滤光器、光学模块、电子设备及滤光器的制造方法
【专利说明】滤光器、光学模块、电子设备及滤光器的制造方法
[0001]本申请根据于2014年2月28日提交的日本专利申请N0.2014-038178的内容，其全部内容结合于此作为参考。
技术领域
[0002]本发明涉及滤光器、光学模块、电子设备及滤光器的制造方法。
【背景技术】
[0003]目前使用一种从入射光中选择指定波长的光并使其通过的滤光器。并且，专利文献I中公开了使指定波长的光通过的滤光器。该滤光器中，固定基板和可动基板对向配置，在上述基板的对向面上分别设置有反射膜。
[0004]该滤光器选择性地取出与对向的一对反射膜间的间隙对应的波长的光。通过控制基板间的距离的致动器(actuator)来设定反射膜间的距离。在各基板上，致动器通过设置于反射膜的周围的电极等构成，电压施加于各电极。并且，静电力作用于电极间而使基板变形，从而控制反射膜间的距离。
[0005]在反射膜设置有配线，配线与静电电容检测电路连接。反射膜间的距离越短，则静电电容越大。静电电容检测电路检测电极间的静电电容而推定电极间的距离。
[0006]【现有技术文献】
[0007]【专利文献】
[0008]专利文献1:日本特开平1-94312号公报
[0009]需要将反射膜间的距离控制为通过的光的波长程度的短距离。因此，反射膜、作为从反射膜取出的配线的取出线为薄的膜。由于薄的取出线容易缺损，因此取出线与比取出线厚的难以缺损的配线连接。当将厚的配线设置于基板上且将取出线设置于配线上时，将取出线设置于从基板上至配线的上面的平面差异处。取出线使用溅射装置、蒸镀装置等而设置。当将取出线设置于配线的平面差异处时，取出线在平面差异的侧面变薄。因此，取出线在平面差异处易于缺损。因此，希望有一种具有从反射膜引出的取出线和配线高品质地电连接的构造的滤光器。
【发明内容】
[0010]本发明为了解决上述的问题而通过以下的方式或者适用例而实现。
[0011][适用例I]
[0012]本适用例涉及的滤光器的特征在于具备:固定基板；可动部，与所述固定基板对向配置；第一反射膜，设置于所述固定基板；第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔，在所述第一反射膜和所述第二反射膜之间设置有导电性的第一基膜，在所述第一基膜上设置有第一配线，在所述第二反射膜和所述可动部之间设置有导电性的第二基膜，在所述第二基膜上设置有第二配线。
[0013]根据本适用例，滤光器具备固定基板和可动部。第一反射膜设置于固定基板，第二反射膜设置于可动部。第一反射膜和第二反射膜对向配置。第一反射膜及第二反射膜反射入射光。在第一反射膜和第二反射膜之间产生光的多重反射，相位配合的光向入射光行进的方向透过并行进。间隔控制部控制第一反射膜和第二反射膜的间隔。由此，滤光器能够控制透过的光的波长。
[0014]在第一反射膜和固定基板之间设置有第一基膜(第I下地膜)。由于存在第一基膜，与将第一反射膜直接设置于固定基板上相比，贴紧性良好，能够将第一反射膜设置于固定基板上。并且，第一配线设置于第一基膜上。第一配线为比第一基膜厚的构件。当将第一基膜配置于第一配线上时，由于从固定基板上开始至第一配线上为止配置有第一基膜，因此第一基膜容易产生断线。另一方面，在本适用例中，由于第一配线设置于第一基膜上，因此，能够形成第一基膜难以断线的构造。
[0015]同样地，在第二反射膜和可动部之间设置有第二基膜。由于存在第二基膜，与将第二反射膜直接设置于可动部上相比，贴紧性良好，能够将第二反射膜设置于可动部上。并且，第二配线设置于第二基膜上。因此，能够形成第二基膜难以断线的构造。从而，能够贴紧性良好地将第一反射膜设置于固定基板，能够使第一配线与第一反射膜高品质地电连接。同样地，能够贴紧性良好地将第二反射膜设置于可动部上，能够使第二配线与第二反射膜高品质地电连接。其结果是，能够得到反射膜被高品质地设置、反射膜和配线被高品质地电连接的滤光器。
