滤光器、光学模块及电子设备的制造方法
【专利说明】滤光器、光学模块及电子设备
[0001]本申请根据于2014年2月28日提交的日本专利申请N0.2014-038179的内容，其全部内容结合于此作为参考。
技术领域
[0002]本发明涉及滤光器、光学模块及电子设备。
【背景技术】
[0003]目前使用一种从入射光中选择指定波长的光并使其通过的滤光器。并且，专利文献I中公开了使指定波长的光通过的滤光器。该滤光器中，对向配置一对基板，在上述基板的对向面上分别设置有反射膜。
[0004]该滤光器选择性地取出与对向的一对反射膜间的间隙对应的波长的光。通过设置于基板间的分隔膜的厚度设定反射膜间的间隙。
[0005]在基板上设置氧化钛的基膜，与该膜重叠而设置反射膜。将反射率良好的银膜用于反射膜。银膜当暴露于空气中时会受到硫化或湿度的影响而劣化。因此，覆盖反射膜而设置保护膜，防止反射膜的劣化。将3叫、1102、21^、0&&、51队丨1203等的无机物质或聚酰亚胺、各种光刻胶等的有机材料用于该保护膜。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:日本特开平1-300202号公报
[0009]用于反射膜的银或银合金的膜为金属组织的排列易于变位的膜。并且，当在反射膜的表面和里面产生内部应力之差时，出现被称为“小丘(hillock)”或“晶须(whisker)”的突起。由此，反射膜的反射率下降。在专利文献I中，虽然反射膜被基膜和保护膜夹着，但没有采取对于两面的应力差的对策。因此，希望一种能够长期地抑制反射膜的两面中的内部应力之差而导致的突起的出现、能够高精度地使规定的波长的光透过的构造的滤光器。
【发明内容】
[0010]本发明为了解决上述的问题而通过以下的方式或者适用例而实现。
[0011][适用例I]
[0012]本适用例涉及的滤光器的特征在于具备:固定基板；可动部，与所述固定基板对向配置；第一反射膜，设置于所述固定基板；第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔，所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一个被第一导电膜和第二导电膜夹着，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同材质、相同膜厚。
[0013]根据本适用例，滤光器具备固定基板和可动部。第一反射膜设置于固定基板，第二反射膜设置于可动部。第一反射膜和第二反射膜对向配置。第一反射膜及第二反射膜反射入射光。在第一反射膜和第二反射膜之间产生光的多重反射，相位配合的光向入射光行进的方向透过并行进。间隔控制部控制第一反射膜和第二反射膜的间隔。由此，滤光器能够控制透过的光的波长。
[0014]夹着反射膜而设置导电膜。通过导电膜，能够防止反射膜的表面受到损伤。因此，能够高品质地制造滤光器。并且，由于导电膜具有导电性，因此，能够抑制在导电膜的表面产生静电。因此，能够高精度地控制第一反射膜和第二反射膜之间的距离。
[0015]第一导电膜和第二导电膜为相同材质、相同膜厚。当不在反射膜的第一面设置导电膜、不在第二面设置导电膜时，反射膜中的第一面和第二面的应力分布为不同的分布。此时，在反射膜中，当在第一面和第二面产生内部应力之差时，出现被称为“小丘”或“晶须”的突起。由此，反射膜的反射率下降。在本适用例中，夹着反射膜的第一导电膜及第二导电膜为相同材质、相同膜厚。因此，由于反射膜中的第一面和第二面难以产生内部应力之差，因此，能够抑制突起的出现。其结果是，滤光器能够长期地高精度地使规定的波长的光透过。
[0016][适用例2]
[0017]在上述适用例涉及的滤光器中，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同形状。
[0018]根据本适用例，第一导电膜和第二导电膜为相同形状。因此，夹着反射膜的第一导电膜及第二导电膜为相同的应力分布。因此，由于反射膜中的第一面和第二面难以产生内部应力之差，因此，能够抑制突起的出现。
