开一距离。
[0049]如图3所示，多个库302、304、306和308被链成一个链(例如通过信号线)。输入线210被直接提供给第一库302。因此，设计数据被直接输入至第一库302。
[0050]然而，对于该链中的后续库而言，可以修改配置。例如，第二库304的输入(其输入线210)首先先于链中的库304而连接至组合逻辑块310。此外，如输入312所示，先于第二库304而到达组合逻辑310的输入是来自正在进行的第一库302的数据。输入线210上的被导向第二库304的数据用于改变线312上的从库302所输出的数据。然后，如线314所示，该数据被传播至第二库304。因此，组合逻辑310接收数据、作用于数据并改变数据，然后将对应信号线上的数据传播至下一库。
[0051]对于链的剩余部分继续这种处理。例如，第三库306的输入(其输入线210)首先先于链中的库306而连接至的组合逻辑310。此外，如输入312所示，先于第三库306而到达组合逻辑310的输入是来自前一块304的数据。输入线210上的被导向第三库306的数据用于改变线312上的从库304所输出的数据。然后，如线314所示，数据被传播至第三库306。因此，组合逻辑310改变对应信号线上的数据并将该对应信号线上的数据传播至下一库。这种处理继续到链中的最后块(示为块308)。为了进行这种处理，每个块都用作移位寄存器。在一个实施例中，块用于使用时钟信号偏移数据，其中相对于时钟信号偏移数据。
[0052]图3示出了从阵列300提供单条输出线212。输出线212从链中的终端库(库308)输出。输出线212可提供给BIST结构，诸如图2的BIST 208。每条输入线210上的数据还可以提供给BIST结构(参见图2)。因此，可以通过耦合至阵列300的BIST比较从阵列输出的最终的、单个数据来检查或验证线210和/或212上的数据的数据完整性。
[0053]因此，注意，图3的阵列300包括N个输入，其中N等于库的数量。阵列300还包括单个输出。因此，可以通过具有从每个库发送至BIST结构的输出的配置来减少布线信号。
[0054]现在，参照图4，示出了包括验证步骤的用于提供DPG的反射镜阵列的方法400。方法400可用于提供和/或操作图1的系统100、图2的DPG 200和/或图3的反射镜阵列300。方法400开始于步骤402，提供反射镜阵列。反射镜阵列可以基本类似于上面参照图3所讨论的反射镜阵列300。反射镜阵列可包括多个库，任何数量的库都是可能的并且均在本发明的范围内。库可以为移位寄存器库。在示例性实施例中，库包括表示为N-1的第一库以及表示为N的后续库。库可以串联地设置在链中。
[0055]然后，方法400前进到框404，在每两个库之间设置诸如XOR、XNOR或MUX的组合逻辑结构。在一个实施例中，组合逻辑设置在库N-1和库N之间。组合逻辑结构可以基本类似于上面参照图3所讨论的组合逻辑结构310。可以在库之间设置单个组合逻辑结构。
[0056]然后，方法400前进到框406，前一库(例如库N_l)的输出被连接至并提供给组合逻辑结构。可通过导线或互连结构来提供连接。连接可以是形成在衬底(诸如半导体衬底，其还包括反射镜阵列元件)上的导电结构(例如，线和/或通孔)。库N-1的输出布线可以基本类似于上述图3的元件312。来自库的输出可以为“数据”，例如包括通过库的像素所实施的限定电压电位。可以通过将使用反射镜阵列图案化的半导体器件的设计数据(例如布局)来限定数据。
[0057]然后，方法400前进到框408，随后库(库N)的输入被提供给组合逻辑结构。输入可以是通过反射镜阵列成像的设计所限定的数据。例如，输入“数据”可包括通过库的像素实施的限定电压电位。可通过将使用反射镜阵列图案化的半导体器件的设计数据(例如布局)来限定数据。在一个实施例中，数据输入限定反射镜阵列的库N的反射镜的反射率。组合逻辑结构的输入布线可基本类似于图2和/或图3的元件210。