[0016][适用例2]
[0017]在上述适用例涉及的滤光器中，在所述第一反射膜和所述第二反射膜中的至少一个的表面设置有导电性的保护膜。
[0018]根据本适用例，保护膜设置于反射膜的表面。通过保护膜，能够防止反射膜的表面受到损伤。因此，能够高品质地制造滤光器。并且，由于保护膜具有导电性，因此，能够抑制在保护膜的表面产生静电。因此，能够高精度地控制第一反射膜和第二反射膜之间的距离。
[0019][适用例3]
[0020]在上述适用例涉及的滤光器中，在从所述第一反射膜的厚度方向俯视观察时，所述第一反射膜小于所述第一基膜，所述第二反射膜小于所述第二基膜。
[0021]根据本适用例，第一反射膜比第一基膜小。因此，能够以第一反射膜在所有的地方都与第一基膜接触的方式使第一反射膜与第一基膜贴紧。同样地，第二反射膜比第二基膜小。因此，能够以第二反射膜在所有的地方都与第二基膜接触的方式使第二反射膜与第二基膜贴紧。另一方面，当第一反射膜比第一基膜大时，不与第一基膜接触的第一反射膜有可能向第二反射膜侧翘曲。同样地，当第二反射膜比第二基膜大时，不与第二基膜接触的第二反射膜有可能向第一反射膜侧翘曲。此时，难以高精度地控制第一反射膜和第二反射膜的间隔。在本适用例中，由于第一反射膜及第二反射膜不翘曲，因此，能够高精度地控制第一反射膜和第二反射膜的间隔。
[0022][适用例4]
[0023]在上述适用例涉及的滤光器中，其特征在于，所述第一配线及所述第二配线中的至少一个的材质是金属。
[0024]根据本适用例，第一配线及第二配线中的至少一个的材质为金属。因此，当使第一配线及第二配线的材质为金属时，能够使流过配线的电流的电阻变小。其结果是，在第一反射膜及第二反射膜上产生静电时，也能够迅速地消除静电。
[0025][适用例5]
[0026]在上述适用例涉及的滤光器中，所述保护膜被设置于所述第一反射膜的表面时，所述保护膜的材质是与所述第一基膜相同的材质，所述保护膜被设置于所述第二反射膜的表面时，所述保护膜的材质是与所述第二基膜相同的材质。
[0027]根据本适用例，保护膜及基膜夹着反射膜而设置。反射膜为第一反射膜时，基膜为第一基膜，反射膜为第二反射膜时，基膜为第二基膜。并且，当滤光器的温度变化时，保护膜、基膜及反射膜对应温度而伸缩。为了提高反射率，反射膜中使用金属。因此，在反射膜中，当在基膜侧的面和保护膜侧的面产生内部应力之差时，出现被称为“小丘”或“晶须”的突起。由此，反射膜的反射率下降。在本适用例中，夹着反射膜的保护膜及基膜为相同材质。从而，夹着反射膜的保护膜及基膜为相同热膨胀率。因此，在反射膜中，当在基膜侧的面和保护膜侧的面难以产生内部应力之差，能够抑制突起的出现。
[0028][适用例6]
[0029]在上述适用例涉及的滤光器中，其特征在于，所述第一基膜、所述第二基膜及所述保护膜的材质是IGO。
[0030]根据本适用例，第一基膜、第二基膜及保护膜的材质为IGO(Indium-galIiumoxide，镓铟氧化物)。IGO的光的透过率高，因此，能够高效率地使光透过。
[0031][适用例7]
[0032]本适用例涉及的光学模块的特征在于具备:上述任一方面涉及的滤光器；以及收纳部，收纳所述滤光器。
[0033]根据本适用例，滤光器收纳于收纳部，被收纳部保护。因此，在把持光学模块时，能够防止滤光器受到损伤。并且，滤光器为反射膜高品质地设置、反射膜和配线高品质地电连接的滤光器。从而，光学模块能够使规定的波长的光高品质地通过。
[0034][适用例8]
[0035]本适用例涉及的电子设备的特征在于具备:具备滤光器、以及控制所述滤光器的控制部，所述滤光器具备:固定基板；可动部，与所述固定基板对向配置；第一反射膜，设置于所述固定基板；第二反射膜，设置于所述可动部，所述第二反射膜与所述第一反射膜对向；以及间隔控制部，控制所述第一反射膜和所述第二反射膜的间隔，在所述第一反射膜和所述第二反射膜之间设置有导电性的第一基膜，在所述第一基膜上设置有第一配线，在所述第二反射膜和所述可动部之间设置有导电性的第二基膜，在所述第二基膜上设置有第二配线。