[0019][适用例3]
[0020]在上述适用例涉及的滤光器中，其特征在于，所述第一导电膜及所述第二导电膜的材质包含IGO。
[0021]根据本适用例，第一导电膜及第二导电膜的材质包含IGO。IGO的光透过性良好，在可视区域具有大致80%以上的透过性。因此，能够高效率地使规定的波长的光通过。
[0022][适用例4]
[0023]在上述适用例涉及的滤光器中，所述第一反射膜和所述第二反射膜被电连接。
[0024]根据本适用例，第一反射膜和第二反射膜被电连接。因此，能够抑制在第一反射膜和第二反射膜之间产生静电。从而，能够高精度地控制第一反射膜和第二反射膜之间的距离。
[0025][适用例5]
[0026]在上述适用例涉及的滤光器中，还具备:第一外部端子，与所述第一反射膜连接；以及第二外部端子，与所述第二反射膜连接。
[0027]根据本适用例，设置有与第一反射膜连接的第一外部端子、和与第二反射膜连接的第二外部端子。因此，通过第一外部端子及第二外部端子，能够检测出第一反射膜和第二反射膜之间的电容。并且，电容与第一反射膜和第二反射膜的距离相关。因此，能够检测出第一反射膜和第二反射膜的距离。
[0028][适用例6]
[0029]本适用例涉及的光学模块的特征在于具备:上述任一方面所述的滤光器；以及收纳部，收纳所述滤光器。
[0030]根据本适用例，滤光器收纳于收纳部，被收纳部保护。因此，在把持光学模块时，能够防止滤光器受到损伤。并且，在滤光器中，抑制了在反射膜上出现突起。从而，光学模块能够使规定的波长的光高效率地通过。
[0031][适用例7]
[0032]本适用例涉及的电子设备的特征在于具备:滤光器、以及控制所述滤光器的控制部，所述滤光器具备:固定基板；可动部，与所述固定基板对向配置；第一反射膜，设置于所述固定基板；第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔，所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一个被第一导电膜和第二导电膜夹着，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同材质、相同膜厚。
[0033]根据本适用例，电子设备具备滤光器和控制部，控制部控制滤光器。滤光器具备间隔控制部、第一反射膜及第二反射膜，间隔控制部控制第一反射膜和第二反射膜的间隔。夹着反射膜而设置导电膜。通过导电膜，能够防止反射膜的表面受到损伤。并且，由于导电膜具有导电性，因此，能够抑制在导电膜的表面产生静电。因此，能够高精度地控制第一反射膜和第二反射膜之间的距离。
[0034]夹着反射膜的第一导电膜及第二导电膜为相同材质、相同膜厚。因此，由于反射膜中的第一面和第二面难以产生内部应力之差，因此，能够抑制突起的出现。从而，使电子设备为具备能够长期地高精度地使规定的波长的光透过的滤光器的电子设备。
[0035][适用例8]
[0036]本适用例涉及的滤光器的特征在于具备:固定基板；可动部，与所述固定基板对向配置；第一反射膜，设置于所述固定基板；第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔，所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一个被第一导电膜和第二导电膜夹着，所述第一导电膜和所述第二导电膜是相同的应力分布。
[0037]根据本适用例，滤光器具备固定基板和可动部。第一反射膜设置于固定基板，第二反射膜设置于可动部。第一反射膜和第二反射膜对向配置。第一反射膜及第二反射膜使入射光的一部分反射一部分透过。在第一反射膜和第二反射膜之间产生光的多重反射，相位配合的光向入射光行进的方向透过并行进。间隔控制部控制第一反射膜和第二反射膜的间隔。由此，滤光器能够控制透过的光的波长。
