲变形，上述第一位移部具备:框部，其包围上述可动板；以及阻尼器部，其厚度比上述框部薄，且从上述框部向与第二扭杆延伸的方向交叉的方向延伸。
[0031]根据本应用例，观察者能够利用框架将头戴式显示器佩戴在头部。在头戴式显示器中，光源将光向光扫描仪射出。在光扫描仪中，光反射部对从光源射出的光进行反射。光反射部绕交叉的2个方向的轴摆动,所以光扫描仪改变光的行进方向射出。由此，头戴式显示器能够显示图像。而且，在第一位移部绕第二轴摆动时，阻尼器部使周围的气体流动作为阻尼器发挥作用。由此，能够使第一位移部难以针对频率较高的驱动反应。因此，能够使光反射部在绕第二轴摆动时难以针对频率较高的驱动反应。其结果，头戴式显示器能够作为具备振动性能良好的光扫描仪的装置。
[0032]应用例8
[0033]本应用例的平视显示器的特征在于，是对汽车的挡风玻璃照射光的平视显示器，具备射出光的光源、和光扫描仪，上述光扫描仪具备:可动板，其具备反射光的光反射部；第一扭杆，其将上述可动板支承为能够绕第一轴摆动；第一位移部，其与上述第一扭杆连接；第二扭杆，其将上述第一位移部支承为能够绕与上述第一轴交叉的第二轴摆动；第二位移部，其与上述第二扭杆连接；以及促动器，其被设置于上述第二位移部，并对上述第二位移部赋予位移，以便对上述第二扭杆施加扭转变形以及弯曲变形，上述第一位移部具备:框部，其包围上述可动板；以及阻尼器部，其厚度比上述框部薄，且从上述框部向与第二扭杆延伸的方向交叉的方向延伸。
[0034]根据本应用例，在平视显示器中，光扫描仪将光源射出的光向汽车的挡风玻璃照射。在光扫描仪中，光反射部对从光源射出的光进行反射。光反射部绕交叉的2个方向的轴摆动，所以平视显示器能够改变光的行进方向来显示图像。而且，在第一位移部绕第二轴摆动时，阻尼器部使周围的气体流动作为阻尼器发挥作用。由此，能够使第一位移部难以针对频率较高的驱动反应。因此，能够使光反射部绕在第二轴摆动时难以针对频率较高的驱动反应。其结果，平视显示器能够作为具备振动性能良好的光扫描仪的装置。
【附图说明】