[0036]根据本适用例，电子设备具备滤光器和控制部，控制部控制滤光器。滤光器具备间隔控制部、第一反射膜及第二反射膜，间隔控制部控制第一反射膜和第二反射膜的间隔。由于第一基膜设置于第一反射膜和固定基板之间，因此，能够将第一反射膜贴紧性良好地设置于固定基板上。并且，由于第一配线设置于第一基膜上，因此，能够得到第一基膜难以断线的构造。
[0037]同样地，由于第二基膜设置于第二反射膜和可动部之间，因此，能够将第二反射膜贴紧性良好地设置于可动部上。并且，由于第二配线设置于第二基膜上，因此，能够得到第二基膜难以断线的构造。从而，能够贴紧性良好地将第一反射膜设置于固定基板，能够使第一配线与第一反射膜高品质地电连接。同样地，能够贴紧性良好地将第二反射膜设置于可动部上，能够使第二配线与第二反射膜高品质地电连接。因此，能够使电子设备为具备反射膜被高品质地设置、反射膜和配线被高品质地电连接的滤光器的电子设备。
[0038][适用例9]
[0039]本适用例涉及的滤光器的制造方法的特征在于包括在基板上设置第一膜，将所述第一膜形成图案为第一形状而形成基膜；在所述基板上及所述基膜上设置第一金属膜，以所述第一金属膜的一部分重叠在所述基膜上的方式形成图案而形成配线；以及在所述基膜上重叠设置第二金属膜及第二膜，将所述第二金属膜及所述第二膜形成图案为比所述第一形状小的第二形状，形成反射膜及保护膜。
[0040]根据本适用例，首先，第一膜设置于基板上。然后，形成有将第一膜形成图案为第一形状的基膜。然后，第一金属膜设置于基板上及基膜上。接着，以将第一金属膜的一部分重叠在基膜上的方式将第一金属膜形成图案而形成配线。基膜和配线重叠设置而电连接。并且，由于配线设置于基膜上，因此，在配线厚时，也能够防止基膜断线。
[0041]然后，在基膜上重叠地设置第二金属膜及第二膜。并且，第二金属膜及第二膜形成图案为比第一形状小的第二形状。由第二金属膜形成反射膜，由第二膜形成保护膜。由于反射膜经由基膜而设置于基板，因此，其被贴紧性良好地设置。并且，由于保护膜保护反射膜，因此，反射膜能够高品质地反射光。第二形状为比第一形状小的形状。因此，能够以反射膜不扭曲的方式进行设置。
[0042][适用例10]
[0043]在上述适用例涉及的滤光器的制造方法中，所述基膜的材质是IGO，所述第一金属膜具有金属基层和金属上侧层，所述金属基层是TiW、Cr、NiCr中的任一种。
[0044]根据本适用例，基膜的材质为IGO。金属基层为TiW、Cr、NiCr中的任一种。当金属基层为TiW时，可以使用高氯酸类的蚀刻液作为蚀刻液。并且，当金属基层为Cr、NiCr时，可以使用硝酸铈类的蚀刻液作为蚀刻液。并且，蚀刻金属基层时，有可能对基膜带来损伤。IGO不会被高氯酸类的蚀刻液及硝酸铈类的蚀刻液损伤，因此，不会给基膜带来损伤而能够图案化金属基层。
【附图说明】
[0045]图1涉及第一实施方式，图1的(a)及图1的(b)为示出光学模块的构造的概略立体图。
[0046]图2的(a)为示出光学模块的构造的示意俯视图，图2的(b)及(C)为示出光学模块的构造的示意侧截面图。
[0047]图3的(a)为示出滤光器的构造的示意侧截面图，图3的(b)为示出反射膜的构造的主要部分示意截面图。
[0048]图4的(a)为不出可动基板的构造的不意俯视图，图4的(b)为不出固定基板的构造的示意俯视图。
[0049]图5为用于说明控制部的构造的电路图。
[0050]图6的(a)?(e)为用于说明光学模块的制造方法的示意图。
[0051]图7的(a)?(d)为用于说明光学模块的制造方法的示意图。
[0052]图8的(a)?⑷为用于说明光学模块的制造方法的示意图。
[0053]图9为示出第二实施方式涉及的测色装置的构成的模块图。
[0054]图10为示出第三实施方式涉及的气体检测装置的构成的示意正视图。
[0055]图11为示出气体检测装置