步骤4、当组合后的多个光罩平移至使所述多个透光图案中的第二透光图案离开所述整块基板上第一行的所有第一基板单元的位置时，撤掉遮挡所述第二透光图案的遮光板，组合后的多个光罩继续沿第一方向平移，线性偏振光透过所述第二透光图案对整块基板上第二行的所有第二基板单元进行曝光、配向。
[0034]所述光配向方法，还包括步骤5、比照步骤3、步骤4依次类推，设i彡2，当组合后的多个光罩平移至使其中的第i透光图案接近整块基板上第i+Ι行的所有第i+Ι基板单元的位置时，使用遮光板遮住所述第i透光图案；当组合后的多个光罩平移至使所述多个透光图案中的第i+ι透光图案离开所述整块基板上第i行的所有第i基板单元的位置时，撤掉遮挡所述第i+ι透光图案的遮光板，组合后的多个光罩继续沿第一方向平移，线性偏振光透过所述第i+ι透光图案对整块基板上第i+ι行的所有第i+ι基板单元进行曝光、配向；直至完成对整块基板上所有行不同尺寸的多个基板单元的配向。
[0035]所述线性偏振光为紫外光。
[0036]所述多个透光图案通过光刻沉积于石英玻璃上的金属层形成。
[0037]所述金属层的材料为铬。
[0038]所述基板为玻璃基板。
[0039]本发明的有益效果:本发明提供的一种用于光配向的光罩及光配向方法，通过设置位于重叠区域内的透光图案朝向第一方向即光罩的平移前进方向的一端与位于非重叠区域内的透光图案朝向第一方向的一端对齐，能够改善配向效果，避免MMG产品在配向时由于存在未曝光或者曝光不足的区域而导致的mura问题。
【附图说明】
[0040]下面结合附图，通过对本发明的【具体实施方式】详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
[0041]附图中，
[0042]图1为MMG广品的排版不意图；
[0043]图2为现有的用于光配向的光罩的结构示意图；
[0044]图3为现有的光配向方法的的步骤I的示意图；
[0045]图4为现有的光配向方法的的步骤2的示意图；
[0046]图5、图6为现有的光配向方法的的步骤3的示意图；
[0047]图7为现有的光配向方法的的步骤4的示意图；
[0048]图8为本发明的用于光配向的光罩的结构示意图；
[0049]图9为本发明的光配向方法的流程图；
[0050]图10为本发明的光配向方法的步骤I的示意图；
[0051]图11为本发明的光配向方法的步骤2的示意图；
[0052]图12、图13为本发明的光配向方法的步骤3的示意图；
[0053]图14为本发明的光配向方法的步骤4的示意图。
【具体实施方式】
[0054]为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。
[0055]请参阅图8，本发明首先提供一种用于光配向的光罩，包括光罩本体2、设于所述光罩本体2上的多个透光图案，所述多个透光图案沿第一方向DY逐行排列。
[0056]所述多个透光图案均沿垂直于第一方向DY的第二方向DX设置，每一透光图案均包括使用时与相邻光罩不重叠的非重叠区域、及分别位于所述非重叠区域左、右两侧的使用时与相邻光罩重叠的重叠区域。
[0057]所述第一方向DY为使用光罩进行曝光、配向时，光罩的平移前进方向；每一透光图案关于其在第一方向DY上的中线对称；位于所述非重叠区域内的透光图案在第一方向DY上的长度均相等，位于所述重叠区域内的透光图案在第一方向DY上的长度由靠近非重叠区域一侧向远离非重叠区域一侧线性递减，且位于所述重叠区域内的透光图案朝向第一方向DY的一端与位于所述非重叠区域内的透光图案朝向第一方向DY的一端对齐。
[0058]图8示意出了透光图案的数量为两个，分别为第一透光图案21与第二透光图案22，当然透光图案的数量还可以更多。以图8所示为例，所述第一透光图案21包括使用时与相邻光罩不重叠的非重叠区域Al、及分别位于所述非重叠区域Al左、右两侧的使用时与相邻光罩重叠的重叠区域BI ;所述第二透光图案22包括使用时与相邻光罩不重叠的非重叠区域A2、及分别位于所述非重叠区域A2左、右两侧的使用时与相邻光罩重叠的重叠区域B2。所述第一透光图案21与第二透光图案22分别关于二者在第一方向DY上的中线对称。位于所述非重叠区域Al内的第一透光图案21在第一方向DY上的长度均相等，位于所述重叠区域BI内的第一透光图案201在第一方向DY上的长度由靠近非重叠区域Al —侧向远离非重叠区域Al—侧线性递减，且位于所述重叠区域BI内的第一透光图案21朝向第一方向DY的一端与位于所述非重叠区域Al内的第一透光图案21朝向第一方向DY的一端对齐；位于所述非重叠区域A2内的第二透光图案22在第一方向DY上的长度均相等，位于所述重叠区域B2内的第二透光图案22在第一方向DY上的长度由靠近非重叠区域A2 —侧向远离非重叠区域A2—侧线性递减，且位于所述重叠区域B2内的第二透光图案22朝向第一方向DY的一端与位于所述非重叠区域A2内的第二透光图案22朝向第一方向DY的一端对齐。