[0058]然后，方法400前进到框410，上述组合逻辑的输出连接至下一库(例如库N)的输入。可通过导线或互连结构来提供连接。连接可以是形成在诸如半导体衬底的衬底(其还包括反射镜阵列元件)上的导电结构(例如，线和/或通孔)。组合逻辑的输出布线可基本类似于上述图3的元件314。来自组合逻辑的输出可以为“数据”，其例如包括限定发送给库的像素的电压。可通过将使用反射镜阵列图案化的半导体器件的设计数据(例如布局)来限定数据。
[0059]方法400可针对反射镜阵列中设置的任何数量的库继续重复步骤404至410。在数据被传送通过反射镜阵列的每个库之后，从阵列输出单条数据线(例如，阵列中的最后一个库的输出)。然后，方法前进到框412，验证输出处的数据完整性。具体地，检查和/或验证反射镜阵列中的最后一个库的输出线上的数据的完整性。可以在单条线(诸如上面参照图2和/或3描述的元件212)上提供输出数据的验证。在一个实施例中，使用针对反射镜阵列的一个或多个库或者所有库所限定的输入数据来检查和/或验证数据。可以使用BIST结构或本领域已知的其他结构来执行验证。
[0060]方法400前进到框414，使用反射镜阵列的输入数据在衬底上形成图案。注意，可以与方法400的一个或多个框同时执行框414。提供给反射镜阵列的输入数据可以将阵列的每个反射镜(或像素)限定为“开启”或“关闭”。例如，当如输入数据所限定的像素处于“开启”状态时，电子束可以被引导穿过像素，还被称为吸收。当如给定数据所限定的像素处于“关闭”状态时，电子束被阻止通过像素，也被称为反射。因此，束被图案化。然后，图案化束被传送至诸如半导体衬底的衬底(其上形成有层)。在一个实施例中，该层为诸如光刻胶或简称为抗蚀剂的光敏层。图案化束曝光光刻胶，从而改变其对于显影剂的溶解性，进而图案化光刻胶。
[0061]当限定图案的数据被提供给反射镜阵列时，方法400可以被重复任何多次。在一个实施例中，随着输出数据在通过最后的反射镜阵列库之后被验证，方法400提供了反射镜阵列的操作的基本实时的验证。新的输入数据可以被连续提供给反射镜阵列。
[0062]在图5中示出了用于提供图1至图3的系统的一部分和/或图4的方法的公开实施例的一个系统。示出了信息处理系统500的实施例，其用于实施本发明的实施例，包括本文描述的系统和方法。在一个实施例中，计算机系统500包括提供设计方法的一个或多个步骤的功能元件，包括如上所述将设计数据传输至DGP。
[0063]信息处理系统500包括微处理器504、输入设备510、存储设备506、系统存储器508、显示器514和通信设备512，它们均通过一条或多条总线502互连。存储设备506可以为软盘驱动器、硬盘驱动器、CD-ROM、光学设备或任何其他存储设备。此外，存储设备506能够接收软盘、⑶_R0M、DVD-R0M或任何其他形式的计算机可读介质(可包含计算机可执行指令)。通信设备512可以是调制解调器、网络卡、或能够使计算机系统与其他节点通信的任何其他设备。应理解，任何计算机系统500都可以表示多个互连的计算机系统，诸如个人计算机、大型主机、智能手机和/或其他电话设备。
[0064]计算机系统500包括能够执行机器可读指令的硬件以及用于执行产生期望结果的动作(通常为机器可读指令)的软件。软件包括存储在任何存储介质(诸如RAM或ROM)中的任何机器代码以及存储在其他存储设备(诸如软盘、闪存或CD ROM)上的机器代码。例如，软件可包括源代码或目标代码。此外，软件包括能够在客户机器或服务器中执行的任何指令集。硬件和软件的任何组合可包括信息处理系统。系统存储器508可被配置为存储设计数据库、算法、图像、图形和/或其他信息。
[0065]计算机可读介质包括非易失性介质。计算机可读介质包括无源数据存储器(诸如RAM)以及半永久性数据存储器(诸如压缩盘只读存储器(CD-ROM))。在一个实施例中，本发明可以在计算机的RAM中实施，以将标准计算机转换为新的特定计算机器。数据结构被限定为能够实现本发明的实施例的数据组织。例如，数据结构可以提供数据的组织或可执行代码的组织。数据信号可以跨过