[0038]夹着反射膜而设置导电膜。通过导电膜，能够防止反射膜的表面受到损伤。因此，能够高品质地制造滤光器。并且，由于导电膜具有导电性，因此，能够抑制在导电膜的表面产生静电。因此，能够高精度地控制第一反射膜和第二反射膜之间的距离。
[0039]第一导电膜和第二导电膜为相同的应力分布。因此，由于反射膜中的第一面和第二面难以产生内部应力之差，因此，能够抑制突起的出现。其结果是，滤光器能够长期地高精度地使规定的波长的光透过。
【附图说明】
[0040]图1涉及第一实施方式，图1的(a)及图1的(b)为示出光学模块的构造的概略立体图。
[0041]图2的(a)为示出光学模块的构造的示意俯视图，图2的(b)及(C)为示出光学模块的构造的示意侧截面图。
[0042]图3的(a)为示出滤光器的构造的示意侧截面图，图3的(b)为示出反射膜的构造的主要部分示意截面图。
[0043]图4的(a)为示出可动基板的构造的示意俯视图，图4的(b)为示出固定基板的构造的示意俯视图。
[0044]图5为控制部的电气控制模块图。
[0045]图6的(a)?(e)为用于说明光学模块的制造方法的示意图。
[0046]图7的(a)?⑷为用于说明光学模块的制造方法的示意图。
[0047]图8的(a)?⑷为用于说明光学模块的制造方法的示意图。
[0048]图9为涉及第二实施方式，图9的(a)为示出可动基板的构造的示意俯视图，图9的(b)为示出固定基板的构造的示意俯视图。
[0049]图10为控制部的电气控制模块图。
[0050]图11涉及第三实施方式，其示出反射膜构造的主要部分示意截面图。
[0051]图12为示出第四实施方式涉及的测色装置的构成的模块图。
[0052]图13为示出第五实施方式涉及的气体检测装置的构成的示意正视图。
[0053]图14为示出气体检测装置的控制系统的构成的模块图。
[0054]图15为示出第六实施方式涉及的食物分析装置的构成的模块图。
[0055]图16为示出第七实施方式涉及的光谱照相机的构成的概略立体图。
【具体实施方式】
[0056]以下，根据附图对于实施方式进行说明。此外，由于使各附图中的各构件在各附图上为能够认知程度的大小，因此，对于各构件改变比例尺而进行图示。
[0057](第一实施方式)
[0058]在本实施方式中，参照附图，对具有特征性构造的光学模块、该光学模块的制造方法进行说明。参照图1?图8，对光学模块进行说明。图1的(a)及图1的(b)为示出光学模块的构造的概略立体图。图1的(a)为从光学模块的第一盖体侧观察到的图，图1的(b)为从光学模块的第二盖体侧观察到的图。如图1的(a)所示，光学模块I为大致长方体的形状。以光学模块I的图中下方向为Z方向，以与Z方向正交的两个方向为X方向及Y方向。X方向、Y方向、Z方向分别为沿光学模块I的边的方向，其为正交的方向。
[0059]光学模块I具备作为有底角筒状的收纳部的框体2，在框体2的-Z方向侧形成有圆形的第一孔2a。并且，以阻塞第一孔2a的方式设置有作为收纳部的第一盖体3。框体2和第一盖体3通过第一低熔点玻璃4而接合。在框体2，在-Z方向侧的面上，设置有第一端子5、第二端子6、第三端子7、第四端子8。在框体2的Z方向侧设置有作为收纳部的第二盖体9。框体2和第二盖体9通过第二低熔点玻璃10接合。
[0060]如图1的(b)所示，在框体2的Z方向形成有四边形的第二孔2b。第二孔2b为比第一孔2a大的孔。并且，以阻塞第二孔2b的方式设置有第二盖体9。被框体2、第一盖体3及第二盖体9包围的内部空间11为密闭的空间，滤光器12设置于内部空间11。换言之，框体2具有内部空间11，将滤光器12收纳于内部空间11。第二盖体9与框体2连接而密闭内部空间11。通过框体2、第一盖体3及第二盖体9等形成收纳部，滤光器12收纳于收纳部的内部。
[0061]光学模块I的尺寸没有特别的限定，在本实施方式中，例如，从第一盖体3至第二盖体9的厚度为约3mm。从Z方向观察框体2的大小为一边约15mm的四边形。第二盖体9的厚度约为1_。从Z方向观察滤光器12的大小为一边约Ilmm?12_的四边形。滤光器12的厚度为约0.7mm?