[0059]进一步地，所述多个透光图案通过光刻沉积于石英玻璃上的金属层形成，优选的，所述金属层的材料为铬(Cr)。
[0060]将多个本发明的用于光配向的光罩进行自合后，适用于对MMG产品进行曝光、配向，由于位于所述重叠区域内的透光图案朝向光罩的平移前进方向的一端与位于所述非重叠区域内的透光图案朝向光罩的平移前进方向的一端对齐，相邻光罩的交界重叠区域能够对MMG产品中各行不同尺寸的基板单元的朝向光罩平移前进方向的末端进行充分曝光，从而能够改善配向效果，避免MMG产品在配向时由于存在未曝光或者曝光不足的区域而导致的mura问题。
[0061]请参阅图9，本发明还提供一种光配向方法，包括如下步骤:
[0062]步骤1、如图10所示，提供涂覆有配向膜的整块基板1、及多个用于光配向的光罩，并将所述多个用于光配向的光罩进行组合。
[0063]具体地，所述整块基板I上沿第一方向DY排列多行不同尺寸的多个基板单元，每一行内多个基板单元的尺寸相同。以图10所示为例，所述整块基板I上沿第一方向DY排列了两行不同尺寸的基板单元，其中一行排列多个第一基板单元11，另一行排列多个第二基板单元12，为了保证基板的高利用率，两行之间的间距设计的比较小。优选的，所述基板I为玻璃基板。
[0064]结合图8，所述用于光配向的光罩包括光罩本体2、设于所述光罩本体2上的多个透光图案，所述多个透光图案沿第一方向DY逐行排列。
[0065]所述多个透光图案均沿垂直于第一方向DY的第二方向DX设置，每一透光图案均包括与相邻光罩不重叠的非重叠区域、及分别位于所述非重叠区域左、右两侧的与相邻光罩重叠的重叠区域。
[0066]所述第一方向DY为使用光罩进行曝光、配向时，光罩的平移前进方向；每一透光图案关于其在第一方向DY上的中线对称；位于所述非重叠区域内的透光图案在第一方向DY上的长度均相等，位于所述重叠区域内的透光图案在第一方向DY上的长度由靠近非重叠区域一侧向远离非重叠区域一侧线性递减，且位于所述重叠区域内的透光图案朝向第一方向DY的一端与位于所述非重叠区域内的透光图案朝向第一方向DY的一端对齐。
[0067]图8示意出了透光图案的数量为两个，分别为第一透光图案21与第二透光图案22，当然透光图案的数量还可以更多，透光图案的数量等于所述整块基板上不同尺寸的多个基板单元所排列的行数。
[0068]以图8所示为例，所述第一透光图案21包括与相邻光罩不重叠的非重叠区域Al、及分别位于所述非重叠区域Al左、右两侧的与相邻光罩重叠的重叠区域BI ;所述第二透光图案22包括与相邻光罩不重叠的非重叠区域A2、及分别位于所述非重叠区域A2左、右两侧的与相邻光罩重叠的重叠区域B2。所述第一透光图案21与第二透光图案22分别关于二者在第一方向DY上的中线对称。位于所述非重叠区域Al内的第一透光图案21在第一方向DY上的长度均相等，位于所述重叠区域BI内的第一透光图案201在第一方向DY上的长度由靠近非重叠区域Al —侧向远离非重叠区域Al —侧线性递减，且位于所述重叠区域BI内的第一透光图案21朝向第一方向DY的一端与位于所述非重叠区域Al内的第一透光图案21朝向第一方向DY的一端对齐；位于所述非重叠区域A2内的第二透光图案22在第一方向DY上的长度均相等，位于所述重叠区域B2内的第二透光图案22在第一方向DY上的长度由靠近非重叠区域A2 —侧向远离非重叠区域A2 —侧线性递减，且位于所述重叠区域B2内的第二透光图案22朝向第一方向DY的一端与位于所述非重叠区域A2内的第二透光图案22朝向第一方向DY的一端对齐。
[0069]进一步地，所述多个透光图案通过光刻沉积于石英玻璃上的金属层形成，
[0070]优选的，所述金属层的材料为Cr。